一种坩埚盖板结构的制作方法-j9九游会真人

文档序号:35889990发布日期:2023-10-28 19:36阅读:2来源:国知局
一种坩埚盖板结构的制作方法

1.本实用新型涉及坩埚技术领域,具体为一种坩埚盖板结构。


背景技术:

2.随着光伏技术以及微电子技术的发展,市场对多晶硅的需求日益提升,目前多晶硅锭一般采用多晶铸锭炉进行制备,操作时,包括将坩埚喷涂后进行装填料,再将装填好的坩埚放置于石墨底板上,其外侧通过石墨侧护板进行限位固定,再安装石墨坩埚盖板,在硅锭热成型过程中、石墨坩埚盖板起导热、传热作用,与此同时石墨坩埚盖板还能防止杂质落入石英坩埚内部污染硅料而产生不合格的产品。
3.现有的坩埚盖板为简单的平板结构,需要人工手动进行盖合,由于温度过高,工作人员在拿取时,容易烫伤,存在一定的安全隐患,且现有的盖板的密封性较差,影响使用效果,给人们的使用过程带来了一定的不利影响,为此,我们提出一种坩埚盖板结构。


技术实现要素:

4.本实用新型针对上述现有技术的存在的问题,提供一种坩埚盖板结构。
5.本实用新型通过以下技术手段实现解决上述技术问题的:
6.一种坩埚盖板结构,包括坩埚本体,所述坩埚本体的两侧外表面固定连接有安装座,所述安装座的上端外表面设有用于提高盖合便捷性的气动升降自动盖板装置,所述气动升降自动盖板装置包括安装架,所述安装架的两侧内表面固定连接有导向滑轨,所述导向滑轨的两端均设有限位块,所述安装架的上端外表面固定安装有气缸,所述气缸的活塞杆的另一端设有连接块,所述连接块的下端外表面固定安装有活动座,所述活动座的两侧外表面设有连接臂,所述连接臂的另一端与导向滑轨之间设有定位滑块,所述活动座的下端外表面固定连接有安装臂,所述安装臂的另一端设有固定块,所述固定块的下端外表面固定安装有密封盖板本体,所述密封盖板本体与坩埚本体之间设有用于提高密封性的嵌入式密封结构。
7.进一步的,所述安装架与安装座的上端外表面固定连接,所述气缸与安装架的上端外表面固定连接,所述气缸的活塞杆贯穿安装架的上端内表面中部,所述活动座通过连接块与气缸的活塞杆的另一端固定连接,所述连接臂的一端与活动座的两侧外表面固定连接,所述定位滑块与连接臂的另一端固定连接,且所述定位滑块与导向滑轨滑动连接,所述安装臂与活动座的下端外表面固定连接,所述密封盖板本体通过固定块与安装臂的另一端固定连接。
8.进一步的,所述活动座通过气缸的活塞杆与安装架活动连接,所述活动座通过定位滑块和导向滑轨与安装架的两侧内表面滑动连接,所述密封盖板本体通过气缸的活塞杆与坩埚本体的上端内表面活动连接。
9.进一步的,所述嵌入式密封结构包括嵌入卡块和卡槽,所述嵌入卡块与密封盖板本体之间设有安装板,所述嵌入卡块的外表面设有橡胶圈,所述卡槽的内表面设有橡胶垫
片。
10.进一步的,所述嵌入卡块和卡槽的数量均为两组,所述嵌入卡块通过安装板与密封盖板本体的两侧外表面固定连接,所述卡槽与坩埚本体的两侧内表面固定连接,所述橡胶圈与嵌入卡块的外表面相连接,所述橡胶垫片与卡槽的内表面相连接。
11.进一步的,所述嵌入卡块与卡槽活动连接,所述橡胶圈与橡胶垫片活动连接,且所述密封盖板本体通过嵌入式密封结构与坩埚本体的上端内表面可拆卸连接。
12.有益效果
13.与现有技术相比,本实用新型提供了一种坩埚盖板结构,具备以下有益效果:
14.1、该一种坩埚盖板结构,通过设置有气动升降自动盖板装置,在需要对密封盖板本体与坩埚本体进行盖合或者分离时,通过控制气缸的活塞杆的推出或回缩后,气缸的活塞杆可以带动下端的活动座进行升降,从而带动活动座下端的安装臂下端的密封盖板本体与坩埚本体分离或者盖合,活动座在升降的同时还可以通过连接臂两端的定位滑块在导向滑轨上滑动,提高密封盖板本体盖合和分离的平稳性,结构简单,操作便捷,可以实现对密封盖板本体与坩埚本体的自动分离和盖合,不需要工作人员手动操作,不仅可以提高使用便捷性,还可以提高使用安全性,避免烫伤。
15.2、该一种坩埚盖板结构,通过设置有嵌入式密封结构,在密封盖板本体与坩埚本体盖合时,密封盖板本体两侧的嵌入卡块可以插入坩埚本体内表面的卡槽内,嵌入卡块表面设置的橡胶圈和卡槽内的橡胶垫片贴合后可以提高密封盖板本体与坩埚本体盖合的密封性,提高使用效果。
附图说明
16.图1为本实用新型一种坩埚盖板结构的整体平面结构示意图。
17.图2为本实用新型一种坩埚盖板结构的气动升降自动盖板装置的平面结构示意图。
18.图3为本实用新型一种坩埚盖板结构的气动升降自动盖板装置的a处放大平面结构示意图。
19.图4为本实用新型一种坩埚盖板结构的嵌入式密封结构的平面结构示意图。
