微观装置的制造及其处理技术-j9九游会真人

.本发明涉及微纳加工，尤其涉及一种利用聚焦离子束设备直接加工悬空绝缘膜的方法。.聚焦离子束(focusedionbeam，fib)加工是一种灵活的微纳加工技术。聚焦的高能离子束与固体材料表面原子碰撞中可以直接将表面原子溅射剥离实现加工，控制离子束的运动轨迹可以形成加工图形。这种...

一种基于dvd的高性能dag/pmma纳米树阵列基底的制备方法.本发明属于拉曼光谱，具体涉及一种基于dvd的高性能dag/pmma纳米树阵列基底的制备方法。.随着从d(单纳米颗粒)到d再到d结构，sers基底在不断向前发展。相较于在一维和二维结构中由于空间限制而降低了检...

mems器件及其制作方法.本发明涉及半导体集成电路，特别涉及一种mems器件及其制作方法。.mems器件是基于微机电系统(microelectromechanicalsystems，mems)工艺制备而成的器件，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。mems器件具有体积小...

.本发明涉及微纳米机器人制造，具体而言，涉及一种仿生自复制微纳米机器人。.微纳米机器人是指尺度在微纳米级别(几纳米至几百微米)的小型机器人，在生物传感、靶向给药、栓塞治疗、微创手术、细胞操作、污染物降解、微纳米制造等领域有着广阔的应用前景，已成为机器人、化学、生物、医学等学科的研究...

具有电磁屏蔽功能的mems装置及其制作方法.本发明属于微电子器件，特别是涉及一种mems器件及其制作方法。.随着微纳加工技术和集成电路技术的不断发展，mems器件的制造工艺越来越先进，性能也越来越优异。mems器件在医疗、环境监测、能源管理等领域具有巨大潜力。例如，mems...

.本发明涉及传感器，尤其涉及一种传感器封装结构及其形成方法。.传感器是一种将外界物理量或化学量信号转换为可测量的电信号的器件，是人类获取信息的重要手段之一。基于mems(微机电系统)加工工艺的微传感器凭借体积小、功耗低、响应快等传统传感器所无法比拟的优点在汽车电子、医疗器械、家用电...

.本公开涉及半导体，尤其涉及一种流量传感器封装结构及其制备方法。.流量传感器作为一种功能器件，通过对流量的测量，可以掌握流动的过程，实现生产的自动化，把控可能出现的问题，提高生产效率，并减少能源损耗，在许多领域均有十分重要的应用。近年来，生物、医疗领域蓬勃发展，对生物、医疗领域的液...

.本申请涉及光通信领域，尤其涉及一种微机电系统，尤其涉及一种器件以及电子设备。.微机电系统(microelectromechanicalsystems，mems)器件是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。mems器件包括可动部件和外框。可动部件和外框之间通过悬臂梁连接。例如，悬臂梁所...

.本发明涉及半导体，具体而言涉及一种半导体器件及其制备方法和电子装置。.随着mems-imu(micro-electro-mechanicalsystem，微机电系统，简称为mems；inertialmeasurementunit，惯性测量单元，简称为imu)在智能手机和可穿...

.本申请涉及微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem,mems)，具体涉及一种防水气压传感器及阵列封装结构。.防水气压传感器通常包括mems传感器芯片以及与之电连接的功能集成电路(applicationspecificintegratedci...

.本申请涉及半导体加工，尤其涉及一种层状结构、制备方法及传感器件。.化学传感器是一种将检测对象的化学组成与电学信号相联系的传感器，除了用于监测环境污染物，还在医学疾病检测以及食品安全领域发挥着显著的作用，是推动现代社会发展的重要器件；化学传感器一般由敏感材料、转换器件以及电子线路组...

mems封装结构.本实用新型涉及微电子机械领域，更具体地，涉及一种mems封装解结构。.mems传感器即微机电系统(microelectromechanicalsystems)，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技...

.本实用新型涉及半导体，特别涉及一种半导体晶圆以及管芯。.晶圆级键合技术是将两片晶圆互相结合，并使得表面原子相互反应，两个晶圆以一定强度结合在一起。晶圆级键合有多种方法，如热压键合、阳极键合、共晶键合等。其中，共晶键合以其键合温度低、键合强度高的特点在晶圆级键合领域得到广泛的应用。...

一种mems过载传感器的外壳结构及组封方法.本发明实施例涉及微机电系统（mems,micro-electro-mechanicalsystem）传感器，尤其涉及一种mems过载传感器的外壳结构及组封方法。.过载传感器在航天航空测试领域、各类车辆监测系统、地震测试、石油勘...

.本发明属于微型传感器的，特别是涉及用于光学传声金刚石微悬臂梁的制备方法。.微悬臂梁作为微机电系统中常用的微传感器，其所具有的成本低、质量轻、功耗低、体积小、灵敏度高、响应速度快以及可批量生成的优点，使其在物理量探测、生化领域、环境监测等诸多领域都具有广泛的应用。微悬臂梁的典型结构...

mems器件的制备方法.本发明涉及半导体制造，尤其涉及一种mems器件的制备方法。.在半导体领域，尤其是mems领域，经常会用到梳齿结构，且在很多mems器件中都要求梳齿结构可以在一定范围内进行上下振动，如加速度计，陀螺仪、振荡器、惯性传感单元等。以加速度计为例，该梳齿结构...

基于mems加工工艺校正制造探针卡转接板的方法.本申请涉及半导体，尤其是涉及一种基于mems加工工艺校正制造探针卡转接板的方法。.当今的半导体行业高度发展，在封装之前，大量的芯片都需要进行检测，在这一过程中需要用到探针卡，探针卡中主要是由pcb、转接板、若干探针三部分组成。...

.本申请涉及红外探测器，更具体地说，涉及一种红外探测器芯片晶圆、红外探测器、红外探测器芯片晶圆的制备方法。.用于探测物体红外辐射信号的电子元件被称为红外探测器。探测器的核心是探测器芯片，探测器芯片由mems传感器和cmos读出电路构成。红外探测器分为制冷红外探测器，非制冷红外探测器...

一种mems器件、mems器件的制备方法和电子装置.本申请涉及半导体，具体涉及一种mems器件、mems器件的制备方法和电子装置。.mems(microelectromechanicalsystem，微电机系统)涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械...

结合sers基底用于ctcs捕获和分析的微流控芯片的制作方法.本发明涉及芯片，具体的说，本发明涉及一种sers增强基底和微流控芯片相结合对ctcs的捕获和分析的微流控芯片的制作方法。.目前，癌症仍然是世界上致死率最高的疾病之一，最新的研究表明，每年将有数百万人死于癌症，因此...