微观装置的制造及其处理技术-j9九游会真人

一种基于粉末填充的低阻硅式tsv结构及制造方法.本发明涉及微机电系统(mems)领域和封装领域，更具体地涉及一种基于粉末填充的低阻硅式tsv结构及制造方法。.tsv(through-silicon-via，硅通孔技术)，即穿过硅基板的垂直电互联，是一种旨在为垂直堆叠的芯片层间提供垂...

.本发明属于微纳机电系统，具体涉及一种通过离面振动实现纳米材料摩尔纹结构动态调控的方法。.二维纳米材料，如石墨烯、黑磷、过渡金属硫族化合物等展现出优异的力、热、光、电、磁等性质，成为构筑纳机电系统(nems)关键部件的典型纳米材料。近年来，由二维纳米材料堆垛获得的范德华材料表现出众...

一种基于cc折纸构型的液态金属微流道结构.本发明属于传感器的一种液态金属微流道结构，具体涉及了一种基于cc折纸构型的液态金属微流道结构。.当前电子皮肤已经成为传感器领域的热门研究方向，电子皮肤一般又可称作柔性压力传感器，相对于传统的刚性传感器，电子皮肤可以附着在不规则或是变...

.本实用新型涉及微动平台，尤其涉及一种大行程纳米级宏微复合运动平台。.随着经济的快速发展，微电子制造、精密光学工程、生物医学工程和精密测量工程领域等也一直保持着高速发展的势头，尤其是半导体的光刻与封装、染色体显微操作、精密测量、显微聚焦等领域对定位平台的行程和精度要求越来越高，而单...

一种mems芯片的封装方法及封装结构.本发明属于mems技术、mems器件封装，涉及一种mems芯片的封装方法及封装结构。.mems(microelectromechanicalsystems，微电子机械系统)器件是利用微机械加工技术，在mems晶圆上批量制造的微型化...

.本发明涉及飞秒激光直写技术、反应离子刻蚀及湿法腐蚀，特别是一种利用金属膜及介质膜等材料结合飞秒激光直写、干法湿法刻蚀技术制备铌酸锂光子芯片上的集成微纳电极的方法。.与电子集成回路不同，光子集成回路是以光子作为传输载体可实现更高传输速度、更大传输容量等特性，因此作为新一代技术平台已...

蓝宝石基悬膜光纤f-p腔mems声压传感器及其制备方法.本发明属于光纤传感器领域，特别涉及一种大面积悬膜结构的蓝宝石基f-p腔式光纤mems声压传感器及其制备方法。.发动机技术在航空、航天、船舶、车辆等工业领域应用广泛，先进发动机的设计研发、运行监测环节是我国亟需掌握的重要工业技术...

微机电系统传感器.相关申请的交叉引用.本申请要求于年月日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请no.--和于年月日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请no.--的优先权，其公开内容通过全文引用合并于此。.本公开的示例实施例涉及微机电系统(mems)传感器和包括mems传感器的电子装置。....

.本发明涉及电化学微电极，特别是涉及一种微电极制备方法及微电极。.在电化学的研究中，常需要微电极来测量反应界面局部的反应活性。此外，微电极还可以直接在尺寸极小的金属表面连接电极材料，用于测量微观条件下电极材料的反应特性。因此，需要用特征尺寸较小的金属作为探针来实现微电极的功能。一般...

.本发明涉及微机电，更为具体的说涉及一种惯性和压力传感器的微机电构件。.随着电子元件的制造发展，微机电系统（micro-electro-mechanicalsystem，mems）技术是近年来高速发展的一项高新技术，在惯性、压力传感器等领域有着许多应用。微机电系统的器件结构一般通...

.本发明涉及微电子机械系统微加工，特别涉及一种熔石英悬臂梁-质量块结构及其加工方法。.微电子机械系统（micro-electromechanicalsystems，mems）传感器具有体积小、功耗低、易于集成的优点，广泛的应用于工业监测、航空航天和国防武器等领域中。熔融石英（熔石...

.本发明涉及通过压电致动器对可动部进行驱动的压电驱动元件，例如，适合在通过配置于可动部的反射镜使光进行扫描的情况下使用。.近年来，开发了利用mems(microelectromechanicalsystem，微机电系统)技术使可动部转动的压电驱动元件。在这种压电驱动元件中，将反射镜配...

.本实用新型属于硅基微系统微组装，具体涉及一种基于硅基微系统的三维封装结构及硅基微组装器件。.目前，受功能元件体积制约，传统tr组件的尺寸已接近小型化的天花板，发展三维集成技术是一个重要方向。面向硅基的三维集成是三维集成技术中一个重要的分支。.硅基三维集成是指将硅基、功能元件在z轴...

.本发明涉及微系统封装，具体为一种面向跨封装混合异构微系统的集成结构及方法。.微系统以微纳理论为支撑，以微纳制造工艺为基础，涉及微处理器、微机电系统、微电子、微集成等多。.微系统技术将多学科技术高度融合，将传统各种独立的感知、处理、控制、传输等系统融为一体，有效的促进了系统...

.本发明属于微纳超表面传感，涉及了一种可开关控制的双工作波段高品质因子超表面传感器及系统，可应用于气体传感、生物传感等。.在亚波长尺度上具有高品质(q)因子共振和强光聚集的超表面在传感器、非线性光学和纳米激光器等领域具有广阔的应用前景；而传统的表面等离子体金属超表面由于欧姆...

.本实用新型涉及传感器，尤其涉及一种传感器。.传感器已成为手机、手环等智能硬件的标配。为了缩小客户端装配空间，传感器的小尺寸形态逐渐成为传感器的封装趋势。为了实现传感器的小尺寸形态，越来越多的j9九游会真人的解决方案是将传感器的芯片嵌入到传感器的基板内。.为了提升传感器的抗干扰性能比如射频干扰、电...

.本公开涉及以mems换能器的输出为信号源的半导体集成电路装置以及使用该半导体集成电路装置的麦克风模块。.以往，如图所示，车载用麦克风(麦克风单元)一般包括：由mems换能器和放大器构成的mems换能器麦克风模块；向mems换能器麦克风模块供给偏置电压的调节器；线式线路驱动器；以及用于调整...

一种保护mems芯片不受散点污染的盖板.本实用新型涉及mems芯片涂胶防护，具体是一种保护mems芯片不受散点污染的盖板。.微机电系统即mems，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起...

固态纳米孔形成.相关申请.本申请根据u.s.c.§(e)要求于年月日提交的题为“固态纳米孔形成(solidstatenanoporeformation)”的美国临时申请序列号/,的提交日期的权益，所述美国临时申请的全部内容通过引用并入本文。.本发明涉及一种用于在衬底中产生开孔的方法，...

.本发明涉及驱动器，具体为一种利用量子限域超流体效应的多重响应驱动器的制备方法及应用。.驱动器是微机械系统、智能机器人等智能器件的核心部件。在各种驱动器结构中，双层结构型驱动器应用最为广泛，其基本原理是将智能材料与惰性材料相结合，形成活性层/惰性层双层结构。当施以外界刺激（湿度、光...