1.本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种气密性强的单晶炉炉体结构。
背景技术：
2.单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉是用来提纯半导体材料(如硅、锗)、激光材料(如钇铝石榴石)、高纯金属材料(如钨、钼)等使之成为单晶体的电炉，提纯方法有直拉法(z法)和区熔法(fz法)两种。直拉法单晶炉通常就称单晶炉。
3.现有的单晶炉炉体结构对于密封仅限于使用胶条，而该种胶条密封不够稳定，处于寒冷天气时胶条硬化导致气密性严重下降，而长久使用后胶条拆除麻烦且密封性能流失严重，导致单晶炉工作时其内部气密性流失，极易导致加工遭受影响。
技术实现要素：
4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种气密性强的单晶炉炉体结构，解决了上述背景技术中所提出的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种气密性强的单晶炉炉体结构，包括底座和承载板，所述底座的顶部与承载板的底部固定连接，所述承载板顶部的中部固定连接有单晶炉，并且单晶炉顶部的中部贯穿有气动轴，所述气动轴的顶部固定连接有连接端口，所述单晶炉正表面的中部固定连接有防护框，并且防护框正表面的左侧固定连接有合页，并且合页的另一侧固定连接有柜门，所述柜门右侧的顶部和底部均固定连接有把手，并且把手的一侧固定连接有固定环，所述固定环正表面的中部贯穿有固定螺栓，所述防护框和柜门之间一侧的表面均开设有弧形槽，并且弧形槽位于单晶炉正表面炉口的外表面。
8.优选的，所述防护框右侧的表面固定连接有固定杆，并且弧形槽的内壁固定连接有胶水块。
9.优选的，所述柜门正表面的底部固定连接有支撑板，并且支撑板的顶部固定连接有加热器，所述加热器的顶部且位于柜门的顶部固定连接有气泵。
10.优选的，所述防护框和柜门之间且位于弧形槽内腔的胶水块的外表面设置有气囊。
11.优选的，所述气泵的出风口连通有导管，并且导管的另一端与气囊之间互相连通。
12.优选的，所述气囊贴合于防护框和柜门之间弧形槽的内壁，所述单晶炉的内腔固定连接有工作板。
13.(三)有益效果
14.本实用新型提供了一种气密性强的单晶炉炉体结构具备以下有益效果：
15.(1)、该气密性强的单晶炉炉体结构，通可以采用充气式气囊填充凹槽，让单晶炉的密封更加稳定，且通过气压控制气囊的膨胀程度来选择单晶炉的密封状态，实现可控式气密等级，同时也避免了漏气等因密封不够强导致的气密性问题，使整体单晶炉加工使用过程得到保证，避免气体流失，这便于人们使用。
16.(2)、该气密性强的单晶炉炉体结构，可以保证在寒冷天气下使用时，该单晶炉的气密效果也仍然得到很好的保持，极寒天气不会影响单晶炉的正常密封，也就使得该单晶炉的使用环境得到扩散，可以应用于更广泛的领域当中，对使用场所的需求限制也降低，从而便于人们使用。
附图说明
17.图1为本实用新型中结构的主视图；
18.图2为本实用新型中防护框和柜门的拼接状态示意图；
19.图3为本实用新型中把手结构的示意图；
20.图4为本实用新型中气泵与导管结构的示意图。
21.图中，1-底座、2-承载板、3-单晶炉、4-气动轴、5-连接端口、6-防护框、7-合页、8-柜门、9-把手、10-固定环、11-固定螺栓、12-弧形槽、13-固定杆、14-胶水块、15-支撑板、16-加热器、17-气泵、18-气囊、19-导管。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-4，本实用实施例提供一种技术方案：一种气密性强的单晶炉炉体结构，包括底座1和承载板2，底座1的顶部与承载板2的底部固定连接，承载板2顶部的中部固定连接有单晶炉3，并且单晶炉3顶部的中部贯穿有气动轴4，气动轴4的顶部固定连接有连接端口5，单晶炉3正表面的中部固定连接有防护框6，并且防护框6正表面的左侧固定连接有合页7，并且合页7的另一侧固定连接有柜门8，柜门8右侧的顶部和底部均固定连接有把手9，并且把手9的一侧固定连接有固定环10，固定环10正表面的中部贯穿有固定螺栓11，防护框6和柜门8之间一侧的表面均开设有弧形槽12，并且弧形槽12位于单晶炉3正表面炉口的外表面。
