1.本实用新型涉及线切割机领域,具体提供一种碎片盒、切割液系统及线切割机。
背景技术:2.随着金刚线线径的逐渐变小,金刚线的破断张力也在不断地减小,金刚线也更加容易断裂,硅片切割完成后会吸合在一起,退刀时会造成夹线,更严重的造成断线,严重影响切割效率和降低收益。为了避免硅片切割完成后会吸合在一起,在退刀时造成夹线,在退刀时使硅片浸润在切割液中,减小硅片之间的吸合能力,进而减小断线风险,提高了退刀效率。
3.现有技术中的碎片盒主体在切割过程中,由于不能有效地控制碎片盒主体内的切割液的液面高度,所以在退刀时经常因为相邻硅片之间的吸合能力,造成金刚线的断裂。
4.相应地,本领域需要一种碎片盒来解决上述问题。
技术实现要素:5.本实用新型旨在解决上述技术问题,解决现有技术中不能有效地控制碎片盒主体内的切割液的液面高度,所以在退刀时经常因为相邻硅片之间的吸合能力,造成金刚线的断裂的问题。
6.本实用新型提供一种碎片盒,包括碎片盒主体和活动板;
7.所述碎片盒主体形成有顶部敞开的容纳腔,所述碎片盒主体的侧面上设有出水口,所述活动板可移动地设置于所述碎片盒主体,所述活动板用于调整所述出水口的大小。
8.在采用上述技术方案的情况下在退刀过程中,通过活动板对出水口大小的调整,实现对碎片盒内液体液面自主调整,既可以使得碎片盒主体内的切割液液面增高,也可以使得碎片盒主体内的切割液液面降低,按照切割需求进行液面调整。
9.在退刀过程中,通过活动板对出水口大小的调整使得切割液液面增高,使得硅片能够浸泡在切割液中,减少相邻硅片之间的吸合,从而避免金刚线的断裂,进而减少金刚线损耗,提高硅片出片数量,增加收益。
10.在上述碎片盒的具体实施方式中,所述出水口设置于所述碎片盒主体的长度方向的端面,所述活动板可移动连接于所述出水口所在的端面。
11.在上述碎片盒的具体实施方式中,所述碎片盒主体的长度方向的两个端面均设置有所述出水口和所述活动板。
12.在采用上述技术方案的情况下,两端均设置活动板,可以同时调节两端的活动板,也可以调节一端的活动板,使得对出水口的流量调整效果更好,同时在选择一端的活动板进行调节时,可以选择更方便调节的一端,整体上调节出水口的流量更加方便。
13.在上述碎片盒的具体实施方式中,所述端面上设置有多个所述出水口。
14.在采用上述技术方案的情况下,多个出水口,流量能够调节的范围更大。
15.在上述碎片盒的具体实施方式中,还包括固定座,所述固定座一部分与所述碎片
盒主体连接,所述固定座另一部分与所述碎片盒主体之间形成间隙,所述活动板可移动地设置于所述间隙。
16.在上述碎片盒的具体实施方式中,所述活动板沿所述碎片盒主体的端面宽度方向可移动设置;或者
17.所述碎片盒主体的端面的高度方向可移动设置。
18.在上述碎片盒的具体实施方式中,所述活动板上开设有调节孔,所述调节孔用于在所述活动板移动过程中调节所述出水口的排液面积;并且/或者
19.所述活动板设有限位部,所述限位部被用于限制所述活动板沿所述碎片盒主体端面宽度方向的移动范围。
20.在活动板上开设有调节孔的情况下,当调节孔完全对准出水口时经过出水口的流量最大,活动板沿碎片盒主体的端面宽度方向移动的过程中,调节孔和出水口重合的面积发生变化,从而调整出水口的流量。同时采用这样的调整方式更方便。在所述活动板的下端设有限位部的情况下,限位部能够使得活动板始终位于间隙内,防止活动板移动的幅度过大,造成活动板脱离间隙。
21.在上述碎片盒的具体实施方式中,还包括导流组件,所述导流组件与所述碎片盒主体或所述活动板连接,所述导流组件用于改变所述出水口的出水方向。
22.在上述碎片盒的具体实施方式中,还包括导流组件,所述导流组件与所述活动板或固定座连接,所述导流组件用于改变所述出水口的出水方向。
23.在采用上述技术方案的情况下,通过导流组件能够防止带有掉落的切片、碎片或碎渣的液体进入线网,造成跳线或断线,导致切割不良。
24.在上述碎片盒的具体实施方式中,所述导流组件形成有弯折通道,所述弯折通道的一端对准所述出水口,所述弯折通道的另一端向下设置。
25.在采用上述技术方案的情况下,能够进一步防止带有掉落的切片、碎片或碎渣的液体进入线网,造成跳线或断线,导致切割不良。
26.在上述碎片盒的具体实施方式中,所述导流组件呈簸箕状,所述导流组件的一侧开口朝向所述出水口,下端开口朝向下;所述导流组件的下端设有u型挡板,所述u型挡板封闭部分所述一侧开口。
27.在采用上述技术方案的情况下,u型挡板能够防止液体向内部溅射进入线网,造成跳线或断线,导致切割不良。
28.在上述碎片盒的具体实施方式中,还包括调节组件,所述调节组件的一端与切割框架连接,所述调节组件的另一端与所述碎片盒主体的一端连接,所述调节组件用于调节所述碎片盒主体的位置。
