压电振动器件制造装置及压电振动器件的制造方法与流程-j9九游会真人

1.本发明涉及压电振动器件制造装置及压电振动器件的制造方法。


背景技术：

2.压电振动器件例如包含使用了水晶振动片的水晶振子。所述水晶振子具有作为压电元件的水晶振动片与保持所述水晶振动片的保持部件。所述水晶振子在由陶瓷等绝缘体构成的箱状的所述保持部件内保持所述水晶振动片。所述水晶振子在所述水晶振动片的电极与所述保持部件内的电极接合的状态下被封装。
3.在制造这样的所述压电振动器件的压电振动器件制造装置中，对所述压电元件与所述保持部件分别进行供给。所述压电振动器件制造装置将由吸附头等移载装置供给的所述压电元件配置在涂布有接合材料的所述保持部件内。此时，需要将所述压电元件以电极以外的部分不与所述保持部件接触的方式配置在所述保持部件内。于是，已知有将相对于所述移载装置定位的所述压电元件配置在所述保持部件内的所述压电振动器件制造装置。例如在专利文献1中，公开有在对所供给的元件部件进行定位之后将所述元件部件搭载至元件搭载部件晶圆的元件部件搭载装置。
4.专利文献1所记载的元件部件搭载装置具备为了对多个所述元件部件进行定位而进行临时放置的托盘。所述托盘具有临时放置所述元件部件的多个凹部。所述凹部的壁面在深度方向上倾斜并且在凹部的开口侧露出。投入至所述凹部的所述元件部件在所述凹部的壁面滑动，配置在凹部的底面。所述元件部件通过所述凹部的壁面而在所述凹部的底面被定位。所述元件部件搭载装置将定位在多个所述凹部的底面的多个所述元件部件输送至所述元件搭载部件晶圆上。由此，所述元件部件搭载装置能够将多个所述元件部件以规定的朝向分别配置在所述元件搭载部件晶圆上的规定的位置。
5.现有技术文献
6.专利文献
7.专利文献1：日本特开2012/99560号


技术实现要素：

8.发明要解决的技术问题
9.所述元件部件搭载装置通过吸引移动单元将所供给的多个所述元件部件输送至所述托盘，在所述托盘中进行定位。进而，所述元件部件搭载装置通过吸引移动单元的吸附部吸附在所述托盘中定位的多个所述元件部件，输送至所述元件搭载部件晶圆上。因此，存在多个所述元件部件在吸附时其位置及朝向相对于在所述托盘中定位的位置发生偏移的可能性。此外，为了在所述凹部内配置所述元件部件，所述托盘的凹部具有在所述壁面与位于所述底面的所述元件部件之间产生间隙这样的大小的底面。因此，存在所述元件部件相对于所述托盘其位置及朝向以在所述壁面与位于所述底面的所述元件部件之间产生的间隙量发生偏移的可能性。
10.本发明的目的在于，提供能够将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件的压电振动器件制造装置及压电振动器件的制造方法。
11.用于解决上述技术问题的方案
12.本发明人等对能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件的压电振动器件制造装置及压电振动器件的制造方法进行了研究。作为深入研究的结果，本发明人等想到了以下构成。
13.本发明的一实施方式的压电振动器件制造装置是用于制造至少具有压电元件与保持所述压电元件的保持部件、且所述压电元件通过接合材料而与所述保持部件接合的压电振动器件的压电振动器件制造装置。
14.压电振动器件制造装置具有：多个吸附头，分别逐一吸附所述压电元件；吸附头移动装置，搭载所述多个吸附头，使所述多个吸附头在从供给多个所述压电元件的压电元件供给位置到供给多个所述保持部件的保持部件供给位置之间同时往返移动。所述吸附头具有：吸附嘴，吸附所述压电元件；吸附头用水平移动机构，使所述吸附嘴在水平方向上移动；吸附头用竖直移动机构，使所述吸附嘴在竖直方向上移动；吸附头用旋转移动机构，使所述吸附嘴在绕竖直轴的旋转方向上移动。
15.多个所述吸附头在所述压电元件供给位置通过多个所述吸附嘴而分别吸附被供给至所述压电元件供给位置的所述压电元件。多个所述吸附头通过所述吸附头移动装置而从所述压电元件供给位置移动至所述保持部件供给位置。所述吸附头用水平移动机构、所述吸附头用竖直移动机构、所述吸附头用旋转移动机构中的至少一个基于与多个所述吸附嘴分别吸附的多个所述压电元件的位置相关的信息、以及与供给至所述保持部件供给位置的多个所述保持部件的位置相关的信息，将多个所述吸附嘴的位置分别独立地单独调整至能够将多个所述吸附嘴分别吸附的所述压电元件分别配置在对应的所述保持部件的位置。
16.在上述构成中，多个所述吸附头由各自的吸附嘴吸附所述压电元件，输送多个所述压电元件。此时，所述吸附头基于与所吸附的多个所述压电元件的位置相关的信息、以及与分别配置所吸附的多个所述压电元件的多个所述保持部件的位置相关的信息，分别独立地单独调整多个所述吸附嘴的位置。由此，多个所述吸附头能够在考虑了吸附时的偏移的基础上，以与所述保持部件的水平方向的位置及竖直方向的位置对应的方式分别单独调整所吸附的多个所述压电元件的位置。而且，多个所述吸附头基于作为数值数据的与所述压电元件的位置相关的信息以及与所述保持部件的位置相关的信息，单独调整所述吸附嘴的位置。因此，所述压电振动器件制造装置无需为了对位而进行对所述压电元件的临时放置等。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
17.根据另一观点，本发明的压电振动器件制造装置优选包含以下构成。压电振动器件制造装置具有：多个供给头，将所述接合材料分别供给至所述保持部件；供给头移动装置，搭载所述多个供给头，使所述多个供给头在从所述多个供给头的待机位置到所述保持部件供给位置之间同时往返移动。
18.所述供给头具有：供给装置，供给所述接合材料；供给头用水平移动机构，使所述供给装置在水平方向上移动；供给头用竖直移动机构，使所述供给装置在竖直方向上移动。通过所述供给头移动装置使多个所述供给头从所述待机位置移动至所述保持部件供给位
置。所述供给头用水平移动机构或供给头用竖直移动机构中的至少一个基于与供给至所述保持部件供给位置的多个所述保持部件的位置相关的信息，分别独立地单独调整所述供给装置的位置，以使多个所述供给装置能够将所述接合材料分别供给至多个所述保持部件。
19.在上述构成中，多个所述供给头以与所述保持部件的水平方向的位置及竖直方向的位置对应的方式分别独立地单独调整所述供给装置的位置。由此，所述供给装置能够向所述保持部件中的规定的位置排出接合材料。而且，多个所述供给头基于作为所取得的数值数据的与多个所述保持部件的位置相关的信息，分别独立地单独调整所述供给装置的位置。因此，所述压电振动器件制造装置无需进行所述保持部件相对于所述供给装置的对位等。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将接合材料分别配置到多个保持部件的规定的位置。由此，能够将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
20.根据另一观点，本发明的压电振动器件制造装置优选包含以下构成。在所述保持部件供给位置，多个所述供给头从多个所述供给装置将所述接合材料分别独立地单独供给至多个所述保持部件。在所述保持部件供给位置，多个所述吸附头将多个所述吸附嘴分别吸附的所述压电元件分别独立地单独配置在被供给有所述接合材料的多个所述保持部件。
21.在上述构成中，多个所述供给头基于与所述保持部件的位置相关的信息，分别独立地单独调整多个所述供给装置的水平方向的位置及竖直方向的位置。多个所述供给装置分别独立地单独向多个所述保持部件的规定的位置供给所述接合材料。由此，多个所述供给装置能够在考虑多个所述保持部件的位置的偏差的同时向所述保持部件中的规定的位置排出接合材料。此外，多个所述吸附头基于与所述压电元件的位置相关的信息以及与所述保持部件的位置相关的信息，分别独立地单独调整多个所述吸附嘴的水平方向的位置及竖直方向的位置。多个所述吸附嘴将所述压电元件分别独立地单独配置在多个所述保持部件的规定的位置。由此，所述吸附头能够在考虑所述保持部件的形状的偏差的同时将所述压电元件配置在所述保持部件。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
22.根据另一观点，本发明的压电振动器件制造装置优选包含以下构成。所述多个供给头能够通过所述供给头用水平移动机构或所述供给头用竖直移动机构中的至少一个对各自的所述供给装置的位置同时进行调整。此外，多个所述吸附头能够通过所述吸附头用水平移动机构、所述吸附头用竖直移动机构、或所述吸附头用旋转移动机构中的至少一个对各自的所述吸附嘴的位置同时进行调整。
23.在上述构成中，压电振动器件制造装置通过各移动机构同时调整所述多个吸附头及所述多个供给头的位置，因此无论所述吸附头及所述供给头的数量是多少，都可抑制调整所述多个吸附头及所述多个供给头的位置所需的时间。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将供给材料分别供给到多个保持部件的规定的位置。此外，能够在不增加生产节拍的情况下在多个保持部件的规定的位置以规定的朝向分别配置多个压电元件。
24.根据另一观点，本发明的压电振动器件制造装置优选包含以下构成。压电振动器件制造装置具有：压电元件位置测量装置，分别测量多个所述吸附头分别吸附的多个所述压电元件的水平方向的位置及所述压电元件的朝向作为与所述压电元件的位置相关的信息；保持部件位置测量装置，分别测量供给至所述保持部件供给位置的多个所述保持部件的水平方向及竖直方向的位置作为与所述保持部件的位置相关的信息。
25.在上述构成中，压电元件位置测量装置在由多个所述吸附嘴分别吸附所述压电元件的状态下测量所述压电元件的水平方向的位置及所述压电元件的朝向。即，压电元件位置测量装置分别测量吸附于所述吸附嘴的多个所述压电元件的偏移。此外，所述保持部件位置测量装置不仅分别测量供给至所述保持部件供给位置的多个所述保持部件的水平方向的位置，还分别测量竖直方向的位置。由此，通过所述保持部件位置测量装置，能够基于对应的所述保持部件的竖直方向的位置而独立地单独调整分别配置到多个所述保持部件的所述压电元件的竖直方向的位置。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
26.本发明的一实施方式的压电振动器件的制造方法是至少具有压电元件与保持所述压电元件的保持部件、且所述压电元件通过所述接合材料而与所述保持部件接合的压电振动器件的制造方法。
