一种晶圆盒输送装置的制作方法-j9九游会真人

1.本实用新型涉及输送装置技术领域，更具体地说，涉及一种晶圆盒输送装置。


背景技术：

2.在晶圆盒的工艺加工过程中，输送装置常通过单轴机器人和气缸等组合部件将晶圆盒依据需要移动至指定位置。现常用的储存晶圆盒机构内设置有双晶圆槽，要求输送装置的最终输送位置上有两个晶圆盒，通过机器人将双晶圆盒共同夹持至双晶圆槽内。针对此种储存晶圆盒机构，任一晶圆盒的输送顺序与存放的晶圆盒的顺序需保持一致，以保证终端用户处的晶圆盒有序排列。
3.在相关技术中，晶圆盒输送装置通过单向输送将晶圆盒输送至机器人可抓取区域内，通过机器人将晶圆盒放入晶圆槽内，此种输送装置工作时，先输送的晶圆盒会放在储存晶圆盒机构靠近内侧的位置，后输送的晶圆盒会放置在储存晶圆盒机构远离内侧的位置，会导致晶圆盒排列顺序错乱，需进一步通过人工对输送装置输出的晶圆盒的批次信息进行调整排列。
4.此种方式下，人为的方式存在偏差，效率低下，不利于晶圆盒工艺加工的流畅化作业。
5.综上所述，如何提供一种便于排列晶圆盒输出顺序的输送装置，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。


技术实现要素：

6.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种晶圆盒输送装置，通过传送组件和承接组件的配合，可满足对晶圆盒输送过程中位置的调节，通过机械化的方式提高了作业效率和调节精准度，降低人工成本，增加使用效益。
7.为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
8.一种晶圆盒输送装置，包括：
9.支撑架；
10.传送组件，设于所述支撑架上，所述传送组件上设有用于放置所述晶圆盒的第一支撑件，所述第一支撑件可沿所述支撑架的长度方向移动；
11.承接组件，设于所述传送组件的一侧，所述承接组件上设有第二支撑件，所述第二支撑件上设有至少两个承接槽，所述承接组件可移动至所述第一支撑件的下端，以将所述第一支撑件上的所述晶圆盒移动至任一所述承接槽上。
12.优选的，所述传送组件包括：
13.滑道；
14.第一支架，可滑动地设于所述滑道上；
15.第一气缸，所述第一气缸的固定端设于所述第一支架上，所述第一气缸的移动端与所述第一支撑件连接，所述第一气缸可带动所述第一支撑件沿所述支撑架的高度方向移
动。
16.优选的，所述滑道的一侧设有电机传动组件，所述电机传动组件可带动所述第一支架在所述滑道上滑动。
17.优选的，所述滑道上设有光电感应件，所述光电感应件用于检测所述第一支架的移动距离。
18.优选的，所述承接组件包括：
19.第二气缸，设于所述支撑架上，所述第二支撑件设于所述第二气缸的移动端，所述第二气缸可带动所述第二支撑件沿着所述支撑架的宽度方向移动。
20.优选的，所述第二支撑件的一侧设有光电感应件，所述光电感应件用于检测所述晶圆盒是否位于所述承接槽上。
21.优选的，所述第二支撑件的顶部设有限位块，若干个所述限位块合围形成所述承接槽。
22.优选的，所述光电感应件包括：感应器以及感应片，所述感应器设于所述感应片的移动路线上；
23.或，所述感应片设于所述感应器的移动路线上。
24.优选的，所述第一支架上设有旋转气缸，所述旋转气缸的固定端与所述第一支架连接，所述旋转气缸的转动端与所述第一气缸连接。
