技术特征：
1.一种电子显微镜，具备：电子枪，其向试样照射电子；电子检测器，其检测被照射到所述试样的所述电子；光子检测器，其检测在所述电子被照射到所述试样时从所述试样发射的光子；以及运算器，其基于所述电子检测器检测到所述电子的时间以及所述光子检测器检测到所述光子的时间，针对检测到的每个所述光子运算所述电子被照射到所述试样的时间与所述光子被从所述试样发射出的时间的时间差，并运算表示所述时间差的分布的电子-光子时间相关性。2.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，所述电子检测器检测透过所述试样或者从所述试样反射的所述电子。3.根据权利要求1或2所述的电子显微镜，其特征在于，所述运算器具有判别部，所述判别部基于所述电子-光子时间相关性来判别所述试样。4.根据权利要求3所述的电子显微镜，其特征在于，所述判别部根据所述电子-光子时间相关性来运算所述试样的荧光寿命或发射跃迁概率，并基于所述荧光寿命或所述发射跃迁概率来判别所述试样。5.根据权利要求4所述的电子显微镜，其特征在于，所述判别部根据所述电子-光子时间相关性来运算表示在检测到所述电子时以所述时间差检测到所述光子的频度的曲线，根据所述曲线的原点处的峰值来运算所述试样的发射跃迁概率，并运算在所述曲线中值减少至1/e倍为止所需的时间来作为所述试样的荧光寿命。6.根据权利要求3至5中的任一项所述的电子显微镜，其特征在于，所述运算器具有存储部，所述存储部存储有参数值，该参数值表示关于一个以上的已知的物质或生物体预先测定出的电子-光子时间相关性的特征，所述判别部运算所运算出的所述试样的电子-光子时间相关性的参数值与已知的物质或生物体的电子-光子时间相关性的参数值的一致度，判别为具有使得所述一致度超过规定的阈值且该一致度最大的参数值的已知的物质或生物体表示所述试样的物质或生物体。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的电子显微镜，其特征在于，所述电子检测器具有：发光体，其与被照射到所述试样的所述电子反应而发射光子；以及光子检测部，其检测从所述发光体发射出的光子并向所述运算器输出检测信号。8.根据权利要求7所述的电子显微镜，其特征在于，所述光子检测器兼用作所述电子检测器的所述光子检测部，所述光子检测器检测从所述试样发射的所述光子以及从所述发光体发射的光子并向所述运算器输出检测信号。9.根据权利要求1至8中的任一项所述的电子显微镜，其特征在于，所述电子枪一边使所述电子在空间中进行扫描一边向所述试样照射所述电子，所述运算器具有像生成部，所述像生成部基于所述电子-光子时间相关性的空间变化来生成所述试样的像。10.一种电子-光子相关性测定装置，具备：电子检测器，其检测从电子显微镜的电子枪照射到试样的电子；
光子检测器，其检测在所述电子被照射到所述试样时从所述试样发射的光子；以及运算器，其基于所述电子检测器检测到所述电子的时间以及所述光子检测器检测到所述光子的时间，针对检测到的每个所述光子运算所述电子被照射到所述试样的时间与所述光子被从所述试样发射出的时间的时间差，并运算表示所述时间差的分布的电子-光子时间相关性。11.一种电子-光子相关性测定方法，包括：向试样照射电子，检测被照射到所述试样的所述电子，检测在所述电子被照射到所述试样时从所述试样发射的光子，基于检测到所述电子的时间以及检测到所述光子的时间，针对检测到的每个所述光子运算所述电子被照射到所述试样的时间与所述光子被从所述试样发射出的时间的时间差，并运算表示所述时间差的分布的电子-光子时间相关性。
技术总结
本发明所涉及的实施方式的电子显微镜具备：电子枪，其向试样照射电子；电子检测器，其检测被照射到试样的电子；光子检测器，其检测在电子被照射到试样时从试样发射的光子；以及运算器，其基于电子检测器检测到电子的时间以及光子检测器检测到光子的时间，针对检测到的每个光子运算电子被照射到试样的时间与光子被从试样发射出的时间的时间差，并运算表示时间差的分布的电子-光子时间相关性。光子时间相关性。光子时间相关性。
技术研发人员：三宫工 柳本宗达 秋叶圭一郎 齐藤光
受保护的技术使用者：国立研究开发法人科学技术振兴机构
技术研发日：2022.03.07
技术公布日：2023/10/27