27.压电振动器件的制造方法具有：压电元件供给工序，将多个所述压电元件供给至压电元件供给位置；压电元件定位工序，将多个所述压电元件定位至压电元件供给位置；保持部件供给工序，将多个所述保持部件供给至保持部件供给位置；保持部件定位工序，将多个所述保持部件定位至保持部件供给位置；压电元件输送工序，将定位在压电元件供给位置的多个所述压电元件从所述压电元件供给位置输送至所述保持部件供给位置；压电元件位置调整工序，基于与从所述压电元件供给位置输送至所述保持部件供给位置的多个所述压电元件的位置相关的信息、以及与定位在所述保持部件供给位置的所述保持部件的位置相关的信息，以能够将从所述压电元件供给位置输送至所述保持部件供给位置的多个所述压电元件分别配置在对应的所述保持部件的方式，分别独立地单独调整多个所述压电元件的位置。
28.在上述构成中，所述压电振动器件的制造方法具有压电元件位置调整工序，该压电元件位置调整工序基于与所述保持部件的位置相关的信息以及在压电元件输送工序中在输送中获取的与所述压电元件的位置相关的信息，分别独立地单独调整多个所述压电元件的位置。在与所述压电元件的位置相关的信息中，包括与考虑了输送中的多个所述压电元件的姿态在内的位置相关的信息。由此，无需另外设置在压电元件输送工序后通过临时放置等对所述压电元件的姿态进行定位的工序。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
29.根据另一观点，本发明的压电振动器件的制造方法优选包含以下构成。具有接合材料供给位置调整工序，在所述保持部件供给位置，基于与供给至所述保持部件供给位置的所述保持部件的位置相关的信息，调整供给至所述保持部件的所述接合材料的供给位置。
30.在上述构成中，在所述接合材料供给位置调整工序中，与所述保持部件的位置相匹配地分别单独调整供给所述接合材料的位置。而且，由于基于作为所取得的数值数据的与多个所述保持部件的位置相关的信息而单独调整接合材料的供给位置，因此无需对每个所述保持部件进行单独的对位等。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
31.根据另一观点，本发明的压电振动器件的制造方法优选包含以下构成。压电振动器件的制造方法具有：接合材料供给工序，在所述保持部件供给位置，向多个所述保持部件
分别供给所述接合材料；压电元件接合工序，在所述保持部件供给位置，将从所述压电元件供给位置输送至所述保持部件供给位置的多个所述压电元件分别配置在被供给有所述接合材料的多个所述保持部件。
32.在上述构成中，在所述接合材料供给工序中，基于与多个所述保持部件的位置相关的信息，调整多个所述保持部件中的所述接合材料的供给位置。此外，在所述压电元件接合工序中，基于与所述压电元件的位置相关的信息以及与所述保持部件的位置相关的信息，调整多个所述保持部件中的多个所述压电元件的配置位置。因此，能够将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
33.根据另一观点，本发明的压电振动器件的制造方法优选包含以下构成。所述接合材料供给位置调整工序是分别同时调整向多个所述保持部件供给所述接合材料的位置的工序。此外，所述压电元件位置调整工序是以能够将所述多个压电元件分别配置在所述保持部件的方式分别同时调整所述多个压电元件的位置的工序。
34.在上述构成中，在所述压电元件位置调整工序中，同时调整多个所述压电元件的配置位置，在所述接合材料供给位置调整工序中，同时调整接合材料的多个供给位置。因此，无论配置到所述保持部件的所述压电元件的数量是多少，都可抑制用于调整所述多个压电元件的配置位置及所述接合材料的供给位置所需的时间。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将供给材料分别供给至多个保持部件的规定的位置。此外，能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
35.根据另一观点，本发明的压电振动器件的制造方法优选包含以下构成。具有：压电元件位置信息获取工序，分别获取与从所述压电元件供给位置被输送至所述保持部件供给位置的多个所述压电元件的水平方向的位置及所述压电元件的朝向相关的信息；保持部件位置信息获取工序，分别获取与被供给至所述保持部件供给位置的多个所述保持部件的水平方向及竖直方向的位置相关的信息。
36.在上述构成中，在所述压电元件位置信息获取工序中，对所述压电元件输送工序中的多个所述压电元件的水平方向的位置及所述压电元件的朝向进行测量。即，在所述压电元件位置信息获取工序中，对被吸附的压电元件的姿态进行测量。此外，在所述保持部件位置信息获取工序中，不仅分别测量多个所述保持部件的水平方向的位置，还分别测量竖直方向的位置，因此能够基于对应的所述保持部件的竖直方向的位置而独立地单独调整分别配置到多个所述保持部件的所述压电元件的竖直方向的位置。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
37.[压电振动器件]
[0038]
在本说明书中，压电振动器件是指具有将施加于压电体的力转换为电压、或者将施加于压电体的电压转换为力的压电元件的电子部件。压电振动器件包含水晶振子、水晶振荡器等。压电振动器件用于振荡电路、滤波电路、致动器、传感器等。
[0039]
[压电元件]
[0040]
在本说明书中，压电元件是指将施加的力转换为电压、或者将施加的电压转换为力的压电体。在本实施方式中，压电元件是以特定的方向切割水晶而得的板状的水晶振动片。压电元件具有通过蒸镀、溅射等而成膜出的电极。
[0041]
[保持部件]
[0042]
在本说明书中，保持部件是指用于保持压电元件的由绝缘体构成的容器。保持部件在本实施方式中为陶瓷制的壳体。保持部件在内部具有与压电元件电连接的电极。保持部件在内部具有能够配置压电元件的凹部。
[0043]
[接合材料]
[0044]
在本说明书中，接合材料是指将压电元件接合于保持容器的导电性的材料。接合材料例如是焊料、粘接材料等。在本实施方式中，接合材料是热固化性的粘接剂。
[0045]
[相对距离]
[0046]
在本说明书中，相对距离是指部件的中心彼此的距离。
[0047]
[与位置相关的信息]
[0048]
在本说明书中，与位置相关的信息是指以压电振动器件制造装置中的任意点为原点，作为对象的装置、部件等中的特定的点在x方向、y方向、z方向及θ方向的坐标。本实施方式中的坐标是以压电振动器件制造装置中的任意点为原点的坐标系。
[0049]
发明效果
[0050]
根据本发明的一实施方式，能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
附图说明
[0051]
图1是示出本发明的实施方式1的压电振动器件制造装置的整体构成的概略的俯视图。
[0052]
图2a是示出向本发明的实施方式1的压电振动器件制造装置供给的多个压电元件与托盘的俯视图。
[0053]
图2b是示出向本发明的实施方式的压电振动器件制造装置供给的多个保持部件的概略的俯视图。
[0054]
图3是示出本发明的实施方式的压电振动器件制造装置所具有的多个吸附头的整体构成的概略的俯视图。
[0055]
图4是图3中的a向视图。
[0056]
图5是示出本发明的实施方式的压电振动器件制造装置所具有的多个供给头的整体构成的概略的侧视图。
[0057]
图6是示出本发明的实施方式的压电振动器件制造装置的控制构成的框图。
[0058]
图7是示出本发明的实施方式的压电振动器件制造装置的多个吸附头将压电元件输送到保持部件供给位置的状态的概略的俯视图。
[0059]
图8是示出由本发明的实施方式的压电振动器件制造装置的多个吸附头调整了吸附嘴的位置的状态的概略的俯视图。
[0060]
图9是本发明的实施方式的压电振动器件的制造方法的流程图。
[0061]
图10是示出本发明的实施方式的压电振动器件的制造方法中的保持部件位置信息获取工序、压电元件供给工序、保持部件供给工序、压电元件定位工序及保持部件定位工序中的压电振动器件制造装置的工作状态的俯视图。
[0062]
图11是示出本发明的实施方式的压电振动器件的制造方法中的接合材料供给位置调整工序及接合材料供给工序中的压电振动器件制造装置的工作状态的俯视图。
[0063]
图12是示出本发明的实施方式的压电振动器件的制造方法中的压电元件输送工序、压电元件位置信息获取工序、压电元件位置调整工序及压电元件接合工序中的压电振动器件制造装置的工作状态的俯视图。
[0064]
图13是示出包含本发明的实施方式的压电振动器件制造装置的压电振动器件制造线的构成的俯视图。
[0065]
图14是示出包含本发明的实施方式的压电振动器件制造装置的压电振动器件制造线的控制构成的框图。
具体实施方式
[0066]
以下，参照附图对各实施方式进行说明。在各图中，对相同部分标注相同的附图标记，不重复该相同部分的说明。另外，各图中的构成部件的尺寸并未忠实地表现实际的构成部件的尺寸及各构成部件的尺寸比率等。
[0067]
另外，在以下的本发明的实施方式的压电振动器件制造装置1的说明中，规定将压电元件p输送至压电元件供给位置sp的方向为“x方向”。规定作为与x方向正交的方向的、将压电元件p从压电元件供给位置sp输送至保持部件供给位置sh的方向为“y方向”。规定与x方向和y方向正交的方向为“z方向”。规定绕在z方向延伸的轴线旋转的旋转方向为θ方向。此外，在本实施方式中，x方向及y方向为水平面上的方向。z方向为竖直方向。但是，并不旨在通过对该方向的定义来限定压电振动器件制造装置1的使用时的朝向。
[0068]
此外，在以下的说明中，“固定”、“连接”、“接合”及“安装”等(以下，称为固定等)的表述不仅包括部件彼此直接固定等的情况，还包括经由其它部件固定等的情况。即，在以下的说明中，在固定等的表述中包括部件彼此的直接及间接的固定等含义。
[0069]
[实施方式1]
[0070]
《压电振动器件制造装置的整体构成》
[0071]