25.本实用新型提供的晶圆盒输送装置，包括支撑架、传送组件以及承接组件，传送组件设于支撑架上，承接组件设于传送组件的一侧，其中传送组件上设有第一支撑件，第一支撑件可用于放置晶圆盒，第一支撑件可沿支撑架的长度方向移动，即传送组件上的晶圆盒可沿支撑架的长度方向移动；第二支撑件设于承接组件上且具有至少两个承接槽，承接组件可移动至第一支撑件的下端，以将第一支撑件上的晶圆盒转移至任一承接槽上，即通过承接组件的设置，可将传送组件上的晶圆盒进行位置排列，如传送组件最先输送的晶圆盒可放置在第二支撑件上靠近内侧的承接槽上。通过传送组件和承接组件的配合，可满足对晶圆盒输送过程中位置的调节，通过机械化的方式提高了作业效率和调节精准度，降低人工成本，增加使用效益。
附图说明
26.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
27.图1为本实用新型所提供的晶圆盒输送装置的结构示意图；
28.图2为本实用新型所提供的晶圆盒输送装置的侧视图；
29.图3为本实用新型所提供的晶圆盒输送装置的左视图；
30.图4为本实用新型所提供的晶圆盒输送装置的爆炸图；
31.图5为本实用新型所提供的传送组件的结构示意图；
32.图6为本实用新型所提供的传送组件的局部示意图；
33.图7为本实用新型所提供的旋转气缸的安装示意图。
34.图1-图7中，附图标记包括：
35.支撑架1、滑道2、第一支架3、第一气缸4、第一支撑件5、晶圆盒6、电机传动组件7、第二气缸8、第二支撑件9、限位块10、光电感应件11、旋转气缸12；
36.感应器111、感应片112。
具体实施方式
37.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
38.本实用新型的核心是提供一种晶圆盒输送装置，通过传送组件和承接组件的配合，可满足对晶圆盒6输送过程中位置的调节，通过机械化的方式提高了作业效率和调节精准度，降低人工成本，增加使用效益。
39.本实用新型所提供的晶圆盒输送装置包括支撑架1、传送组件以及承接组件，请参考图1至图4。
40.支撑架1用于对传送组件以及承接组件形成稳定可靠支撑，不局限支撑架1的结构形式以及尺寸等，支撑架1的材质优选为硬度强度较好的材料，保证支撑架1使用时的稳固性和抗破坏力。
41.传送组件，设置在支撑架1上，优选为可拆卸连接。传送组件上设有用于放置晶圆盒6的第一支撑件5，请参考图1至图4，晶圆盒6被放置在第一支撑件5上。第一支撑件5可沿支撑架1的长度方向移动，第一支撑件5可通过气缸、电机等方式实现移动。
42.可选的，第一支撑件5可与支撑架1直接接触以实现移动，也可在支撑架1上连接滑动件，第一支撑件5在滑动件上移动。
43.可选的，第一支撑件5可设置为可移动也可转动的构件，以满足晶圆盒6的移动需求，具体可结合实际情况进行设计。
44.承接组件设于传送组件的一侧，承接组件上设有第二支撑件9，第二支撑件9上设置有至少两个承接槽，承接槽的具体结构形式不做限制，可妥善放置晶圆盒6即可。
45.可选的，承接组件的移动方向可为自由移动或双向移动。
46.承接组件可移动至第一支撑件5的下端，承接组件可通过电机、气缸等方式实现移动，承接组件移动至第一支撑件5的下端后，可与第一支撑件5配合作用，以将传送组件上的晶圆盒6移动到第二支撑件9上的任意一个承接槽上。
47.第一支撑件5和第二支撑件9的具体配合过程指的是，第一支撑件5支撑于晶圆盒支撑脚座内部区域，第二支撑件9支撑晶圆盒支撑脚座。在晶圆盒6承接的过程中，第一支撑件5可将晶圆盒支撑脚座放置在第二支撑件9的顶部承接槽内，完成晶圆盒6的传递后，第一支撑件5向着远离第二支撑件9的方向移动以使第一支撑件5和晶圆盒6完全分离。
