1.本实用新型涉及晶体生长炉装置技术领域,具体为一种晶体生长炉炉压稳定装置。
背景技术:
2.晶体生长方法及设备对制备出晶体的品质有至关重要的影响。常见的晶体生长方法有布里奇曼法、区域熔炼法、提拉法、热交换法、浇铸法等。当前实现大规模工业化生产的晶体主要为单晶硅、多晶硅,多晶硅铸锭炉的优化主要集中在铸锭炉尺寸的扩大及热场的优化设计,而当前热场的优化设计主要是从加热器形状、布置位置及保温隔热笼的优化设计等角度出发,但是晶体生长炉,在使用的过程中,内部气压需要控制,需要通过气阀注气,但空气中拥有一些其他杂质和气体,进入装置内部时,可能夹杂于反应晶体的内部,使品质下降,发明人提出一种晶体生长炉炉压稳定装置用于解决上述问题。
技术实现要素:
3.为了解决晶体生长炉解压注气时夹杂其他杂质和气体等问题;本实用新型的目的在于提供一种晶体生长炉炉压稳定装置。
4.为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:一种晶体生长炉炉压稳定装置,包括主炉体,所述主炉体的内部固定连接有压力管,所述压力管的侧部固定连接有压力表,所述压力管的侧部固定连接有压力控制阀,所述压力管远离主炉体的一端固定连接有净化管,所述净化管的顶端内部固定连接有雾状导液环,所述净化管的顶端固定连接有导液管,所述净化管的底端侧部固定连接有筒盖,所述筒盖的底部固定连接有过滤筒,所述过滤筒的内部中部固定连接有过滤板,所述过滤板的内部固定连接有通气管,所述通气管的顶部固定连接有活性炭吸附板,所述活性炭吸附板的顶部固定连接有吸气管,所述过滤筒的侧部底部固定连接有通液管,所述通液管的顶端固定连接有液体过滤环,所述通液管远离过滤筒的一端固定连接有储液箱,所述储液箱的内部固定连接有水泵,所述水泵的内部固定连接有导液管。
5.优选地,所述主炉体的内部固定连接有zro2粉层,所述主炉体的底部固定连接有氧化铝底板,所述zro2粉层的内部固定连接有反应坩埚所述主炉体的侧部固定连接有轴固定柱,所述轴固定柱的内部活动连接有盖轴,所述盖轴的侧部固定连接有盖安装环,所述盖安装环的侧部固定连接有炉体盖,所述炉体盖与主炉体的顶端内部卡接,所述盖轴的一端固定连接有盖控制电机,所述盖控制电机的底部固定连接有电机座。
6.优选地,所述炉体盖的顶端固定连接有电机安装柱,所述电机安装柱的顶部固定连接有电机安装环,所述电机安装环的内部固定连接有升降电机,所述升降电机的内部固定连接有升降螺纹轴,所述升降螺纹轴的底部固定连接有升降限位块,所述升降螺纹轴的侧部螺纹连接有电机安装框,所述电机安装框卡接于电机安装柱的内部,所述电机安装框的底部固定连接有电机安装板,所述电机安装板的顶部固定连接有旋转电机,所述旋转电
机的内部固定连接有旋转轴,所述旋转轴的底部固定连接有籽晶安装块。
7.与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:
8.1、通过采用压力表查看内部压力,通过压力控制阀进行控制炉压,通过净化管进行吸气注气,通过导液管注液,通过雾状导液环使液体成雾状或滴状流下,将气体内部一些杂质吸附下降,通过采用活性炭吸附板进行初步吸附空气中的一些杂质,通过过滤板二次过滤空气中的一些杂质,避免杂质参与内部反应;
9.2、通过采用升降电机通过控制反应结构的高度,通过电机安装环固定升降电机,通过采用电机安装框卡入于电机安装柱内侧,起到限位效果,通过旋转电机控制反应结构的旋转。
附图说明
10.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
11.图1为本实用新型整体结构示意图。
12.图2为本实用新型炉体结构示意图。
13.图3为本实用新型压力控制结构示意图。
14.图中:1、主炉体;2、氧化铝底板;3、zro2粉层;4、反应坩埚;5、轴固定柱;6、盖轴;7、盖安装环;8、炉体盖;9、盖控制电机;10、电机座;11、电机安装柱;12、电机安装环;13、升降电机;14、升降螺纹轴;15、升降限位块;16、电机安装框;17、电机安装板;18、旋转电机;19、旋转轴;20、籽晶安装块;21、压力管;22、压力表;23、压力控制阀;24、净化管;25、过滤筒;26、筒盖;27、过滤板;28、通液管;29、液体过滤环;30、通气管;31、活性炭吸附板;32、吸气管;33、储液箱;34、水泵;35、导液管;36、雾状导液环。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
