微观装置的制造及其处理技术-j9九游会真人

.本实用新型涉及mems传感器，尤其涉及一种传感器封装。.mems传感器通常包括基板及设在基板上的外壳，外壳和基板之间形成容纳腔，容纳腔内设置mems芯片和电学芯片，mems芯片和电学芯片被外壳和基板封装。通常mems芯片和电学芯片并排设置基板上，这要求基板必须具备足够的尺寸，以使...

一种器件芯片中凹槽及间隙的加工方法.本申请是年月日提交的、申请号为.、发明名称为“一种器件芯片、微机电系统及其封装结构”的分案申请。.本发明涉及微观机械系统，尤其是一种器件芯片中凹槽及间隙的加工方法。.微机电系统（mems,micro-electro-mechanical...

.本发明属于微纳米表面涂层，具体涉及一种金属纳米颗粒微图案化学镀结构及其制备方法。.柔性电子产业已经成为未来电子信息领域发展的先导性行业，多个发达国家已率先在该领域进行了战略布局，将柔性电子作为先进制造领域的首要发展方向。相对于传统电子，柔性电子要求微电路具备良好的弯曲变形性能，这...

.本发明属于离子束刻蚀领域。特别是涉及一种大口径的薄膜掩膜制备及离子束刻蚀的新工艺。.大功率、大口径激光的研究是自上世纪七十年代以来强激光领域能够体现国家重大需求的重要热点。由于大功率激光系统中激光束的能量密度很大，激光增透窗口在强激光辐照下往往会出现表面损伤。激光元件在强激光辐照下产生的...

mems致动器组结构.相关申请的交叉引用.本专利申请要求于年月日递交的、名称为“mems致动器组结构”、顺序no./,的美国实用新型专利申请的权益，该专利申请要求于年月日递交的、名称为“mems致动器结构”、顺序no./,的美国临时申请的权益。每个申请的内容通过引用以其整体并入本文中。.本申请是申...

.本发明属于微观领域的超精密操作，应用于高温硅压力传感器中压力芯片与固定管座的高精度装配，具体涉及双显微视觉系统相机标定、压力芯片点胶孔与固定管座金属引脚特征识别以及高精度对准装配策略。.高温硅压力传感器(以下均简称为传感器)是智能感知系统的关键核心器件之一，其在航空航天、能源采集和工业监...

.本发明涉及半导体，具体而言涉及一种半导体器件及其制造方法。.mems（micro-electro-mechanicalsystem，微机电系统）是指一种将机械构件、驱动部件、光学系统、电控系统集成为一个整体的微型系统。mems器件具有体积小、功耗低等优势，在智能手机、平板电脑、...

.本发明涉及一种用于量子计算的硅基量子装置。.量子计算通常需要大量的量子比特。在近期中等规模量子计算或中等规模带噪声量子装置(nisq)时代，量子计算过程可以使用-个量子比特。量子比特通常被布置在量子装置内的密集阵列中，以便使必要的处理器尺寸最小化。.令人希望的是能够用单独的电极寻址每个量...

.本发明涉及半导体，具体而言涉及一种半导体器件及其制造方法。.mems（micro-electro-mechanicalsystem，微机电系统）是指一种将机械构件、驱动部件、光学系统、电控系统集成为一个整体的微型系统。mems器件具有体积小、功耗低等优势，在智能手机、平板电脑、...

mems声传感器制作方法.本发明涉及mems制作，尤其涉及一种mems声传感器制作方法。.mems声传感器广泛运用于便携式移动电子产品中，比如手机，实现将音频信号转化为声音播放，便携式移动电子产品的小型化驱使mems声传感器的小型化越来越广泛。.相关技术中，mems...

.本发明属于微纳米表面涂层，具体涉及一种金属纳米颗粒微图案结构，并进一步公开其制备方法。.金属纳米颗粒微图案结构制备在集成电子制造、柔性微电子制造、表电化学、各向异性润湿性调控等领域具有十分重要的价值。传统的光刻工艺与真空金属沉积结合的金属图案化工艺存在诸多难以解决的实际问题，例如...

.本公开涉及包括平移屏蔽结构的mems(微机电系统)光学遮蔽件以及相关的制造工艺。.众所周知，如今手机均配备了改进的相机模块，这保证了目前与专业相机相当的性能水平。这样的模块包括逐渐变大并具有逐渐变高性能的传感器；然而，众所周知，只有少数j9九游会真人的解决方案才能实现专业相机的典型特性：可变光学孔径。....

.本发明涉及一种光扫描装置、其驱动方法及图像描绘系统。.作为使用硅(si)的细微加工技术来制作的微机电系统(microelectromechanicalsystems：mems)器件之一已知有微镜器件(也被称为微型扫描仪。)。具备该微镜器件的光扫描装置为小型且低耗电量，因此可期待对...

.本发明涉及半导体，具体而言涉及一种半导体器件及其制造方法。.mems（micro-electro-mechanicalsystem，微机电系统）是指一种将机械构件、驱动部件、光学系统、电控系统集成为一个整体的微型系统。mems器件具有体积小、功耗低等优势，在智能手机、平板电脑、...

.本发明属于微机电系统，涉及一种光学微机电结构及其制作方法。.在过去的几十年中，微机电系统(mems)技术被认为是当代最有前途的技术之一，被广泛用于各个领域。mems技术通过将硅基微电子技术与微机械加工技术相结合，促使研究领域和工业领域发生了革命性的变化。其中，光学mems(opt...

本发明涉及半导体传感器。近年来，作为使用了与作为检测对象物质的靶分子特异性地相互作用的受体的传感器，场效应晶体管(fet：fieldeffecttransistor)型的传感器备受关注。作为fet型的传感器，已提出对于形成在源极电极与漏极电极之间的沟道使用了碳纳米管的传感器(专利文献)...

.本发明属于微电子机械，尤其涉及一种全硅谐振环陀螺结构及制造方法。.微机电系统(microelectro－mechanicalsystems，mems)陀螺具有大批量、低成本制造的优势，同时器件尺寸小，功耗低，在消费级市场获得很大成功。但由于缩小尺寸造成器件的灵敏度下降和噪声水...

.本发明属于半导体，涉及mems材料制备，具体为一种基于铌酸锂单晶薄膜外场调控纳米级逻辑门的方法。.随着mems加工工艺的不断进步，器件小型化、功能集成化程度得到了长足的发展。现有逻辑器件面临着器件功耗大、尺寸大、热稳定性差等问题，在诸多场合应用受到了限制。目前，由于铁电材料中带电...

.本发明通常涉及一种用于生产用在压力传感器、例如压阻式或电容式压力传感器、优选地压阻式压力传感器中的玻璃元件的玻璃晶片，一种用在压力传感器中的玻璃元件以及一种用于生产这种玻璃元件和玻璃晶片的方法。另一方面涉及包括这种玻璃元件或借助这种玻璃元件可获得的压力传感器。.微机电(或mems)压力传...

.本发明属于温度传感器，具体涉及一种带滤光功能的硅透镜盖板及其制备方法。.带腔体的硅盖板在mems工艺中是常见材料，但常见的硅盖板在mems封装工艺中仅提供器件的闭合或密封，在一些硅盖板集成红外滤光、电子电路功能，并且在mems工艺或mems技术中，硅盖板通常用于传感器的密封与保护...