48.通过承接组件和传送组件的设置，可满足将第一支撑件5上的晶圆盒6按照一定的放置顺序摆放在承接组件上，以便于后续将晶圆盒6按照顺序移动至晶圆盒储存机构内。
49.本实用新型所提供的晶圆盒输送装置还应包括控制机构，控制机构可结合作业需要实时地控制第一支撑件5以及第二支撑件9的移动。
50.上述晶圆盒输送装置，包括支撑架1、传送组件以及承接组件，传送组件设于支撑架1上，承接组件设于传送组件的一侧，其中传送组件上设有第一支撑件5，第一支撑件5可用于放置晶圆盒6，第一支撑件5可沿支撑架1的长度方向移动，即传送组件上的晶圆盒6可沿支撑架1的长度方向移动；第二支撑件9设于承接组件上且具有至少两个承接槽，承接组件可移动至第一支撑件5的下端，以将第一支撑件5上的晶圆盒6转移至任一承接槽上，即通过承接组件的设置，可将传送组件上的晶圆盒6进行位置排列，如传送组件最先输送的晶圆盒6可放置在第二支撑件9上靠近内侧的承接槽上。通过传送组件和承接组件的配合，可满足对晶圆盒6输送过程中位置的调节，通过机械化的方式提高了作业效率和调节精准度，降低人工成本，增加使用效益。
51.在上述实施例的基础之上，传送组件包括：滑道2；第一支架3，可滑动地设于滑道2上；第一气缸4，第一气缸4的固定端设于第一支架3上，第一气缸4的移动端与第一支撑件5连接，第一气缸4可带动第一支撑件5沿支撑架1的高度方向移动。
52.请参考图1至图3、图6，传送组件包括滑道2、第一支架3、第一气缸4，第一支架3可滑动地设于滑道2上，滑道2的长度方向即支撑架1的长度方向，第一支架3可在滑道2上沿着支撑架1的长度方向滑动，以实现晶圆盒6的传输。
53.第一支架3与滑道2之间的滑动可通过驱动电机、气缸等驱动。
54.第一支架3上还连接有第一气缸4，第一气缸4的移动端与第一支撑件5连接，且第一气缸4可带动第一支撑件5沿支撑架1的高度方向移动，请参考图1至图3。在滑道2以及第一气缸4的共同作用下，第一支撑件5上的晶圆盒6可沿着支撑架1的长度、高度方向移动，在进行晶圆盒6的承接时，第一支撑件5先沿滑道2滑动至作业位置，进一步地第一气缸4带动第一支撑件5下落以将晶圆盒支撑脚座放置在第二支撑件9的承接槽内，完成晶圆盒6转移后，第一气缸4配合滑道4以使第一支撑件5离开第二支撑件9，以进行下一个晶圆盒6的传输作业。
55.在本实施例中，第一气缸4自身具有的磁性传感器，可检测活塞的移动距离，就可检测晶圆盒6的移动距离并传递给控制机构。
56.在上述任一实施例的基础之上，滑道2的一侧设有电机传动组件7，电机传动组件7可带动第一支架3在滑道2上滑动。
57.请参考图1、图2，电机传动组件7在滑道2上设置的位置不做具体限制，操作便捷，作业流畅即可。电机传动组件7可为第一支架3在滑道2上的平稳移动提供可靠动力支持，也可保证第一支架3的传输精准度。进一步地，电机传动组件7可带动第一支撑件5上的晶圆盒6稳定可靠地沿着滑道2的长度方向进行移动。
58.电机传动组件7包括伺服电机，可控制输送的速度和位置准确度，伺服电机是将电压信号转化为转矩和转速以驱动控制对象，可把所收到的电信号转换成电动机轴上的角位移或角速度输出，伺服电机转子转速受输入信号控制，并能快速反应以驱动控制对象。
59.将滑道2的驱动件作为伺服电机，可保证第一支架3在滑道2上的精准流畅滑动，提高作业的准确性。
60.在上述任一实施例的基础之上，滑道2上设有光电感应件11，光电感应件11用于检测第一支架3的移动距离。