29.在采用上述技术方案的情况下,通过调节组件能够调整碎片盒主体的位置,使得碎片盒主体处于不同的高度或水平位置,从而能够调整碎片盒主体内溶液的液面,同时调节主辊间轴距的时候,线网会同步上升与下降,调节组件可以实现碎片盒主体的上升与下降,能够适应线网的位置。
30.在上述碎片盒的具体实施方式中,所述调节组件包括固定件和调节部,所述固定件与所述切割框架连接,所述调节部与所述碎片盒主体连接,所述调节部可移动地连接于所述固定件,以便调整所述碎片盒主体在其高度方向和/或宽度方向的位置。
31.在上述碎片盒的具体实施方式中,所述调节部包括第一移动块和碎片盒搭接块,所述第一移动块上开设有沿所述高度方向延伸的第一长条孔,所述固定件上开设有螺纹孔,螺栓穿过所述第一长条孔并螺接于所述螺纹孔,所述碎片盒搭接块与所述第一移动块固定连接,用于承载所述碎片盒主体。
32.在采用上述技术方案的情况下,螺栓穿过所述第一长条孔,方便第一移动块的上下移动。
33.在上述可调流量的碎片盒的具体实施方式中,所述第一移动块为l形板,所述l形板的短板朝向所述固定件的方向延伸,所述l形板的短板上设有螺纹调节孔,所述调节部还包括调节螺栓,所述调节螺栓螺接于所述螺纹调节孔并抵接于所述固定件。
34.在采用上述技术方案的情况下,调节螺栓的不同位置与螺纹调节孔连接,使得第一移动板的高度发生变化,在调节第一移动板高度时更加方便。
35.在上述碎片盒的具体实施方式中,所述调节部还包括第二移动块,所述第二移动块一侧与所述第一移动块可移动连接以调整所述碎片盒主体在所述宽度方向的位置,所述第二移动块另一侧与所述碎片盒搭接块连接。
36.在采用上述技术方案的情况下,通过第二移动块能够调整碎片盒主体在宽度方向上的位置,方便在碎片盒主体放置过程中与碎片盒搭接块搭接。
37.在上述碎片盒的具体实施方式中,所述第二移动块上开设有沿所述高度方向延伸的第二长条孔,所述第二长条孔与所述第一长条孔对应设置;并且/或者
38.所述第二移动块上开设有沿所述宽度方向延伸的多个第三长条孔,所述第一移动件上开设有螺纹孔,螺栓穿过所述第三长条孔并螺接于所述螺纹孔,且所述第三长条孔与所述螺纹孔一一对应设置。
39.在采用上述技术方案的情况下,螺栓在第三长条孔内位置的不同,使得第二移动块相对于第一移动块宽度方向上的位置不同。
40.本实用新型还提供了一种切割液系统,所述切割液系统包括上述的碎片盒。
41.在采用上述技术方案的情况下,移动活动板调整出水口的大小,在退刀过程中,通过活动板对出水口大小的调整,使得碎片盒主体内的切割液液面增高,从而使得硅片能够浸泡在切割液中,减少相邻硅片之间的吸合,避免金刚线的断裂。
42.本实用新型还提供了一种线切割机,所述线切割机包括上述的碎片盒,或者上述的切割液系统。
43.在采用上述技术方案的情况下,本实用新型通过活动板对出水口大小的调整,实现对碎片盒内液体液面自主调整,既可以使得碎片盒主体内的切割液液面增高,也可以使得碎片盒主体内的切割液液面降低,按照切割需求进行液面调整。
44.在退刀过程中,通过活动板对出水口大小的调整使得切割液液面增高,使得硅片能够浸泡在切割液中,减少相邻硅片之间的吸合,从而避免金刚线的断裂,进而减少金刚线损耗,提高硅片出片数量,增加收益。
附图说明
45.下面结合附图来描述本实用新型的优选实施方式,附图中:
46.图1是碎片盒中碎片盒主体的立体图;
47.图2是碎片盒中活动板向一侧移动后的状态图;
48.图3是碎片盒中活动板位于中间位置时的状态图;
49.图4是另一种实施例中活动板的结构图;
50.图5是另一种实施例中活动的正面结构图;
51.图6是碎片盒中导流组件的立体图;
52.图7是碎片盒中导流组件的正面结构图;
53.图8是碎片盒中调节组件安装位置示意图;
54.图9是碎片盒中调节组件的爆炸图。
55.附图标记列表:1-碎片盒主体;11-出水口;2-活动板;21-限位部;22-调节孔;31-固定条;32-加强条;4-导流组件;41-u型挡板;5-切割框架;6-调节组件;61-固定件;62-第一移动块;621-第一长条孔;63-第二移动块;631-第二长条孔;632-第三长条孔;64-碎片盒搭接块;65-调节螺栓。
具体实施方式
56.下面参照附图来描述本技术的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是,这些实施方式仅仅用于解释本技术的技术原理,并非用于限制本技术的保护范围。本领域技术人员可以根据需要对其作出调整,以便适应具体的应用场合。例如,虽然下述实施例中的活动板沿碎片盒主体的端面宽度方向移动,但是这仅仅是示例性地,本领域技术人员可以根据使用场景改变活动板的移动方向,如,活动板沿碎片盒主体的端面高度方向移动或倾斜移动等。