20.图中:1、坩埚本体;2、安装座;3、气动升降自动盖板装置;4、安装架;5、导向滑轨;6、限位块;7、气缸;8、连接块;9、活动座;10、连接臂;11、定位滑块;12、安装臂;13、固定块;14、密封盖板本体;15、嵌入式密封结构;16、嵌入卡块;17、卡槽;18、安装板;19、橡胶圈;20、橡胶垫片。
具体实施方式
21.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
22.实施例1
23.如图1、图2和图3所示,一种坩埚盖板结构,包括坩埚本体1,坩埚本体1的两侧外表面固定连接有安装座2,安装座2的上端外表面设有用于提高盖合便捷性的气动升降自动盖板装置3,气动升降自动盖板装置3包括安装架4,安装架4的两侧内表面固定连接有导向滑轨5,导向滑轨5的两端均设有限位块6,安装架4的上端外表面固定安装有气缸7,气缸7的活塞杆的另一端设有连接块8,连接块8的下端外表面固定安装有活动座9,活动座9的两侧外表面设有连接臂10,连接臂10的另一端与导向滑轨5之间设有定位滑块11,活动座9的下端外表面固定连接有安装臂12,安装臂12的另一端设有固定块13,固定块13的下端外表面固定安装有密封盖板本体14,密封盖板本体14与坩埚本体1之间设有用于提高密封性的嵌入式密封结构15。
24.安装架4与安装座2的上端外表面固定连接,气缸7与安装架4的上端外表面固定连接,气缸7的活塞杆贯穿安装架4的上端内表面中部,活动座9通过连接块8与气缸7的活塞杆的另一端固定连接,连接臂10的一端与活动座9的两侧外表面固定连接,定位滑块11与连接臂10的另一端固定连接,且定位滑块11与导向滑轨5滑动连接,安装臂12与活动座9的下端外表面固定连接,密封盖板本体14通过固定块13与安装臂12的另一端固定连接。
25.活动座9通过气缸7的活塞杆与安装架4活动连接,活动座9通过定位滑块11和导向滑轨5与安装架4的两侧内表面滑动连接,密封盖板本体14通过气缸7的活塞杆与坩埚本体1的上端内表面活动连接。
26.实施例2
27.如图1和图4所示,在实施例1的基础上设置有嵌入式密封结构15,嵌入式密封结构15包括嵌入卡块16和卡槽17,嵌入卡块16与密封盖板本体14之间设有安装板18,嵌入卡块16的外表面设有橡胶圈19,卡槽17的内表面设有橡胶垫片20。
28.嵌入卡块16和卡槽17的数量均为两组,嵌入卡块16通过安装板18与密封盖板本体14的两侧外表面固定连接,卡槽17与坩埚本体1的两侧内表面固定连接,橡胶圈19与嵌入卡块16的外表面相连接,橡胶垫片20与卡槽17的内表面相连接。
29.嵌入卡块16与卡槽17活动连接,橡胶圈19与橡胶垫片20活动连接,且密封盖板本体14通过嵌入式密封结构15与坩埚本体1的上端内表面可拆卸连接。
30.相对于实施例1增加了嵌入式密封结构15,通过设置有嵌入式密封结构15,在密封盖板本体14与坩埚本体1盖合时,密封盖板本体14两侧的嵌入卡块16可以插入坩埚本体1内表面的卡槽17内,嵌入卡块16表面设置的橡胶圈19和卡槽17内的橡胶垫片20贴合后可以提高密封盖板本体14与坩埚本体1盖合的密封性,提高使用效果。
31.工作原理
32.在需要对密封盖板本体14与坩埚本体1进行盖合或者分离时,通过控制气缸7的活塞杆的推出或回缩后,气缸7的活塞杆可以带动下端的活动座9进行升降,从而带动活动座9下端的安装臂12下端的密封盖板本体14与坩埚本体1分离或者盖合,活动座9在升降的同时还可以通过连接臂10两端的定位滑块11在导向滑轨5上滑动,提高密封盖板本体14盖合和分离的平稳性,结构简单,操作便捷,可以实现对密封盖板本体14与坩埚本体1的自动分离和盖合,不需要工作人员手动操作,不仅可以提高使用便捷性,还可以提高使用安全性,避免烫伤。通过设置有嵌入式密封结构15,在密封盖板本体14与坩埚本体1盖合时,密封盖板本体14两侧的嵌入卡块16可以插入坩埚本体1内表面的卡槽17内,嵌入卡块16表面设置的
橡胶圈19和卡槽17内的橡胶垫片20贴合后可以提高密封盖板本体14与坩埚本体1盖合的密封性,提高使用效果。
33.需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二(一号、二号)等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个
……”
限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
34.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
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