使用图1至图6，对作为制造本发明的压电振动器件的装置即压电振动器件制造装置的实施方式1的压电振动器件制造装置1进行说明。图1是示出本发明的实施方式1的压电振动器件制造装置1的整体构成的概略的俯视图。图2a是示出向压电振动器件制造装置1供给的多个压电元件p与托盘t的俯视图。图2b是示出向压电振动器件制造装置1供给的多个保持部件h的概略的俯视图。图3是示出压电振动器件制造装置1所具有的多个吸附头20的整体构成的概略的俯视图。图4是图3中的a向视图。图5是示出压电振动器件制造装置1所具有的多个供给头30的整体构成的概略的侧视图。图6是示出压电振动器件制造装置1的控制构成的框图。
[0072]
如图1所示，压电振动器件制造装置1具有架台2、压电元件供给装置10、保持部件供给装置11、吸附头移动装置12、供给头移动装置13、作为压电元件位置测量装置的照相机14、作为保持部件位置测量装置的激光测量装置15、控制装置16、吸附头20及供给头30。压电振动器件制造装置1在架台2的水平的面即载置面上配置有各装置。压电振动器件制造装置1从未图示的供给线供给多个压电元件p与多个保持部件h。
[0073]
如图2a及图2b所示，在压电振动器件制造装置1中，多个压电元件p以维持彼此的相对距离的状态被供给。在本实施方式中，在作为压电元件p的容器的托盘t设置有可配置压电元件p的多个凹部c。凹部c在俯视时呈矩形。在托盘t上，按间隔px在x方向上设置的一
组多个凹部c在y方向上按间隔py排列。即，在托盘t中，多个凹部c以按间隔px位于x方向且按间隔py位于y方向的矩阵状配置。压电元件p分别位于托盘t的凹部c内。此外，相邻的凹部c的间隔px、间隔py是俯视矩形的凹部c的中心(对角线的交点)间的间隔。
[0074]
在压电振动器件制造装置1中，多个保持部件h以维持彼此的相对距离的状态被供给。在本实施方式中，对于多个保持部件h，按间隔px在x方向上排齐的一组多个保持部件h在y方向上按间隔py排齐。即，多个保持部件h以按间隔px位于x方向且按间隔py位于y方向的矩阵状配置。此外，多个保持部件h形成为相互连结的薄片状。另外，配置成薄片状的多个保持部件h位于与凹部c的x方向的间隔px、y方向的间隔py对应的位置。
[0075]
保持部件h例如在俯视时为长方形状。保持部件h例如构成为长边2.0mm、短边1.6mm的大小。此外，保持部件h例如构成为长边1.6mm、短边1.2mm的大小。此外，保持部件h例如构成为长边1.2mm、短边1.0mm的大小。另外，多个保持部件相互连结而形成的薄片的大小与保持部件h的大小无关地构成为相同的大小。即，作为薄片，薄片中包含的保持部件h的数量根据保持部件h的大小而不同。通过这样构成，压电振动器件制造装置1即使变更保持部件h的大小，也无需更换后述的吸附头移动装置12、供给头移动装置13等。
[0076]
如图1所示，压电元件供给装置10是将收纳有多个压电元件p的托盘t输送至压电元件供给位置sp，并且在压电元件供给位置sp确定供给对象的压电元件p的位置的定位装置。在本实施方式中，压电元件供给装置10是具有作为致动器的伺服电机与作为线性驱动机构的滚珠丝杠单元的单轴的线性驱动单元。将沿竖直方向观察时输送压电元件p的方向作为x方向而将压电元件供给装置10配置在架台2上。
[0077]
压电元件供给装置10具有载置托盘t的托盘载置部10a。压电元件供给装置10能够根据伺服电机的旋转量使托盘载置部10a移动至操作范围内的任意位置。在压电元件供给装置10中，在压电元件待机位置wp，从未图示的外部的供给线向托盘载置部10a供给托盘t。能够将载置于托盘载置部10a的托盘t输送至压电元件供给位置sp。另外，预先确定压电元件供给装置10中的压电元件供给位置sp。此外，压电元件供给装置10为了将收纳于托盘t的多个压电元件p中的供给对象的压电元件p定位至压电元件供给位置sp，基于供给对象的压电元件p在托盘载置部10a上的位置，对每个供给对象的压电元件p确定托盘载置部10a的停止位置。压电元件供给装置10基于针对每个供给对象的压电元件p确定的停止位置，将供给对象的压电元件p定位至压电元件供给位置sp。
[0078]
保持部件供给装置11是将连结为薄片状的多个保持部件h输送至保持部件供给位置sh，并且在保持部件供给位置sh对供给对象的保持部件h的位置进行定位的装置。在本实施方式中，保持部件供给装置11是具有作为致动器的伺服电机与作为线性驱动机构的滚珠丝杠单元等的单轴的线性驱动单元。将沿竖直方向观察时输送保持部件h的方向作为x方向而将保持部件供给装置11配置在架台2上。
[0079]
保持部件供给装置11配置在与架台2上的压电元件供给装置10相邻的位置。保持部件供给装置11具有载置多个保持部件h的保持部件载置部11a。保持部件供给装置11能够根据伺服电机的旋转量将保持部件载置部11a移动至操作范围内的任意位置。在保持部件供给装置11中，在保持部件待机位置wh，从未图示的外部的供给线向保持部件载置部11a供给多个保持部件h。保持部件供给装置11能够将载置于保持部件载置部11a的多个保持部件h输送至保持部件供给位置sh。另外，预先确定保持部件供给装置11中的保持部件供给位置
sh。此外，保持部件供给装置11为了将以薄片状排齐的多个保持部件h中的任意位置的保持部件h定位至保持部件供给位置sh，基于供给对象的保持部件h在保持部件载置部11a上的位置，对每个供给对象的保持部件h确定保持部件载置部11a的停止位置。保持部件供给装置11基于针对每个供给对象的保持部件h确定的停止位置，将供给对象的保持部件h定位至保持部件供给位置sh。
[0080]
吸附头移动装置12是使多个吸附头20同时移动的装置。在本实施方式中，吸附头移动装置12是具有作为致动器的伺服电机与作为线性驱动机构的滚珠丝杠单元等的单轴的线性驱动单元。将沿竖直方向观察时输送多个吸附头20的方向作为y方向而将吸附头移动装置12配置在架台2上。此外，吸附头移动装置12位于压电元件供给装置10及保持部件供给装置11的竖直方向(z方向)的上方。
[0081]
吸附头移动装置12具有载置多个吸附头20的吸附头载置部12a。吸附头载置部12a具有搭载多个吸附头20的水平的载置面。吸附头移动装置12能够根据伺服电机的旋转量使吸附头载置部12a移动至操作范围内的任意位置。吸附头移动装置12使载置于吸附头载置部12a的载置面的多个吸附头20在从压电元件供给位置sp到保持部件供给位置sh之间往返移动。
[0082]
吸附头移动装置12为了使多个吸附头20移动至压电元件供给位置sp，基于供给对象的压电元件p在托盘载置部10a上的位置，对每个供给对象的压电元件p确定吸附头载置部12a的停止位置。同样地，吸附头移动装置12为了使多个吸附头20移动至保持部件供给位置sh，基于供给对象的保持部件h在保持部件载置部11a上的位置，对每个供给对象的保持部件h确定吸附头载置部12a的停止位置。
[0083]
供给头移动装置13是使多个供给头30同时移动的装置。在本实施方式中，供给头移动装置13是具有作为致动器的伺服电机与作为线性驱动机构的滚珠丝杠单元等的单轴的线性驱动单元。将沿竖直方向观察时输送多个供给头30的方向作为y方向而将供给头移动装置13配置在架台2上。供给头移动装置13位于保持部件供给装置11的竖直方向(z方向)的上方。
[0084]
供给头移动装置13具有载置多个供给头30的供给头载置部13a。供给头载置部13a具有搭载多个供给头30的水平的载置面。供给头移动装置13能够根据伺服电机的旋转量将供给头载置部13a移动至操作范围内的任意位置。供给头移动装置13能够将载置于供给头载置部13a的多个供给头30从待机位置w输送至保持部件供给位置sh。另外，供给头移动装置13为了使多个供给头30移动至保持部件供给位置sh，基于供给对象的保持部件h在保持部件载置部11a上的位置，对每个供给对象的保持部件h确定供给头载置部13a的停止位置。
[0085]
如图3与图4所示，吸附头20是利用吸附嘴28吸附压电元件p并将其配置在保持部件h的凹部内的装置。吸附头20具有吸附头用水平移动机构21、吸附头用竖直移动机构24、吸附头用旋转移动机构26与吸附嘴28。
[0086]
吸附头用水平移动机构21具有在第1方向上移动的板状的吸附头用第1移动部件22、以及在与第1方向不同的第2方向上移动的板状的吸附头用第2移动部件23。吸附头用第1移动部件22能够利用作为致动器的步进电机与凸轮机构在第1方向上移动。吸附头用第2移动部件23能够利用作为致动器的步进电机与凸轮机构在第2方向上移动。
[0087]
吸附头用第1移动部件22配置在吸附头移动装置12的吸附头载置部12a。此时，沿
竖直方向观察时，吸附头用第1移动部件22以作为移动方向的第1方向成为水平方向上的x方向的方式配置。由此，吸附头用第1移动部件22能够相对于吸附头载置部12a在水平方向上的x方向上移动。
[0088]
吸附头用第2移动部件23配置在吸附头用第1移动部件22。沿竖直方向观察时，吸附头用第2移动部件23以作为移动方向的第2方向成为水平方向上的与x方向正交的y方向的方式配置。由此，吸附头用第2移动部件23能够相对于吸附头用第1移动部件22在水平方向上的与x方向正交的y方向上移动。
[0089]
这样构成的吸附头用水平移动机构21能够通过吸附头用第1移动部件22使吸附头用第2移动部件23相对于吸附头载置部12a在水平方向上的x方向上移动。此外，吸附头用水平移动机构21能够使吸附头用第2移动部件23相对于吸附头用第1移动部件22在水平方向上的与x方向正交的y方向上移动。即，吸附头用水平移动机构21能够使吸附头用第2移动部件23相对于吸附头载置部12a在水平方向上的x方向及与x方向正交的y方向上移动。
[0090]
吸附头用竖直移动机构24具有在相对于吸附头用水平移动机构21的移动方向即第1方向及第2方向垂直的方向上移动的板状的吸附头用第3移动部件25。吸附头用第3移动部件25能够通过作为致动器的伺服电机与作为线性驱动机构的滚珠丝杠单元等在第3方向上移动。
[0091]
吸附头用第3移动部件25搭载于吸附头用第2移动部件23。此时，吸附头用第3移动部件25以作为移动方向的第3方向成为z方向的方式配置。由此，吸附头用第3移动部件25能够相对于吸附头载置部12a在水平方向上的x方向及y方向上移动，并且能够在竖直方向即z方向上移动。
[0092]
吸附头用旋转移动机构26具有绕在吸附头用竖直移动机构24的移动方向即第3方向上延伸的轴线移动(旋转)的筒状的吸附头用第4移动部件27。吸附头用第4移动部件27能够通过作为致动器的步进电机等在旋转方向上移动。
[0093]
