技术特征：
1.一种碳化硅陶瓷烧结炉，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有烧结炉本体(2)，所述底座(1)顶部的左侧固定安装有氮气存气室(3)，所述烧结炉本体(2)的后部连通有进气机构，所述烧结炉本体(2)的表面连通有排气机构；所述进气机构包括连通于氮气存气室(3)右侧的第一方形管(4)，所述第一方形管(4)表面的左侧固定安装有气泵(14)，所述第一方形管(4)的表面连通有输气管(5)，且输气管(5)设置有若干个，所述输气管(5)的前端贯穿烧结炉本体(2)并延伸至烧结炉本体(2)的内部，所述第一方形管(4)的内部滑动安装有密封杆(15)；所述排气机构包括连通于烧结炉本体(2)表面的排气管(6)，所述排气管(6)的表面固定安装有电磁阀(13)，所述排气管(6)的前端连通有第二方形管(7)，所述第二方形管(7)的前部与后部均开设有排气口(11)，所述第二方形管(7)的表面滑动安装有密封筒(8)，所述密封筒(8)与密封杆(15)的顶部固定安装有u型杆(12)。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有电机(9)，所述电机(9)的输出轴通过联轴器固定安装有螺纹杆(10)，所述螺纹杆(10)的表面螺纹连接有螺纹套(16)，所述底座(1)的顶部固定安装有触发按钮(18)，所述螺纹套(16)的顶部通过连接杆固定连接于密封筒(8)的底部。3.根据权利要求2所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉，其特征在于：所述烧结炉本体(2)内腔的顶部与底部均固定安装有与触发按钮(18)相配合使用的加热板(19)。4.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉，其特征在于：所述烧结炉本体(2)的内壁固定安装有放置板(20)。5.根据权利要求2所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉，其特征在于：所述螺纹套(16)的底部固定安装有凸块(17)。6.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉，其特征在于：所述烧结炉本体(2)的右侧通过开设开口铰接有盖板。
技术总结
本实用新型公开一种碳化硅陶瓷烧结炉，包括底座，所述底座的顶部固定安装有烧结炉本体，所述底座顶部的左侧固定安装有氮气存气室，本实用新型通过打开电磁阀与气泵，并启动电机，电机启动带动密封筒与密封杆同时向右移动，密封筒移动使第二方形管前部与后部的漏出，密封筒移动距离越长则排气口漏出的面积越大，此时烧结炉本体内部的气体可通过排出，密封杆向右移动使第一方形管与输气管连通，并且可根据移动距离的不同达到所连通输气管数量不同的效果，从而达到根据流量输送氮气的效果，并且通过设置多个输气管可达到向烧结炉本体的内部均匀充入氮气的效果，增加了充气效率。率。率。
技术研发人员：李玉银 薛振坤 兰川渝 杜先
受保护的技术使用者：成都伏尔肯半导体材料有限公司
技术研发日：2023.04.19
技术公布日：2023/7/28