16.实施例:如图1-3所示,本实用新型提供了一种晶体生长炉炉压稳定装置,包括主炉体1,主炉体1的内部固定连接有压力管21,压力管21的侧部固定连接有压力表22,压力管21的侧部固定连接有压力控制阀23,压力管21远离主炉体1的一端固定连接有净化管24,净化管24的顶端内部固定连接有雾状导液环36,净化管24的顶端固定连接有导液管35。
17.通过采用上述技术方案,通过采用压力表22查看内部压力,通过压力控制阀23进行控制炉压,通过净化管24进行吸气注气,通过导液管35注液,通过雾状导液环36使液体成雾状或滴状流下,将气体内部一些杂质吸附下降。
18.净化管24的底端侧部固定连接有筒盖26,筒盖26的底部固定连接有过滤筒25,过滤筒25的内部中部固定连接有过滤板27,过滤板27的内部固定连接有通气管30,通气管30
的顶部固定连接有活性炭吸附板31,活性炭吸附板31的顶部固定连接有吸气管32。
19.通过采用上述技术方案,通过采用活性炭吸附板31进行初步吸附空气中的一些杂质,通过过滤板27二次过滤空气中的一些杂质。
20.过滤筒25的侧部底部固定连接有通液管28,通液管28的顶端固定连接有液体过滤环29,通液管28远离过滤筒25的一端固定连接有储液箱33,储液箱33的内部固定连接有水泵34,水泵34的内部固定连接有导液管35。
21.通过采用上述技术方案,通过采用通液管28将液体排入到储液箱33的内部,通过液体过滤环29将液体进行一次过滤,通过水泵34进行供液。
22.主炉体1的内部固定连接有zro2粉层3,主炉体1的底部固定连接有氧化铝底板2,zro2粉层3的内部固定连接有反应坩埚4。
23.通过采用上述技术方案,通过采用反应坩埚4进行反应使晶体生长。
24.主炉体1的侧部固定连接有轴固定柱5,轴固定柱5的内部活动连接有盖轴6,盖轴6的侧部固定连接有盖安装环7,盖安装环7的侧部固定连接有炉体盖8,炉体盖8与主炉体1的顶端内部卡接。
25.通过采用上述技术方案,通过采用炉体盖8紧压主炉体1,进行封闭反应。
26.炉体盖8的顶端固定连接有电机安装柱11,电机安装柱11的顶部固定连接有电机安装环12,电机安装环12的内部固定连接有升降电机13,升降电机13的内部固定连接有升降螺纹轴14,升降螺纹轴14的底部固定连接有升降限位块15。
27.通过采用上述技术方案,通过采用升降电机13通过控制反应结构的高度,通过电机安装环12固定升降电机13。
28.升降螺纹轴14的侧部螺纹连接有电机安装框16,电机安装框16卡接于电机安装柱11的内部,电机安装框16的底部固定连接有电机安装板17,电机安装板17的顶部固定连接有旋转电机18,旋转电机18的内部固定连接有旋转轴19,旋转轴19的底部固定连接有籽晶安装块20。
29.通过采用上述技术方案,通过采用电机安装框16卡入于电机安装柱11内侧,起到限位效果,通过旋转电机18控制反应结构的旋转。
30.盖轴6的一端固定连接有盖控制电机9,盖控制电机9的底部固定连接有电机座10。
31.通过采用上述技术方案,通过采用电机座10安装盖控制电机9,通过盖控制电机9进行控制炉体盖8的开关。
32.工作原理:使用时,通过将反应物放置于反应坩埚4的内部,将籽晶固定于籽晶安装块20的侧部,通过盖控制电机9控制炉体盖8的开关,通过升降电机13控制旋转电机18的升降,通过旋转电机18控制旋转籽晶安装块20,使晶体成柱状生长,通过压力表22查看主炉体1内部的压力,通过压力控制阀23控制炉内压力,通过吸气管32吸入气体,通过活性炭吸附板31初步吸附杂质,气体在通过过滤筒25的内部液体,再通过过滤板27过滤一些杂质,过滤筒25内部液体通过通液管28流入储液箱33,通过水泵34导入导液管35,通过雾状导液环36成雾状流下,气体中杂质再一步通过净化管24与雾进行吸附,最后注入主炉体1内部。
33.显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。