吸附头用第4移动部件27搭载于吸附头用旋转移动机构26。此时，吸附头用第4移动部件27以作为旋转轴线的第3方向成为z方向的方式配置。即，吸附头用第4移动部件27能够在绕竖直轴的旋转方向即θ方向上旋转。由此，吸附头用第4移动部件27能够相对于吸附头载置部12a在水平方向上的x方向及y方向上移动，并且能够在竖直方向即z方向上移动，而且能够在θ方向上旋转。
[0094]
吸附嘴28是吸附托盘t的凹部c内的压电元件p的嘴。吸附嘴28搭载于吸附头用第4移动部件27。吸附嘴28配置在吸附头用第4移动部件27的下端部。吸附嘴28具有能够吸附压电元件p的下端部形状。此外，吸附嘴28在下端部具有吸附孔。吸附嘴28在由压电元件p堵塞吸附孔的状态下使吸附孔内的压力成为负压，由此吸附压电元件p。配置在吸附头用第4移动部件27的吸附嘴28能够相对于吸附头载置部12a在水平方向上的x方向及y方向上移动，并且能够在竖直方向即z方向上移动，而且能够在θ方向上旋转。
[0095]
像这样，构成吸附头20的吸附头用水平移动机构21、吸附头用竖直移动机构24及吸附头用旋转移动机构26在各个移动方向上分别具有作为致动器的伺服电机。此外，吸附头用水平移动机构21、吸附头用竖直移动机构24及吸附头用旋转移动机构26不构成为相互连动。即，吸附头用水平移动机构21、吸附头用竖直移动机构24及吸附头用旋转移动机构26能够相互独立地单独在各个移动方向上移动。
[0096]
压电振动器件制造装置1具有多个吸附头20。压电振动器件制造装置1例如具有4台吸附头20。4台吸附头20搭载于吸附头移动装置12的吸附头载置部12a。由此，4台吸附头20构成为能够通过吸附头移动装置12同时在压电元件供给位置sp与保持部件供给位置sh之间移动。另一方面，4台吸附头20的可动部分未相互连结。即，4台吸附头20的吸附嘴28能够在搭载于吸附头载置部12a的状态下，相互独立地单独在x方向、y方向、z方向及θ方向上移动。
[0097]
在x方向上排列配置有2台吸附头20。此外，在x方向上排列配置的2台吸附头20的y方向上，各排列配置有1台吸附头20。即，4台吸附头20配置为在x方向与y方向上排列的矩阵状。在x方向上排列的吸附头20的吸附嘴28配置为间隔px的整数倍即a倍的间隔，间隔px为设置在托盘t上的凹部c及薄片状的保持部件h的间隔px。在y方向上排列的吸附头20的吸附嘴28配置为间隔py的整数倍即b倍的间隔，间隔py为设置在托盘t上的凹部c及薄片状的保持部件h的间隔py。
[0098]
通过这样构成，4台吸附头20能够在压电元件供给位置sp通过各个吸附嘴28分别逐个吸附位于托盘t上的压电元件p。即，4台吸附头20能够分别吸附任意选择的压电元件p、自所述任意选择的压电元件p起在x方向上的第a个的压电元件p、自所述任意选择的压电元件p起在y方向上的第b个的压电元件p、以及自所述任意选择的压电元件p起在x方向上的第a个且为在y方向上的第b个的压电元件p。
[0099]
同样地，4台吸附头20能够在保持部件供给位置sh将各个吸附嘴28所吸附的压电元件p逐个地配置在保持部件h的凹部内。即，4台吸附头20能够分别吸附任意选择的保持部件h、自所述任意选择的保持部件h起在x方向上的第a个的保持部件h、自所述任意选择的保持部件h起在y方向上的第b个的保持部件h、以及自所述任意选择的保持部件h起在x方向上的第a个且为在y方向上的第b个的保持部件h。
[0100]
如图5所示，供给头30是向薄片状的多个保持部件h的凹部内供给接合材料的装置。供给头30具有供给头用水平移动机构31、供给头用竖直移动机构34与供给装置36。
[0101]
供给头用水平移动机构31具有在第1方向上移动的供给头用第1移动部件32、以及在与第1方向不同的第2方向上移动的供给头用第2移动部件33。供给头用第1移动部件32能够通过作为致动器的步进电机与凸轮机构在第1方向上移动。供给头用第2移动部件33能够通过作为致动器的步进电机与凸轮机构在第2方向上移动。
[0102]
供给头用第1移动部件32配置在供给头移动装置13的供给头载置部13a。此时，供给头用第1移动部件32以沿竖直方向观察时，作为移动方向的第1方向成为x方向的方式配置。由此，供给头用第1移动部件32能够相对于供给头载置部13a在水平方向上的x方向上移动。
[0103]
供给头用第2移动部件33配置在供给头用第1移动部件32。供给头用第2移动部件33以沿竖直方向观察时，作为移动方向的第2方向成为水平方向上的与x方向正交的y方向的方式配置。由此，供给头用第2移动部件33能够相对于供给头用第1移动部件32在水平方向上的y方向上移动。
[0104]
这样构成的供给头用水平移动机构31能够通过供给头用第1移动部件32使供给头用第2移动部件33相对于供给头载置部13a在水平方向上的x方向上移动。此外，供给头用水平移动机构31能够使供给头用第2移动部件33相对于供给头用第1移动部件32在水平方向
上的与x方向正交的y方向上移动。即，供给头用水平移动机构31能够使供给头用第2移动部件33相对于供给头载置部13a在水平方向上的x方向及与x方向正交的y方向上移动。
[0105]
供给头用竖直移动机构34具有在与供给头用水平移动机构31的移动方向即第1方向及第2方向垂直的方向上移动的板状的供给头用第3移动部件35。供给头用第3移动部件35能够通过作为致动器的伺服电机与作为线性驱动机构的滚珠丝杠单元等在第3方向上移动。
[0106]
供给头用第3移动部件35配置在供给头用第2移动部件33。此时，供给头用第3移动部件35以作为移动方向的第3方向成为z方向的方式配置。由此，供给头用第3移动部件35能够相对于供给头载置部13a在水平方向上的x方向及y方向上移动并且能够在竖直方向即z方向上移动。
[0107]
供给装置36是向配置压电元件p的保持部件h的凹部内供给接合材料的装置。供给装置36是在本实施方式中以规定量排出导电性的粘接剂的排出装置。供给装置36配置在供给头用第3移动部件35。供给装置36具有能够向竖直方向(z方向)下方的保持部件h的凹部内供给接合材料的形状的排出嘴36a。在沿水平方向观察时，供给装置36从排出嘴36a朝向竖直方向(z方向)下方排出接合材料。此外，排出嘴36a构成为在从z方向与保持部件h接触的情况下能够在z方向上移动。搭载于供给头用第3移动部件35的供给装置36能够相对于供给头载置部13a在水平方向上的x方向及y方向上移动并且能够在竖直方向即z方向上移动。
[0108]
此外，供给装置36具有冷却装置36b。冷却装置36b由作为半导体热电元件的珀尔帖元件与冷却所述珀尔帖元件的空冷风扇构成。冷却装置36b位于排出嘴36a的附近。冷却装置36b将供给装置36内的接合材料的温度维持在适当的温度。由此，供给装置36将内部的接合材料的粘度维持在一定的范围，因此能够抑制排出嘴36a中的接合材料的堵塞。
[0109]
此外，供给装置36具有检测排出嘴36a在z方向的位置的接触传感器(未图示)。接触传感器是检测排出嘴36a在z方向的运动的传感器。因此，接触传感器能够检测出排出嘴36a的前端与保持部件h接触这一情况。后述的控制装置16将由接触传感器检测出排出嘴36a与保持部件h的接触时的供给头用第3移动部件35的位置作为零点来控制供给装置36。接触传感器配置在比供给头用第3移动部件35所具有的未图示的z方向的引导装置更靠近供给装置36侧的位置。优选接触传感器配置在排出嘴36a的z轴线上。
[0110]
如此，构成供给头30的供给头用水平移动机构31及供给头用竖直移动机构34在各个移动方向上分别具有作为致动器的伺服电机。此外，供给头用水平移动机构31及供给头用竖直移动机构34不构成为相互连动。即，供给头用水平移动机构31及供给头用竖直移动机构34能够相互独立地单独移动。
[0111]
压电振动器件制造装置1具有多个供给头30。压电振动器件制造装置1例如具有4台供给头30。4台供给头30配置在供给头移动装置13的供给头载置部13a。由此，4台供给头30构成为能够通过供给头移动装置13同时在待机位置w与保持部件供给位置sh之间移动。另一方面，4台供给头30的可动部分不相互连结。即，4台供给头30的供给装置36能够在搭载于供给头载置部13a的状态下，相互独立地单独在x方向、y方向及z方向上移动。
[0112]
在x方向上排列配置有2台供给头30。此外，在x方向上排列配置的2台供给头30的y方向上，各排列配置有1台供给头30。即，4台供给头30配置为在x方向与y方向上排列的矩阵状。在x方向上排列的供给头30的供给装置36的排出嘴36a配置为薄片状的保持部件h的间
隔px的整数倍即a倍的间隔。在y方向上排列的供给头30的供给装置36的排出嘴36a配置为薄片状的保持部件h的间隔py的整数倍即b倍的间隔。
[0113]
此外，在供给头载置部13a载置有确认供给装置36预喷的接合材料的涂布直径的确认照相机37。进而，在后述的作为待机位置w的供给装置36的下方配置有由供给装置36进行预喷的预喷部38。
[0114]
通过这样构成，4台供给头30能够在保持部件供给位置sh处向保持部件h供给接合材料时，在不通过供给头移动装置13及供给头用水平移动机构31使供给装置36的位置移动的情况下由各个供给装置36向保持部件h供给接合材料。即，4台供给头30能够向任意选择的保持部件h、自所述任意选择的保持部件h起在x方向上的第a个的保持部件h、自所述任意选择的保持部件h起在y方向上的第b个的保持部件h、以及自所述任意选择的保持部件h起在x方向上的第a个且为在y方向上的第b个的保持部件h供给接合材料。
[0115]
如图1与图6所示，作为压电元件位置测量装置的照相机14是测量4个吸附嘴28分别吸附的压电元件p相对于吸附头20的位置的照相机。照相机14在架台2上位于吸附头移动装置12的竖直方向的下方。此外，沿竖直方向观察时，照相机14配置在与通过吸附头移动装置12移动的吸附头20重叠的位置。此外，照相机14设置为拍摄竖直方向上方。由此，照相机14能够从吸附头20的下方拍摄由吸附头移动装置12移动的吸附头20与吸附头20分别吸附的压电元件p。即，照相机14能够拍摄用于测量4个吸附嘴28分别吸附的压电元件p相对于吸附头20的位置的图像。
[0116]
