微观装置的制造及其处理技术-j9九游会真人

本发明涉及微结构表面，更具体地而言，涉及一种通过多种形状和尺寸的微特征分层排列而增大表面积的基材，提供具有超级疏水性、与液体覆盖表面接触时有更大滑动摩擦力和附着力的表面。仿生学，或自然界系统的研究，已经越来越成为解决复杂人类问题的普遍灵感来源。为了制造具有特定性能的材料，许多研究小组已经确...

本申请要求在2015年11月30日提交的美国临时申请62/261,058的优先权，该申请的全部内容通过引用纳入本文。本发明总地涉及集成电路。更确切地说，但并非以限制的方式，本发明涉及一种用于保护微机电系统(“mems”)或纳米机电系统(“nems”)裸芯片的环境阻隔层。微机电系统(...

本发明涉及一种用于微机械传感器设备的制造方法和一种相应的微机械传感器设备。虽然也可以应用任意的微机械构件，但本发明和本发明所基于的问题参照具有基于硅的、带有加热装置(加热板)的气体传感器的构件来阐述。微加热板是用于微机械传感器的重要部件。所述微加热板在为了工作原理需要升高温度的传感器原理中...

本发明属于微纳尺度制备领域，具体涉及一种大面积单层胶体微球阵列的制备方法。单层胶体微球阵列，也被称为二维胶体球晶体，近年来吸引了广泛的关注。这主要是因为它们可以被用作表面图案化的通用模版，并能为制备二维有序纳米结构提供一种非常有效的途径。在众多的制备方法中，由于易操作、成型快、与晶圆产业兼...

本发明涉及的是拉曼散射，具体的说是一种表面增强拉曼散射基底的制备方法。表面增强拉曼散射是一种通过分子吸附在粗糙金属表面，利用入射光子与纳米颗粒表面价电子的相互作用机理,激发出高能表面等离子激元,其表面等离子形成的高能"热点"起到表面增强拉曼散射信号的表面敏感技术，因其可以极大地增强...

该发明涉及微纳机器人领域，尤其涉及磁场驱动的仿生磁性微米机器人领域。微纳米机器人指的是尺度在微纳米级别(几纳米至几百微米)的小型机器人，在生物医学和环境保护等领域有非常重要的潜在应用，例如可用于微创外科手术、靶向治疗、细胞操作、重金属检测、污染物降解等，因此受到国内外研究者的广泛关注，...

本发明属于可燃气体传感器，具体涉及一种mems可燃气体传感器及其加工方法。mems全称microelectromechanicalsystem，微机电系统，是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。是在微电子技术(半导体制造技...

本发明涉及微电子机械系统及压力传感器领域，特别是涉及一种基于硅压阻式的压力传感器封装结构。在汽车机油、空压机、石油化工等应用场景较为恶劣的环境中，压力传感器的压力敏感单元不能直接暴露在被测介质下。目前应用于此类恶劣环境的压阻式陶瓷压力传感器和压容式陶瓷压力传感器通常存在封装成品率低、批量校...

本发明是有关于一种生物微机电系统及其制造方法，特别是一种微流体传感元件。生物信息技术利用应用数学、信息学、统计学和计算机科学等方法来收集、筛选、处理及利用各种生物学的资料。在进行生物信息的收集、筛选、处理及利用的过程中，生物样品的制备和分析需要耗费相当大的人力与时间。如何在成分复杂的检体中...

本发明属于微纳操作，具体涉及一种在微操作中能够降低与物体之间黏附力的末端执行器及其制作方法。当今世界，精密操作已经不仅仅限于宏观世界，在微尺度下对于微小目标的操作在微器件的组装测试以及生物医学领域的单细胞测量与组装等领域都发挥了重要作用。对微目标的抓取与释放是微操作当中最为基本的也...

本实用新型涉及一种在堆叠裸片之间具有电触点的半导体集成器件。众所周知，在集成器件制造领域，经常需要从机械和电气角度将从对对应晶片的划片中获得的采用半导体材料(例如，包括硅)的裸片耦合在一起。具体地，传感器器件是已知的，包括至少部分地由半导体材料制成并且使用mems(micro-electr...

本发明涉及微量液体浸润装置领域，具体地，涉及一种毛笔式导液浸润装置。功能有机、无机相材料制备的微米线等一维图形，已广泛应用于通用领域集成光电器件、生物传感器和生物检测。这些检测设备性能很大程度上依赖于图案化的功能材料。受传统中国画中毛笔墨水转移控制的启发，各种功能的液相材料，如量子点、小分...

本发明涉及纳米结构复合材料领域，尤其涉及一种多样性纳米结构复合阵列及其制备方法。纳米结构材料不仅具有“基本单元”所充分展现出的量子效应，而且具有由纳米结构组合(或复合)所引起的新的效应(如量子耦合、协同效应等)，同时纳米结构体系很容易通过外场(电、磁、光)实现对其性能的调控，因此纳米结构材...

本发明总体涉及微机电系统(mems)。mems器件的特征可能在于其小尺寸，因为大多数mems器件的尺寸在1mm以下，并且mems器件可用于打印机头、微型热交换器、高清投影仪、压力传感器和红外应用。例如，在测试和操作期间，mems器件和射频(rf)mems器件可表现出多种故障机制，包括介电充...

本发明属于自动控制，具体涉及一种金属阵列检测单元及其制备方法、检测转换装置。逻辑开关(或称为压力逻辑开关)是一种广泛应用于自动化控制系统的控制仪表。逻辑开关通常用于测量气体或者液体等流体的压力或温度。在被测流体的压力或温度高于或低于额定值时，逻辑开关会相应动作而改变其所包含的微动开...

本实用新型涉及一种mems执行器，特别是一种基于柔性薄膜的mems执行器。随着微流控技术的发展，流体芯片实验室技术得到了广泛的研究。其中，为了将流体从储存腔体推送至外界系统，膜偏转执行器是微型流体泵送系统的重要部件之一，要求具有极高的位置精准性和灵活可控性。目前已经报道的用于流体泵送系统...

本发明属于材料科学，具体涉及一种酸碱响应的各向异性浸润不对称硅纳米圆柱阵列的制备方法。具有刺激响应浸润性表面的制备，已经成为材料科学领域中重要的组成部分，并且应用于很多研究领域，包括传感器(j.chapman,f.regan,adv.eng.mater.2012,14,b17...

本发明涉及微纳加工，尤其涉及一种在聚酰亚胺薄膜表面制作微纳结构的方法。几何尺寸在微米到亚微米量级的结构被称为微纳结构，具有微纳结构的微纳器件，如衍射光学器件、微流控器件、微传感器等，有不同于宏观结构的特殊性能，应用范围广泛。由于微纳器件的加工尺寸很小，其使用的材料和加工工艺均表现出...

本发明涉及微纳制造，具体涉及一种利用糖作掩模的微纳加工方法。掩模作为微纳加工中常用的一种工艺步骤，是样品进行刻蚀、沉积、改性等工艺之前的重要工艺，但在完成刻蚀、沉积、改性等工艺之后，需要去除掩模材料。目前，常用的掩模材料包括金属材料(如au、ni、al等)，金属化合物(如sio2、...

本发明涉及一种具有可移动结构的微机电设备(具体地为微反射镜)，并且具体地涉及其制造工艺。mems(微机电系统)设备已知具有使用半导体材料技术制造的反射镜结构。这些mems设备例如在用于光学应用的便携式装置(比如，便携式计算机、膝上型电脑、笔记本计算机(包括超薄笔记本计算机)、pda、平板...