一种单晶坩埚夹取装置的送料机构的制作方法-j9九游会真人

文档序号:34954456发布日期:2023-07-29 12:55阅读:6来源:国知局


1.本实用新型涉及坩埚生产技术领域,具体为一种单晶坩埚夹取装置的送料机构。


背景技术:

2.现如今,从单晶炉中取出石墨坩埚时,通常均采用传统的提取方法,具体是先将石墨坩埚冷却一段时间后,再手戴耐高温手套将石墨坩埚从单晶炉中取出。
3.中国专利公告号cn202131393u提出“一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置”,该实用新型提出了:“采用上述传统方法从单晶炉中取出石墨坩埚时,均需要前期先将石墨坩埚冷却一段时间后才能进行提取,并且提取过程中所需的时间较长,提取操作不便,因而较大程度上降低了硅材料的生产效率;同时实际提取过程中,由于采用手戴耐高温手套的方式进行提取,因而不可避免会出现手部烫伤等现象,所存在的不安全系数较多”的问题,并提供如下技术方案:“:一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于:包括支撑立柱、安装在所述支撑立柱上部的把手、安装在所述支撑立柱底部的底座、通过连接组件一安装在所述支撑立柱中部外侧的多边形可伸缩性托架和布设在所述多边形可伸缩性托架下方的多个夹爪,多个所述夹爪组成一个用于夹取坩埚的夹取机构,且所述夹取机构的内部结构和尺寸均与所述坩埚的结构和尺寸一致”,针对该技术方案提出的问题,本技术方案提出另一种实施方式来实现提高安全系数的目的。


技术实现要素:

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种单晶坩埚夹取装置的送料机构,具备了提高安全系数等优点,解决了现有夹取手段不安全系数较多的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述提高安全系数的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶坩埚夹取装置的送料机构,包括顶框,所述顶框的底部固定连接有线性电机,所述线性电机动子的底部固定连接有电动推杆,所述电动推杆活塞杆的底端固定连接有连接板,所述连接板的下方设置有夹取结构;
8.所述夹取结构包括固定连接于连接板底部的两个固定板,且两个固定板分别固定连接于连接板底部的左侧和连接板底部的右侧,两个所述固定板的相背一侧均固定连接有壳体,两个所述壳体的内部均固定连接有气缸,两个所述气缸活塞杆的相对一端均固定连接有安装板,两个所述安装板的相对一侧均固定连接有伸缩杆,左右两侧所述伸缩杆的外侧均套有弹簧,左右两侧所述伸缩杆活塞杆的相对一端均固定连接有承载板,左右两侧所述承载板的相对一侧均固定连接有夹取块。
9.进一步的,左侧所述气缸活塞杆的右端依次贯穿左侧固定板的左侧壁和左侧固定板的右侧壁并与左侧安装板固定连接,右侧所述气缸活塞杆的左端依次贯穿右侧固定板的右侧壁和右侧固定板的左侧壁并与右侧安装板固定连接。
10.进一步的,左右两侧所述伸缩杆的数量均为四个,且左右两侧承载板的数量均为一个,左侧所述承载板固定连接于左侧四个伸缩杆活塞杆的右端之间,右侧所述承载板固定连接于右侧四个伸缩杆活塞杆的左端之间。
11.进一步的,左侧四个所述伸缩杆分别固定连接于左侧安装板右侧的四个角,右侧四个所述伸缩杆分别固定连接于右侧安装板左侧的四个角。
12.进一步的,所述安装板的长度、宽度和高度分别与承载板的长度、宽度和高度相等。
13.进一步的,左侧所述弹簧的左端与左侧安装板固定连接且右端与左侧承载板固定连接,右侧所述弹簧的左端与右侧承载板固定连接且右端与右侧安装板固定连接。
14.进一步的,两个所述夹取块的相对一侧均开设有夹取槽,且夹取槽内侧壁固定连接有防高温层。
15.进一步的,所述夹取块为矩形,所述连接板的宽度等于固定板的宽度。
16.(三)有益效果
17.与现有技术相比,本实用新型提供了一种单晶坩埚夹取装置的送料机构,具备以下有益效果:
18.该单晶坩埚夹取装置的送料机构,启动线性电机,进而将夹取结构调整至与坩埚相对应的位置,随后启动电动推杆,将夹取结构下放使坩埚处于两个夹取块的相对一侧之间,随后启动左右两侧的气缸使左右两侧的夹取块向相对的一侧靠拢,进而将坩埚进行夹持,同时承载板受到挤压从而对伸缩杆以及套于伸缩杆外侧的弹簧进行挤压,弹簧受到挤压后产生张力,进而强化夹取块对坩埚的夹持效果,随后电动推杆带动夹取结构上升,并通过线性电机将坩埚带动合适的位置进行下放。
附图说明
19.图1为本实用新型结构示意图;
20.图2为本实用新型结构中a部的局部放大示意图;
21.图3为本实用新型结构中b部的局部放大示意图。
22.图中:1、顶框;2、线性电机;3、电动推杆;4、连接板;5、固定板;6、壳体;7、气缸;8、安装板;9、伸缩杆;10、弹簧;11、承载板;12、夹取块。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
24.实施例一,请参阅图1-3,本实用新型提供了一种技术方案:一种单晶坩埚夹取装置的送料机构,包括顶框1,顶框1的底部固定连接有线性电机2,线性电机2动子的底部固定连接有电动推杆3,电动推杆3活塞杆的底端固定连接有连接板4,连接板4的下方设置有夹取结构。
25.如图1所示,夹取结构包括固定连接于连接板4底部的两个固定板5,且两个固定板
5分别固定连接于连接板4底部的左侧和连接板4底部的右侧,两个固定板5的相背一侧均固定连接有壳体6,两个壳体6的内部均固定连接有气缸7,两个气缸7活塞杆的相对一端均固定连接有安装板8,两个安装板8的相对一侧均固定连接有伸缩杆9,左右两侧伸缩杆9的外侧均套有弹簧10,左右两侧伸缩杆9活塞杆的相对一端均固定连接有承载板11,左右两侧承载板11的相对一侧均固定连接有夹取块12。
26.需要说明的是,左侧气缸7活塞杆的右端依次贯穿左侧固定板5的左侧壁和左侧固定板5的右侧壁并与左侧安装板8固定连接,右侧气缸7活塞杆的左端依次贯穿右侧固定板5的右侧壁和右侧固定板5的左侧壁并与右侧安装板8固定连接,左右两侧伸缩杆9的数量均为四个,且左右两侧承载板11的数量均为一个,左侧承载板11固定连接于左侧四个伸缩杆9活塞杆的右端之间,右侧承载板11固定连接于右侧四个伸缩杆9活塞杆的左端之间,左侧四个伸缩杆9分别固定连接于左侧安装板8右侧的四个角,右侧四个伸缩杆9分别固定连接于右侧安装板8左侧的四个角,安装板8的长度、宽度和高度分别与承载板11的长度、宽度和高度相等,左侧弹簧10的左端与左侧安装板8固定连接且右端与左侧承载板11固定连接,右侧弹簧10的左端与右侧承载板11固定连接且右端与右侧安装板8固定连接,两个夹取块12的相对一侧均开设有夹取槽,单侧夹取槽为半圆柱形的凹槽,且与需要夹取的坩埚相适配,且夹取槽内侧壁固定连接有防高温层,夹取块12为矩形,连接板4的宽度等于固定板5的宽度。
27.上述实施例的工作原理为:
28.启动线性电机2,进而将夹取结构调整至与坩埚相对应的位置,随后启动电动推杆3,将夹取结构下放使坩埚处于两个夹取块12的相对一侧之间,随后启动左右两侧的气缸7使左右两侧的夹取块12向相对的一侧靠拢,进而将坩埚进行夹持,同时承载板11受到挤压从而对伸缩杆9以及套于伸缩杆9外侧的弹簧10进行挤压,弹簧10受到挤压后产生张力,进而强化夹取块12对坩埚的夹持效果,随后电动推杆3带动夹取结构上升,并通过线性电机2将坩埚带动合适的位置进行下放。
29.实施例二,请参阅图3,在实施例一的基础上,防高温层可为石墨防渗碳涂层,通过防高温层避免夹取块12夹取坩埚的过程中内侧壁因高温而损坏。
30.文中出现的电器元件均与主控器及电源电连接,主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备,且现有公开的电力连接技术,不在文中赘述。
31.需要说明的是,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个
……”
限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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