作为保持部件位置测量装置的激光测量装置15是测量以薄片状连结的多个保持部件h的包括位置在内的形状的测量装置。激光测量装置15在架台2上位于保持部件供给装置11的竖直方向的上方。此外，沿竖直方向观察时，激光测量装置15配置在与由保持部件供给装置11输送的薄片状的保持部件h重叠的位置。此外，激光测量装置15设置为向竖直方向下方照射激光。由此，激光测量装置15能够从保持部件h的上方测量供给至保持部件供给装置11的薄片状的保持部件h。
[0117]
即，激光测量装置15能够基于以薄片状连结的多个保持部件h各自的形状、位置、竖直方向上的各部位的厚度信息而三维地测量形状。此外，激光测量装置15构成为能够以与各个保持部件h的水平方向上的位置及旋转程度相匹配的方式旋转及在水平方向上移动。由此，能够利用激光扫描更准确地测量保持部件的包括位置在内的形状。
[0118]
如图6所示，控制装置16控制压电元件供给装置10、保持部件供给装置11、吸附头移动装置12、供给头移动装置13、吸附头20、供给头30、照相机14及激光测量装置15。控制装置16实质上通过总线而使cpu、rom、ram等连接。或者，控制装置16也可以是由单芯片的ls i等组成的构成。控制装置16为了控制各致动器、照相机14、激光测量装置15的动作或处理图像数据而存储有各种程序及数据。
[0119]
控制装置16与压电元件供给装置10、保持部件供给装置11、吸附头移动装置12及供给头移动装置13的各伺服电机电连接，能够分别独立地单独进行控制。此外，控制装置16与吸附头20的吸附头用水平移动机构21、吸附头用竖直移动机构24及吸附头用旋转移动机构26的伺服电机电连接，能够分别独立地单独进行控制。此外，控制装置16能够控制未图示的吸附头20的吸引切换用的电磁阀。此外，控制装置16与供给头用水平移动机构31及供给头用竖直移动机构34的伺服电机电连接，能够分别独立地单独进行控制。此外，控制装置16
与4个供给装置36电连接，能够分别独立地单独进行控制。
[0120]
控制装置16与照相机14电连接，能够控制照相机14。此外，控制装置16能够获取照相机14拍摄到的图像。此外，控制装置16与激光测量装置15电连接，能够控制激光测量装置15。此外，控制装置16能够获取由激光测量装置15测量出的对于多个保持部件h各自的位置、形状的测量值。
[0121]
这样构成的压电振动器件制造装置1具有多个能够使吸附嘴28在x方向、y方向、z方向及θ方向上独立地单独移动的吸附头20。进而，压电振动器件制造装置1能够分别独立地单独控制多个吸附头20中的吸附嘴28的位置。此外，压电振动器件制造装置1具有多个能够使接合材料的供给装置36在x方向、y方向及z方向上独立地单独移动的供给头30。进而，压电振动器件制造装置1能够分别独立地单独控制多个供给头30中的供给装置36的位置。
[0122]
《关于压电元件的吸附位置与保持部件的位置》
[0123]
接下来，使用图2a及图2b，对本发明的压电振动器件制造装置1的4个吸附头20所吸附的压电元件p在托盘t上的位置、与配置压电元件p的保持部件h的位置进行说明。
[0124]
4个吸附头20中的吸附嘴28彼此在x方向上具有间隔px的a倍的间隔，在y方向上具有间隔py的b倍的间隔。因此，4个吸附头20中的第1吸附头20对收纳有压电元件p的托盘t上的多个凹部c中的任意位置的凹部c中收纳的第1压电元件p1进行吸附。4个吸附头20中的第2吸附头20对自收纳有第1压电元件p1的凹部c起在x方向上相邻a个的凹部c中收纳的第2压电元件p2进行吸附。4个吸附头20中的第3吸附头20对自收纳有第1压电元件p1的凹部c起在y方向上相邻b个的凹部c中收纳的第3压电元件p3进行吸附。4个吸附头20中的第4吸附头20对自收纳有第1压电元件p1的凹部c起在x方向上相邻a个且在y方向上相邻b个的凹部c中收纳的第4压电元件p4进行吸附。
[0125]
4个吸附头20在将自收纳有第1压电元件p1的凹部c起在x方向上相邻1个的凹部c中收纳的压电元件p作为吸附对象的压电元件p而进行吸附的情况下，将自分别收纳有第1压电元件p1、第2压电元件p2、第3压电元件p3及第4压电元件p4的凹部c起在x方向上相邻1个的凹部c中收纳的压电元件p作为吸附对象的压电元件p而进行吸附。4个吸附头20在将自收纳有第1压电元件p1的凹部c起在y方向上相邻1个的凹部c中收纳的压电元件p作为吸附对象的压电元件p而进行吸附的情况下，将自分别收纳有第1压电元件p1、第2压电元件p2、第3压电元件p3及第4压电元件p4的凹部c起在y方向上相邻1个的凹部c中收纳的压电元件p作为吸附对象的压电元件p而进行吸附。
[0126]
因此，4个吸附头20分别吸附在托盘t上的多个凹部c中的以下4个区域内所包含的凹部c中收纳的压电元件p，该4个区域是由自收纳有第1压电元件p1、第2压电元件p2、第3压电元件p3及第4压电元件p4的凹部c起直到分别在x方向上相邻(a-1)个的凹部c为止的范围与自收纳有第1压电元件p1、第2压电元件p2、第3压电元件p3及第4压电元件p4的凹部c起直到分别在y方向上相邻(b-1)个的凹部c为止的范围所包围的4个区域。即，第1吸附头20对包括收纳有第1压电元件p1的凹部c在内的第1压电元件区域rp1内的压电元件p进行吸附。第2吸附头20对包括收纳有第2压电元件p2的凹部c在内的第2压电元件区域rp2内的压电元件p进行吸附。第3吸附头20对包括收纳有第3压电元件p3的凹部c在内的第3压电元件区域rp3内的压电元件p进行吸附。第4吸附头20对包括收纳有第4压电元件p4的凹部c在内的第4压电元件区域rp4内的压电元件p进行吸附。这样，各吸附头20分别吸附与吸附头20的数量对
应的数量且相等形状的区域中包含的压电元件p。
[0127]
吸附有第1压电元件p1的第1吸附头20将第1压电元件p1配置至任意位置的保持部件h即第1保持部件h1的凹部内。吸附有第2压电元件p2的第2吸附头20将第2压电元件p2配置至自第1保持部件h1起在x方向上相邻a个的保持部件h即第2保持部件h2的凹部内。吸附有第3压电元件p3的第3吸附头20将第3压电元件p3配置至自第1保持部件h1起在y方向上相邻b个的保持部件h即第3保持部件h3的凹部内。吸附有第4压电元件p4的第4吸附头20将第4压电元件p4配置至自1保持部件h1起在x方向上相邻a个且在y方向上相邻b个的保持部件h即第4保持部件h4的凹部内。这样，各保持部件h保持有压电元件p。
[0128]
4个吸附头20在将压电元件p配置至自配置有第1压电元件p1的第1保持部件h1起在x方向上相邻1个的保持部件h的情况下，将压电元件p配置至自第1保持部件h1、第2保持部件h2、第3保持部件h3及第4保持部件h4起在x方向上相邻1个的保持部件h。4个吸附头20在将压电元件p配置至自配置有第1压电元件p1的第1保持部件h1起在y方向上相邻1个的保持部件h的凹部的情况下，将压电元件p配置至自第1保持部件h1、第2保持部件h2、第3保持部件h3及第4保持部件h4起在y方向上相邻1个的保持部件h的凹部内。
[0129]
因此，4个吸附头20将压电元件p分别配置于以薄片状连结的多个保持部件h中的以下4个区域内所包含的保持部件h的凹部内，该4个区域是由自第1保持部件h1、第2保持部件h2、第3保持部件h3及第4保持部件h4起直到分别在x方向上相邻(a-1)个的保持部件h为止的范围与自第1保持部件h1、第2保持部件h2、第3保持部件h3及第4保持部件h4起直到分别在y方向上相邻(b-1)个的保持部件h为止的范围所包围的4个区域。即，第1吸附头20将第1压电元件p1配置至包含第1保持部件h1的第1保持部件区域rh1内的保持部件h的凹部内。第2吸附头20将第2压电元件p2配置至包含第2保持部件h2的第2保持部件区域rh2内的保持部件h的凹部内。第3吸附头20将第3压电元件p3配置至包含第3保持部件h3的第3保持部件区域rh3内的保持部件h的凹部内。第4吸附头20将第4压电元件p4配置至包含第4保持部件h4的第4保持部件区域rh4内的保持部件h的凹部内。这样，各吸附头20将压电元件p分别配置至与吸附头20的数量对应的数量且彼此为相等形状的区域所包含的保持部件h的凹部内。
[0130]
另外，在通过吸附头20将从第1压电元件区域rp1内的任意位置的凹部c中吸附的压电元件p配置在第1保持部件区域rh1内的、与收纳过所吸附的压电元件p的第1压电元件区域rp1内的凹部c对应的位置的保持部件h的情况下，第1保持部件区域rh1与第1压电元件区域rp1为相等的形状。第2保持部件区域rh2与第2压电元件区域rp2为相等的形状。第3保持部件区域rh3与第3压电元件区域rp3为相等的形状。第4保持部件区域rh4与第4压电元件区域rp4为相等的形状。即，从第1保持部件区域rh1到第4保持部件区域rh4内的保持部件h的配置等同于从第1压电元件区域rp1到第4压电元件区域rp4内的压电元件p的配置。
[0131]
《压电元件的配置位置的调整》
[0132]
接着，使用图1、图7及图8对本发明的压电振动器件制造装置1的吸附头20中的吸附嘴28的位置调整进行说明。图7是示出压电振动器件制造装置1的多个吸附头20将压电元件p输送至保持部件供给位置sh的状态的概略的俯视图。图8是示出压电振动器件制造装置1的多个吸附头20调整了吸附嘴28的位置的状态的概略的俯视图。
[0133]
控制装置16具有与保持部件供给装置11的位置相关的信息、与吸附头移动装置12
的位置相关的信息、与供给头移动装置13的位置相关的信息、与照相机14的位置相关的信息、与激光测量装置15的位置相关的信息、与吸附头20的位置相关的信息及与供给头30的位置相关的信息。
[0134]
如图1所示，控制装置16通过激光测量装置15测量由保持部件供给装置11输送的薄片状的多个保持部件h的形状。此时，控制装置16获取激光测量装置15测量出的关于薄片状的多个保持部件h的形状的测量值。控制装置16获取关于保持部件h的形状的测量值后，通过保持部件供给装置11将薄片状的多个保持部件h输送至保持部件供给位置sh。
[0135]
控制装置16根据所获取的关于多个保持部件h的测量值、与激光测量装置15测量时的保持部件供给装置11中的多个保持部件h的输送位置，分别计算关于测量出的各保持部件h的x方向、y方向及z方向上的中心位置与作为长度方向的朝向的θ方向的坐标值即h(n)(x0，y0，z0，θ0)。此外，(n)是保持部件h的编号。控制装置16将测量出的保持部件h的坐标值即h(n)(x0n，y0n，z0n，θ0n)作为与保持部件h的位置相关的信息i h进行存储。
[0136]