61.请参考图1，在第一支架3沿滑道2的长度方向移动时，光电感应件11可检测第一支
架3的移动距离并传递至控制机构上，以便于对第一支架3移动距离的实时检测。不限制光电感应件11的类型、设置个数以及位置，能配合实现距离检测功能即可。
62.在上述任一实施例的基础之上，承接组件包括：第二气缸8，设于支撑架1上，第二支撑件9设于第二气缸8的移动端，第二气缸8可带动第二支撑件9沿着支撑架1的宽度方向移动。
63.请参考图1至图3，第二气缸8的固定端固定于支撑架1上，第二气缸8的移动端与第二支撑件9连接，第二气缸8可带动第二支撑件9沿着支撑架1的宽度方向移动，即第二气缸8可带动第二支撑件9移动以到达传送组件的第一支撑件5的下端，配合第一气缸4、电机传送组件7、滑道2完成晶圆盒6的转移作业。
64.在本实施例中，第二气缸8上也自带有磁性传感器，可用于检测第二气缸8的活塞的移动距离，即可得知第二支撑件9的移动距离。
65.在上述任一实施例的基础之上，第二支撑件9的一侧设有光电感应件11，光电感应件11用于检测晶圆盒6是否位于承接槽上。
66.请参考图1，光电感应件11设置在第二支撑件9的一侧，在晶圆盒6转移至承接槽上时，可及时感知并将信息传递至控制机构，控制机构可对晶圆盒6位置放置的准确性进行判断。相对应的，若在第二支撑件9上设置多个承接槽，光电感应件11对应的要设置多组。
67.在上述任一实施例的基础之上，第二支撑件9的顶部设有限位块10，若干个限位块10合围形成承接槽。
68.请参考图1、图2，限位块10与晶圆盒支撑脚座对应设置，若干个限位块10合围形成承接槽，以用于放置晶圆盒6。限位块10的具体形式不做限制，与晶圆盒支撑脚座配合设置即可。
69.在上述任一实施例的基础之上，光电感应件11包括：感应器111以及感应片112，感应器111设于感应片112的移动路线上；
70.或，感应片112设于感应器111的移动路线上。
71.请参考图7、图1，感应器111与感应片112中的一者固定设置，另一者设置在移动部件上，如晶圆盒6上，当感应片112通过感应器111的感应区域时，触发传感器并发送相关检测信息给控制机构，反应灵敏，结构简单有效。其中，感应器111的外形优选为u型隧道式。
72.光电感应件11的设置，可保证第一支撑件5、第二支撑件9在移动过程中不会脱轨，保证作业的安全性以及对主要工作部件的防护，保证工作部件的使用寿命。
73.在上述任一实施例的基础之上，第一支架3上设有旋转气缸12，旋转气缸12的固定端与第一支架3连接，旋转气缸12的转动端与第一气缸4连接。
74.请参考图5，若要满足晶圆盒6的更高工艺要求，如为了保证晶圆盒6内晶圆的刻蚀效果，需将晶圆背对背设置，此时不仅需要调节晶圆盒6的位置，还需要调转晶圆盒6的方向，通过在第一支架3和第一气缸4之间设置旋转气缸12以将晶圆盒6翻转后再放置在第二支撑件9上的承接槽内，以满足作业要求。
75.请参考图1至图7，本实用新型所提供的晶圆盒输送装置在原输送装置的基础上添加了承接组件，进行设计更新，在原动作逻辑上添加承接组件的运动以实现对输送装置输送的晶圆盒6排列顺序的控制，充分利用原有机台，能在最低成本基础上满足新工艺需求，减少加工成本，提高适用性，提高效率，增加效益，提高产品核心竞争力。
76.本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
77.以上对本实用新型所提供的一种晶圆盒输送装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。