24.其中，防护框6右侧的表面固定连接有固定杆13，并且弧形槽12的内壁固定连接有胶水块14。
25.其中，柜门8正表面的底部固定连接有支撑板15，并且支撑板15的顶部固定连接有加热器16，加热器16的顶部且位于柜门8的顶部固定连接有气泵17。
26.其中，防护框6和柜门8之间且位于弧形槽12内腔的胶水块14的外表面设置有气囊18。
27.其中，气泵17的出风口连通有导管19，并且导管19的另一端与气囊18之间互相连通。
28.其中，气囊18贴合于防护框6和柜门8之间弧形槽12的内壁，单晶炉3的内腔固定连接有工作板。
29.使用时，首先将需要加工的材料放置在单晶炉3内部的工作加工区域，然后关闭柜门8，让固定环10与固定杆13接触卡接，然后拧动固定螺栓11，将柜门8牢固的固定在防护框6的正表面，此时启动加热器16和气泵17，加热器16制热气泵17吹出的空气，然后热风通过导管19进入气囊18中，充满气囊18使其膨胀，然后填充满弧形槽12的内部，此时通过控制气压的压力，选择密封强度即可。
30.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。
31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
技术特征：
1.一种气密性强的单晶炉炉体结构，包括底座(1)和承载板(2)，所述底座(1)的顶部与承载板(2)的底部固定连接，其特征在于：所述承载板(2)顶部的中部固定连接有单晶炉(3)，并且单晶炉(3)顶部的中部贯穿有气动轴(4)，所述气动轴(4)的顶部固定连接有连接端口(5)，所述单晶炉(3)正表面的中部固定连接有防护框(6)，并且防护框(6)正表面的左侧固定连接有合页(7)，并且合页(7)的另一侧固定连接有柜门(8)，所述柜门(8)右侧的顶部和底部均固定连接有把手(9)，并且把手(9)的一侧固定连接有固定环(10)，所述固定环(10)正表面的中部贯穿有固定螺栓(11)，所述防护框(6)和柜门(8)之间一侧的表面均开设有弧形槽(12)，并且弧形槽(12)位于单晶炉(3)正表面炉口的外表面。2.根据权利要求1所述的一种气密性强的单晶炉炉体结构，其特征在于：所述防护框(6)右侧的表面固定连接有固定杆(13)，并且弧形槽(12)的内壁固定连接有胶水块(14)。3.根据权利要求1所述的一种气密性强的单晶炉炉体结构，其特征在于：所述柜门(8)正表面的底部固定连接有支撑板(15)，并且支撑板(15)的顶部固定连接有加热器(16)，所述加热器(16)的顶部且位于柜门(8)的顶部固定连接有气泵(17)。4.根据权利要求3所述的一种气密性强的单晶炉炉体结构，其特征在于：所述防护框(6)和柜门(8)之间且位于弧形槽(12)内腔的胶水块(14)的外表面设置有气囊(18)。5.根据权利要求3所述的一种气密性强的单晶炉炉体结构，其特征在于：所述气泵(17)的出风口连通有导管(19)，并且导管(19)的另一端与气囊(18)之间互相连通。6.根据权利要求5所述的一种气密性强的单晶炉炉体结构，其特征在于：所述气囊(18)贴合于防护框(6)和柜门(8)之间弧形槽(12)的内壁，所述单晶炉(3)的内腔固定连接有工作板。
技术总结
本实用新型公开了一种气密性强的单晶炉炉体结构，包括底座和承载板，所述底座的顶部与承载板的底部固定连接，承载板顶部的中部固定连接有单晶炉，单晶炉顶部的中部贯穿有气动轴，气动轴的顶部固定连接有连接端口，所述单晶炉正表面的中部固定连接有防护框，并且防护框正表面的左侧固定连接有合页，本实用新型涉及单晶炉技术领域。该气密性强的单晶炉炉体结构，通可以采用充气式气囊填充凹槽，让单晶炉的密封更加稳定，且通过气压控制气囊的膨胀程度来选择单晶炉的密封状态，实现可控式气密等级，同时也避免了漏气等因密封不够强导致的气密性问题，使整体单晶炉加工使用过程得到保证，避免气体流失，这便于人们使用。这便于人们使用。这便于人们使用。
技术研发人员：陈伟 周伟 沈俊
受保护的技术使用者：常州磐云精密机械有限公司
技术研发日：2023.04.06
技术公布日：2023/9/26