如图7所示，控制装置16基于在多个保持部件h中预先确定的压电元件p的接合顺序来控制保持部件供给装置11，从而将多个保持部件h中的配置第1压电元件p1至第4压电元件p4的第1保持部件h1至第4保持部件h4输送至保持部件供给位置sh。控制装置16基于计算出的与保持部件h的位置相关的信息i h，提取第1保持部件h1至第4保持部件h4在保持部件供给位置sh处的坐标值即h1(x11，y11，z11，θ11)、h2(x12，y12，z12，θ12)、h3(x13，y13，z13，θ13)、h4(x14，y14，z14，θ14)。
[0137]
控制装置16以将分别吸附有从第1压电元件p1至第4压电元件p4的4个压电元件p的4个吸附头20输送至保持部件供给位置sh的方式控制吸附头移动装置12。控制装置16以从下方拍摄由4个吸附头20通过吸附嘴28分别吸附的第1压电元件p1至第4压电元件p4的方式控制照相机14。
[0138]
控制装置16获取照相机14拍摄到的图像。控制装置16从所获取的图像中检测吸附头20与被吸附嘴28吸附的第1压电元件p1至第4压电元件p4。控制装置16根据检测出的吸附头20及被吸附嘴28吸附的第1压电元件p1至第4压电元件p4、拍摄图像时的吸附头移动装置12中的吸附头20的输送位置，分别计算示出所检测出的第1压电元件p1至第4压电元件p4的x方向及y方向的中心位置与长边方向的朝向的坐标值即p1(x01，y01，θ01)、p2(x02，y02，θ02)、p3(x03，y03，θ03)、p4(x04，y04，θ04)。
[0139]
控制装置16基于第1保持部件h1至第4保持部件h4在保持部件供给位置sh处的x方向、y方向及θ方向的坐标值即h1(x11，y11，θ11)、h2(x12，y12，θ12)、h3(x13，y13，θ13)、h4(x14，y14，θ14)，计算被吸附嘴28吸附的第1压电元件p1至第4压电元件p4在保持部件供给位置sh处的坐标值即p1(x11，y11，θ11)、p2(x12，y12，θ12)、p3(x13，y13，θ13)、p4(x14，y14，θ14)，并作为与压电元件p的位置相关的信息i p进行存储。
[0140]
控制装置16计算为了使保持部件供给位置sh处的第1压电元件p1的坐标值即p1(x11，y11，θ11)与在保持部件供给位置sh处对应的第1保持部件h1的坐标值即h1(x11，y11，θ11)一致而所需的吸附嘴28在x方向、y方向、θ方向及z方向的移动量即ap1(x11，y11，z11，θ11)。同样地，控制装置16计算为了使保持部件供给位置sh处的第2压电元件p2至第4压电元件p4的坐标值即p2(x12，y12，θ12)、p3(x13，y13，θ13)、p4(x14，y14，θ14)与在保持部件供给位置sh处分别对应的第2保持部件h2至第4保持部件h4的坐标值即h2(x12，y12，θ12)、h3
(x13，y13，θ13)、h4(x14，y14，θ14)一致而所需的吸附嘴28在x方向、y方向、θ方向的调整量及z方向的移动量即ap2(x11，y11，z11，θ11)、ap3(x13，y13，z13，θ13)、ap4(x14，y14，z14，θ14)。
[0141]
如图8所示，控制装置16基于计算出的4个吸附嘴28在x方向、y方向、θ方向的调整量及z方向的移动量即ap1(x11，y11，z11，θ11)、ap2(x11，y11，z11，θ11)、ap3(x13，y13，z13，θ13)、ap4(x14，y14，z14，θ14)，控制各个吸附头20的吸附头用水平移动机构21及吸附头用旋转移动机构26，以针对每个吸附头20独立地单独调整吸附嘴28的水平方向的位置及倾斜度。进而，控制装置16基于计算出的z方向的移动量，控制各个吸附头20的吸附头用竖直移动机构24，以将第1压电元件p1至第4压电元件p4配置在第1保持部件h1至第4保持部件h4内。即，控制装置16基于与压电元件p的位置相关的信息i p以及与保持部件h的位置相关的信息i h，控制各个吸附头20的吸附头用水平移动机构21、吸附头用竖直移动机构24或吸附头用旋转移动机构26中的至少一个，以调整吸附嘴28的位置。
[0142]
《接合材料的供给位置的调整》
[0143]
接下来，对本发明的压电振动器件制造装置1的供给头30中的排出嘴36a的位置调整进行说明。
[0144]
控制装置16为了将4个供给头30输送至保持部件供给位置sh而对供给头移动装置13进行控制。控制装置16基于与供给头30的位置相关的信息与第1保持部件h1至第4保持部件h4在保持部件供给位置sh处的坐标值即h1(x11，y11，z11，θ11)、h2(x12，y12，z12，θ12)、h3(x13，y13，z13，θ13)、h4(x14，y14，z14，θ14)，计算保持部件供给位置sh处的4个排出嘴36a的坐标值即j1(x11，y11)、j2(x12，y12)、j3(x13，y13)、j4(x14，y14)，并作为与接合材料的位置相关的信息进行存储。
[0145]
控制装置16计算为了使4个供给装置36中的一个在保持部件供给位置sh处的坐标值即j1(x11，y11)与对应的第1保持部件h1在保持部件供给位置sh处的坐标值即h1(x11，y11，z11，θ11)一致而所需的排出嘴36a在x方向、y方向、θ方向的调整量及z方向的移动量即aj 1(x11，y11，z11)。同样地，控制装置16计算为了使其它3个排出嘴36a在保持部件供给位置sh处的坐标值即j2(x12，y12)、j3(x13，y13)、j4(x14，y14)分别与对应的第2保持部件h2至第4保持部件h4在保持部件供给位置sh处的坐标值即h2(x12，y12，z12，θ12)、h3(x13，y13，z13，θ13)、h4(x14，y14，z14，θ14)一致而所需的排出嘴36a在x方向、y方向的调整量及z方向的移动量即aj2(x12，y12，z12)、aj3(x13，y13，z13)、aj4(x14，y14，z14)。
[0146]
控制装置16基于计算出的4个吸附嘴28在x方向、y方向、θ方向的调整量及z方向的移动量即aj1(x11，y11，z11)、aj2(x12，y12，z12)、aj3(x13，y13，z13)、aj4(x14，y14，z14)，控制各个供给头30的供给头用水平移动机构31，以针对每个供给头30独立地单独调整排出嘴36a的水平方向的位置。进而，控制装置16基于aj1(x11，y11，z11)、aj2(x12，y12，z12)、aj3(x13，y13，z13)、aj4(x14，y14，z14)，控制各个供给头30的供给头用竖直移动机构34，以针对每个供给头30使排出嘴36a在竖直方向移动而将接合材料配置在保持部件h的凹部内。即，控制装置16基于与压电元件p的位置相关的信息i p以及与保持部件h的位置相关的信息i h，控制各个供给头30的供给头用水平移动机构31或供给头用竖直移动机构34中的至少一个，以调整供给装置36的位置。
[0147]
接下来，使用图9至图12，对利用压电振动器件制造装置1的压电振动器件的制造
方法中包括的压电元件搭载工序s100进行说明。图9是压电振动器件的制造方法中包括的压电元件搭载工序s100的流程图。图10为示出压电元件搭载工序s100中的保持部件位置信息获取工序s110、压电元件供给工序s120、保持部件供给工序s125、压电元件定位工序s130及保持部件定位工序s135中的压电振动器件制造装置1的工作状态的俯视图。图11是示出压电元件搭载工序s100中的接合材料供给位置调整工序s140及接合材料供给工序s150中的压电振动器件制造装置1的工作状态的俯视图。图12是示出压电元件搭载工序s100中的压电元件输送工序s160、压电元件位置信息获取工序s170、压电元件位置调整工序s180及压电元件接合工序s190中的压电振动器件制造装置1的工作状态的俯视图。
[0148]
如图9所示，压电元件搭载工序s100具有保持部件位置信息获取工序s110、压电元件供给工序s120、保持部件供给工序s125、压电元件定位工序s130、保持部件定位工序s135、接合材料供给位置调整工序s140、接合材料供给工序s150、压电元件输送工序s160、压电元件位置信息获取工序s170、压电元件位置调整工序s180、压电元件接合工序s190。
[0149]
作为压电振动器件制造装置1的初始状态，在压电元件供给装置10中，从未图示的外部的供给线向托盘载置部10a供给收纳有多个压电元件p的托盘t。此外，在保持部件供给装置11中，从未图示的外部的供给线向保持部件载置部11a供给薄片状的多个保持部件h(参照图1)。
[0150]
保持部件位置信息获取工序s110是获取与多个保持部件h的位置相关的信息i h的工序。在保持部件位置信息获取工序s110中，激光测量装置15在通过保持部件供给装置11使多个保持部件h移动的同时测量多个保持部件h的形状。激光测量装置15将测量值发送至控制装置16。压电元件搭载工序s100在完成保持部件位置信息获取工序s110后转移至压电元件供给工序s120。
[0151]
如图10所示，压电元件供给工序s120是将收纳于托盘t的多个压电元件p中的、搭载于保持部件h的压电元件p供给至压电元件供给位置sp的工序。在压电元件供给工序s120中，压电元件供给装置10将收纳于托盘载置部10a上的托盘t的多个压电元件p中成为对象的压电元件p通过托盘载置部10a从压电元件待机位置wp输送至压电元件供给位置sp的输送基准位置。压电元件搭载工序s100在完成压电元件供给工序s120后转移至保持部件供给工序s125。
[0152]
保持部件供给工序s125是将多个保持部件h中的、配置压电元件p的保持部件h供给至保持部件供给位置sh的工序。在保持部件供给工序s125中，保持部件供给装置11将保持部件载置部11a上的多个保持部件h中成为对象的保持部件h通过保持部件载置部11a从保持部件待机位置wh输送至保持部件供给位置sh的输送基准位置。压电元件搭载工序s100在完成保持部件供给工序s125后转移至压电元件定位工序s130。
[0153]
压电元件定位工序s130是对被输送至压电元件供给位置sp的输送基准位置的多个压电元件p中成为与保持部件h接合的对象的压电元件p进行定位的工序。压电元件供给装置10将压电元件供给位置sp的输送基准位置处的托盘t中收纳的多个压电元件p中成为对象的压电元件p通过托盘载置部10a定位在压电元件供给位置sp。压电元件搭载工序s100在完成压电元件定位工序s130后转移至保持部件定位工序s135。
[0154]
保持部件定位工序s135是对被输送至保持部件供给位置sh的输送基准位置的多个保持部件h中成为压电元件p所接合的对象的保持部件h进行定位的工序。保持部件供给
装置11将保持部件供给位置sh的输送基准位置处的多个保持部件h中成为对象的保持部件h通过保持部件载置部11a定位在保持部件供给位置sh。压电元件搭载工序s100在完成保持部件定位工序s135后转移至接合材料供给位置调整工序s140。
[0155]
如图11所示，接合材料供给位置调整工序s140是对供给接合材料的供给装置36的位置进行调整的工序。在接合材料供给位置调整工序s140中，供给头移动装置13将供给头30从待机位置w输送至保持部件供给位置sh。各个供给头30的供给头用水平移动机构31基于控制装置16计算出的各个供给装置36的排出嘴36a在x方向、y方向的调整量，针对每个供给头30独立地单独调整排出嘴36a的水平方向的位置。压电元件搭载工序s100在完成接合材料供给位置调整工序s140后转移至接合材料供给工序s150。
[0156]
接合材料供给工序s150是将接合材料供给至保持部件h的凹部内的工序。在接合材料供给工序s150中，各个供给头30的供给头用竖直移动机构34基于控制装置16计算出的各个供给装置36的排出嘴36a在z方向的移动量，针对每个供给头30使供给装置36独立地单独移动至竖直方向下方。供给装置36将接合材料供给至保持部件h的凹部内。在完成接合材料的供给时，各个供给头30的供给头用竖直移动机构34使供给装置36移动至竖直方向上方。供给头移动装置13将供给头30从保持部件供给位置sh输送至待机位置w。压电元件搭载工序s100在完成接合材料供给工序s150后转移至压电元件输送工序s160。
[0157]
如图12所示，压电元件输送工序s160是将配置到保持部件h的压电元件p从压电元件待机位置wp输送至保持部件供给位置sh的工序。在压电元件输送工序s160中，各个吸附头20的吸附头用竖直移动机构24在压电元件供给位置sp使吸附嘴28移动至竖直方向下方。各个吸附头20通过吸附嘴28从托盘t分别吸附压电元件p。各个吸附头20的吸附头用竖直移动机构24在压电元件供给位置sp使吸附嘴28移动至竖直方向上方。吸附头移动装置12将吸附头20输送至保持部件供给位置sh。压电元件搭载工序s100在完成压电元件输送工序s160后转移至压电元件位置信息获取工序s170。
[0158]
压电元件位置信息获取工序s170是获取与被吸附的压电元件p的位置相关的信息i p的工序。在压电元件位置信息获取工序s170中，照相机14拍摄由吸附头移动装置12进行输送中的吸附头20及吸附嘴28所吸附的压电元件p。照相机14将拍摄到的图像发送至控制装置16。压电元件搭载工序s100在完成压电元件位置信息获取工序s170后转移至压电元件位置调整工序s180。
[0159]
压电元件位置调整工序s180是调整吸附嘴28的位置的工序。在压电元件位置调整工序s180中，各个吸附头20的吸附头用水平移动机构21及吸附头用旋转移动机构26基于控制装置16计算出的各个吸附嘴28在x方向、y方向及θ方向的调整量，针对每个吸附头20独立地单独调整吸附嘴28的水平方向的位置及朝向(参照图7、图8)。压电元件搭载工序s100在完成压电元件位置调整工序s180后转移至压电元件接合工序s190。
[0160]
压电元件接合工序s190是将压电元件p配置在供给有接合材料的保持部件h的凹部内，并将压电元件p与保持部件h接合的工序。在压电元件接合工序s190中，各个吸附头20的吸附头用竖直移动机构24基于控制装置16计算出的各个吸附嘴28在z方向的移动量，针对每个吸附头20使吸附嘴28独立地单独移动至竖直方向下方。由此，压电元件p经由接合材料而与保持部件h接合。各个吸附头20将压电元件p从吸附嘴28释放。各个吸附头20的吸附头用竖直移动机构24使供给装置36移动至竖直方向上方。吸附头移动装置12将吸附头20输
送至压电元件供给位置sp。压电元件搭载工序s100在完成压电元件接合工序s190后转移至压电元件定位工序s130。
[0161]
此外，在压电元件接合工序s190中，在对全部的保持部件h接合了压电元件p的情况下，将分别接合有压电元件p的多个保持部件h从保持部件供给位置sh输送至保持部件待机位置wh。此外，对于被输送的多个保持部件h，为了确认压电元件p的搭载状态而通过激光测量装置15获取与多个保持部件h的位置相关的信息i h。
[0162]
这样构成的压电振动器件制造装置1使得多个压电元件p在排列成维持彼此的相对距离的矩阵状的状态下被供给。同样地，使得多个保持部件h在排列成维持彼此的相对距离的矩阵状的状态下被供给。由此，压电振动器件制造装置1能够同时获取与被吸附头20吸附的多个压电元件p的位置相关的信息i p、以及与保持部件h的位置相关的信息i h。
[0163]
此外，压电振动器件制造装置1基于与被吸附头20吸附的多个压电元件p的每一个的位置相关的信息、以及与保持部件h的位置相关的信息i h，通过吸附头用水平移动机构21及吸附头用旋转移动机构26分别独立地单独调整多个吸附嘴28在x方向、y方向及θ方向的位置。由此，多个吸附头20能够根据保持部件h的位置分别单独调整各自吸附的多个压电元件p的位置。由此，吸附头20能够在考虑保持部件h的形状的偏差的同时将压电元件p配置在保持部件h的凹部内。而且，多个吸附头20能够基于作为数值数据的与压电元件p的位置相关的信息i p以及与保持部件h的位置相关的信息i h单独调整吸附嘴28的位置，因此无需进行用于对位的临时放置等。
[0164]
此外，多个供给头30通过供给头用水平移动机构31及供给头用竖直移动机构34使供给接合材料的位置与保持部件h的位置相匹配而分别独立地单独进行调整。而且，多个供给头30能够通过获取作为数值数据的与保持部件h的位置相关的信息i h而单独调整供给装置36的位置，因此无需进行保持部件h的对位等。此外，激光测量装置15不仅分别测量向保持部件供给位置sh供给的多个保持部件h的水平方向的位置，还分别测量竖直方向的位置。因此，能够根据保持部件h的竖直方向的位置而独立地单独调整分别配置在多个保持部件h的压电元件p的竖直方向的位置。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件p在规定的位置以规定的朝向高精度地配置到多个保持部件h的凹部内。
[0165]
此外，压电振动器件的制造方法具有压电元件位置调整工序s180，基于与保持部件h的位置相关的信息i h、以及压电元件输送工序s160中在输送中获取的与压电元件p的位置相关的信息i p，分别独立地单独调整多个压电元件p的位置。照相机14同时拍摄由吸附头20的吸附嘴28吸附的压电元件p及吸附嘴28。因此，在与压电元件p的位置相关的信息i p中，考虑了压电元件p相对于多个吸附嘴28的偏移。因而由此无需另外设置在压电元件输送工序s160之后通过临时放置压电元件p等而将压电元件p相对于吸附嘴28定位的工序。此外，接合材料供给位置调整工序s140基于作为数值数据的与保持部件h的位置相关的信息i h单独调整接合材料的供给位置。因此，压电振动器件的制造方法无需对每个保持部件h进行单独的对位等。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件p在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件h的凹部内。
[0166]
[实施方式2]
[0167]
《压电振动器件制造装置的组合》
[0168]
接下来，使用图13与图14对包括本发明的压电振动器件制造装置1的、作为实施方
式2的压电振动器件制造线100的一部分进行说明。图13是示出包含压电振动器件制造装置1的压电振动器件制造线100的构成的俯视图。图14是示出包含压电振动器件制造装置1的压电振动器件制造线100的控制构成的框图。本实施方式中的压电振动器件制造线100的一部分是将压电元件p搭载至保持部件h的搭载部110。
[0169]
如图13所示，搭载部110具有对收纳有多个压电元件p的托盘t、以薄片状排齐的多个保持部件h进行输送的输送装置与多个压电振动器件制造装置1。在本实施方式中，搭载部110由作为输送装置的机器人移动装置111、供给台112及输送用机器人113、与4台压电振动器件制造装置1构成。搭载部110由压电振动器件制造线100的线控制装置120(参照图14)控制。
[0170]
机器人移动装置111及输送用机器人113将收纳有多个压电元件p的托盘t分别输送至4台压电振动器件制造装置1的压电元件供给装置10。此外，机器人移动装置111及输送用机器人113将以薄片状排齐的多个保持部件h分别输送至4台压电振动器件制造装置1的保持部件供给装置11。进而，机器人移动装置111及输送用机器人113从4台压电振动器件制造装置1的保持部件供给装置11回收接合有压电元件p的薄片状的保持部件h。
[0171]
机器人移动装置111是使输送用机器人113移动的装置。机器人输送装置例如是具有作为致动器的伺服电机与作为线性驱动机构的滚珠丝杠单元等的单轴的线性驱动单元。在机器人移动装置111的可动部装载有输送用机器人113。机器人移动装置111设置为将在z方向上观察时使输送用机器人113移动的方向作为y方向。因此，机器人移动装置111构成为能够使输送用机器人113移动至y方向上的任意位置。
[0172]
供给台112为对收纳有多个压电元件p的托盘t及薄片状的保持部件h进行贮存的台。由未图示的上游工序的供给装置或作业者向供给台112供给收纳有压电元件p的托盘t及薄片状的保持部件h。供给台112配置在机器人移动装置111的端部。
[0173]
输送用机器人113将收纳有压电元件p的托盘t供给至压电振动器件制造装置1的压电元件供给装置10。此外，输送用机器人113将薄片状的保持部件h供给至压电振动器件制造装置1的保持部件供给装置11。输送用机器人113例如是具有2根臂的双臂的水平多关节型机器人(scara型机器人)。输送用机器人113搭载于机器人移动装置111的可动部。因此，输送用机器人113构成为在z方向上观察时能够通过机器人移动装置111移动至y方向的任意位置。此外，输送用机器人113构成为在沿竖直方向观察时能够通过各个臂使托盘t及薄片状的保持部件h移动至与y方向(利用机器人移动装置111进行移动的方向)垂直的x方向上的一侧(x 方向侧)及x方向上的另一侧(x-方向侧)。
[0174]
4台压电振动器件制造装置1分别独立地使压电元件p与保持部件h接合。沿竖直方向观察时，4台压电振动器件制造装置1中的2台压电振动器件制造装置1配置在机器人移动装置111的一侧。此外，2台压电振动器件制造装置1在y方向上排列配置2台。此时，2台压电振动器件制造装置1以吸附头移动装置12的移动方向(y方向)与机器人移动装置111的移动方向平行的方式配置。进而，2台压电振动器件制造装置1以压电元件供给装置10中的压电元件待机位置wp及保持部件供给装置11中的保持部件待机位置wh位于机器人移动装置111侧且位于输送用机器人113的可动范围内的方式配置。
[0175]
沿竖直方向观察时，4台压电振动器件制造装置1中的另外2台压电振动器件制造装置1配置在机器人移动装置111的另一侧。此外，2台压电振动器件制造装置1在y方向上排
列配置2台。此时，2台压电振动器件制造装置1以吸附头移动装置12的移动方向(y方向)与机器人移动装置111的移动方向平行的方式配置。进而，2台压电振动器件制造装置1以压电元件供给装置10中的压电元件待机位置wp及保持部件供给装置11中的保持部件待机位置wh位于机器人移动装置111侧且位于输送用机器人113的可动范围内的方式配置。
[0176]
这样构成的搭载部110能够通过输送用机器人113将贮存在供给台112的托盘t分别供给至4台压电振动器件制造装置1的压电元件供给装置10中的压电元件待机位置wp。此外，搭载部110能够通过输送用机器人113将贮存在供给台112的薄片状的保持部件h供给至4台压电振动器件制造装置1的保持部件供给装置11中的保持部件待机位置wh。进而，搭载部110能够通过输送用机器人113从4台压电振动器件制造装置1的保持部件供给装置11中的保持部件待机位置wh回收分别收纳有压电元件p的薄片状的保持部件h。搭载部110构成为能够将由输送用机器人113回收的薄片状的保持部件h供给至下游侧的未图示的接合剂固化炉。
[0177]
如图13与图14所示，当从压电振动器件制造线100的线控制装置120输入与生产开始相关的控制信号时，搭载部110的4台压电振动器件制造装置1中的至少1台开始压电振动器件的制造。另外，线控制装置120基于压电元件器件的生产量来决定运转的压电振动器件制造装置1的台数。
[0178]
例如在需要供给压电元件p的情况下，运转中的压电振动器件制造装置1对线控制装置120输出压电元件p的供给信号。线控制装置120在获取所述压电元件p的供给信号时，对输送装置输出供给压电元件p的控制信号。机器人移动装置111及输送用机器人113将收纳有多个压电元件p的托盘t从供给台112供给至压电振动器件制造装置1的压电元件供给装置10中的压电元件待机位置wp。
[0179]
例如在需要排出收纳有压电元件p的托盘t的情况下，运转中的压电振动器件制造装置1对线控制装置120输出排出收纳有压电元件p的托盘t的信号。线控制装置120在获取排出收纳有压电元件p的托盘t的信号时，对机器人移动装置111及输送用机器人113输出使收纳有压电元件p的托盘t排出的控制信号。机器人移动装置111及输送用机器人113从压电振动器件制造装置1的保持部件供给装置11中的保持部件待机位置wh回收收纳有压电元件p的托盘t，并供给至未图示的接合剂固化炉。
[0180]
如此，压电振动器件制造线100通过组合多个压电振动器件制造装置1，能够灵活地应对压电振动器件的生产量。
[0181]
[其它实施方式]
[0182]
另外，在上述实施方式中，压电振动器件制造装置1具有4个吸附头20及4个供给头30。然而，压电振动器件制造装置1只要分别具有多个吸附头20及供给头30即可。
[0183]
此外，在上述实施方式中，多个供给头30也可以是能够同时调整各个供给装置36的位置的构成。此外，多个吸附头20也可以是能够同时调整各个吸附嘴28的位置的构成。由此，无论吸附头20及供给头30的数量有多少，均可抑制为了调整多个吸附头20及多个供给头30的位置所需的时间。
[0184]
此外，在上述实施方式中，压电振动器件制造装置1根据作为压电元件位置测量装置的照相机14拍摄到的图像来测量压电元件p相对于吸附头20的位置。然而，压电元件位置测量装置只要是能够测量被吸附嘴吸附的压电元件的位置的装置即可。压电元件位置测量
装置例如也可以是激光测量装置等。
[0185]
此外，在上述实施方式中，照相机14配置在架台2上。然而，照相机也可以搭载于吸附头。
[0186]
此外，在上述实施方式中，压电振动器件制造装置1根据作为保持部件位置测量装置的激光测量装置15测量出的测量值来计算多个保持部件h的位置。然而，保持部件位置测量装置只要是能够测量多个保持部件的形状的装置即可。保持部件位置测量装置也可以是照相机等。
[0187]
此外，在上述实施方式中，吸附头移动装置12由单轴的线性驱动单元构成。然而，吸附头移动装置只要是能够使吸附头从压电元件供给位置移动至保持部件供给位置的装置即可。吸附头移动装置例如也可以是水平多关节机器人或垂直多关节机器人。关于压电元件供给装置及保持部件供给装置也同样如此。
[0188]
此外，在上述实施方式中，压电振动器件制造装置1通过1个保持部件供给装置11将多个保持部件h供给至保持部件供给位置sh。然而，压电振动器件制造装置也可以具有多个保持部件供给装置。压电振动器件制造装置通过具有多个保持部件供给装置，能够在通过一个保持部件供给装置排出完成了压电元件的配置的多个保持部件的过程中，将压电元件配置在通过其它保持部件供给装置供给的多个保持部件。
[0189]
此外，在上述实施方式中，在托盘t具有用于收纳压电元件p的凹部c。然而，托盘t只要能够将多个压电元件在配置成矩阵状的状态下进行供给即可。
[0190]
此外，在上述实施方式中，向压电振动器件制造装置1供给的多个保持部件h以薄片状连结。然而，只要能够将多个保持部件以配置成矩阵状的状态进行供给即可。多个保持部件例如也可以分别收纳于以矩阵状配置有多个凹部的托盘。
[0191]
此外，在上述实施方式中，压电元件供给装置10、保持部件供给装置11、吸附头移动装置12、供给头移动装置13、吸附头20的吸附头用水平移动机构21、吸附头用竖直移动机构24及吸附头用旋转移动机构26、供给头30的供给头用水平移动机构31及供给头用竖直移动机构34是将伺服电机作为致动器的单轴的线性驱动单元，但并不限定于此。压电元件供给装置10、保持部件供给装置11、吸附头移动装置12、供给头移动装置13、吸附头20的移动机构及供给头30的移动机构只要是线性电机等能够控制移动量的构成即可。
[0192]
此外，在上述实施方式中，激光测量装置15构成为能够以与各个保持部件h的水平方向上的位置及旋转程度相匹配的方式旋转及在水平方向上移动。然而，在保持部件相对于保持部件供给装置以高精度配置的情况下，激光测量装置也可以构成为仅能够在y方向上移动。在该情况下，保持部件可通过保持部件供给装置在x方向上移动。因此，激光测量装置能够测量薄片状的保持部件的形状。激光测量装置构成为能够仅在y方向上移动，由此能够抑制可动部分的晃动、位置偏移等，因此能够更高精度地进行测量。或者也可以构成为将激光测量装置固定，仅保持部件能够通过保持部件供给装置在x方向及y方向上移动。
[0193]
此外，在上述实施方式中，保持部件h是具有能够配置压电元件p的凹部的壳体。保持部件h在凹部内配置压电元件p。然而，保持部件也可以是不具有能够配置压电元件的凹部的平板状部件。所述保持部件在平板状部件的平面上配置压电元件。在该情况下，保持部件由具有凹部的盖部件(拉深盖结构)覆盖。
[0194]
此外，在上述实施方式2中，搭载部110具有4台压电振动器件制造装置1。然而，搭
载部也可以具有1台以上3台以下的压电振动器件制造装置。此外，搭载部也可以具有5台以上的压电振动器件制造装置。
[0195]
以上，对本发明的实施方式进行了说明，但上述实施方式仅为用于实施本发明的例示。因此，并不限定于上述实施方式而能够在不脱离其主旨的范围内将上述实施方式适当变形进行实施。
[0196]
附图标记说明
[0197]
1压电振动器件制造装置
[0198]
2架台
[0199]
10压电元件供给装置
[0200]
10a托盘载置部
[0201]
11保持部件供给装置
[0202]
11a保持部件载置部
[0203]
12吸附头移动装置
[0204]
12a吸附头载置部
[0205]
13供给头移动装置
[0206]
13a供给头载置部
[0207]
14照相机
[0208]
15激光测量装置
[0209]
16控制装置
[0210]
20吸附头
[0211]
21吸附头用水平移动机构
[0212]
22吸附头用第1移动部件
[0213]
23吸附头用第2移动部件
[0214]
24吸附头用竖直移动机构
[0215]
25吸附头用第3移动部件
[0216]
26吸附头用旋转移动机构
[0217]
27吸附头用第4移动部件
[0218]
28吸附嘴
[0219]
30供给头
[0220]
31供给头用水平移动机构
[0221]
32供给头用第1移动部件
[0222]
33供给头用第2移动部件
[0223]
34供给头用竖直移动机构
[0224]
35供给头用第3移动部件
[0225]
36供给装置
[0226]
36a排出嘴
[0227]
36b冷却装置
[0228]
36c接触传感器
[0229]
100压电振动器件制造线
[0230]
110搭载部
[0231]
111机器人移动装置
[0232]
112供给台
[0233]
113输送用机器人
[0234]
120线控制装置
[0235]
p压电元件
[0236]
p1第1压电元件
[0237]
p2第2压电元件
[0238]
p3第3压电元件
[0239]
p4第4压电元件
[0240]
h保持部件
[0241]
h1第1保持部件
[0242]
h2第2保持部件
[0243]
h3第3保持部件
[0244]
h4第4保持部件
[0245]
i p与压电元件的位置相关的信息
[0246]
i h与保持部件的位置相关的信息
[0247]
c凹部。