57.需要说明的是,在本技术的描述中,术语“顶部”、“底部”等指示位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系,这仅仅是为了便于描述,而不是指示或暗示相关装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
58.此外,还需要说明的是,在本技术的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”等应作广义理解,例如,“连接”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接或一体连接;可以是机械连接,也可以是其他连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域技术人员而言,可根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。需要理解的是,术语“上”、“正上方”、“内”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。另外,本技术中的“多个”表示至少两个。
59.如图1-9所示,为解决现有技术中不能有效地控制碎片盒主体1内的切割液的液面高度,在退刀时经常因为相邻硅片之间的吸合能力,造成金刚线的断裂的问题,本实用新型提供了一种碎片盒,包括碎片盒主体1和活动板2;碎片盒主体1形成有顶部敞开的容纳腔,碎片盒主体1的侧面上设有出水口11,活动板2可移动地设置于碎片盒主体1,活动板2用于调整出水口11的大小。如此,在退刀过程中,通过活动板2对出水口11大小的调整,现对碎片盒主体1内液体液面自主调整,既可以使得碎片盒主体1内的切割液液面增高,也可以使得碎片盒主体1内的切割液液面降低,按照切割需求进行液面调整。在退刀过程中,通过活动
板2对出水口11大小的调整使得切割液液面增高,使得硅片能够浸泡在切割液中,从而减少相邻硅片之间的吸合,避免金刚线的断裂,进而减少金刚线损耗,提高硅片出片数量,增加收益。
60.参见附图1-3,在上述碎片盒的具体实施方式中,碎片盒主体1的长度方向的两个端面均设置有两个出水口11和一个活动板2,在碎片盒主体1的一个端面上设置有两个固定条31,固定条31的下端与碎片盒主体1连接,固定条31的其他位置与碎片盒主体1之间形成间隙,固定条31下端设有加强条32,加强条32与固定条31一体成型,加强条32与碎片盒主体1连接。活动板2穿过间隙,并且沿碎片盒主体1的端面宽度方向(即图2中的左右方向)移动,活动板2上开设有调节孔22,调节孔22用于在活动板2移动过程中调节出水口11的排液面积。在活动板2的下端设有限位部21,限位部21为活动板2下边缘向下延伸形成的矩形边,矩形边的侧面能够抵接于固定座。
61.如此,两端均设置活动板2,可以同时调节两端的活动板2,也可以调节一端的活动板2,使得对出水口11的流量调整效果更好,同时在选择一端的活动板2进行调节时,可以选择更方便调节的一端,整体上调节出水口11的流量更加方便。当调节孔22完全对准出水口11时经过出水口11的流量最大,活动板2沿碎片盒主体1的端面宽度方向移动的过程中,调节孔22和出水口11重合的面积发生变化,从而调整出水口11的流量,同时采用这样的调整方式更方便。限位部21能够使得活动板2始终位于间隙内,防止活动板2移动的幅度过大,造成活动板2脱离间隙。
62.需要说明的是,出水口11设置于碎片盒主体1的长度方向的端面,出水口11能够只设置在碎片盒主体1的一端,也能够设置在碎片盒主体1的两端,其中出水口11设置在碎片盒的两端为最优的选择。同时碎片盒主体1长度方向的两端出水口11的数量为多个,其中最优的选择为两个,本领域技术人员可以根据需要选择出水口11的数量和具体的开设有位置,当然也可以为一个或者比两个更多。
63.还需要说明的是,两个固定条31组成固定座,固定座一部分与碎片盒主体1连接,固定座另一部分与碎片盒主体1之间形成间隙。其中固定条31的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置固定条31以及固定条31的具体构造,当然也可以不设置上述的固定条31,采用其他能够实现上述固定座功能的结构,例如采用两个滑槽组成固定座,两个滑槽固定在碎片盒主体1的宽度方向上。
64.需要进一步地说明的是,活动板2沿碎片盒主体1的端面宽度方向移动并非必须,活动板2可移动连接于出水口11所在的端面,能够调整出水口11的流量即可,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择活动板2移动的方向,当然也可以使活动板2不沿碎片盒主体1的端面宽度方向移动。比如,活动板2沿碎片盒主体1的端面的高度方向可移动设置(参见附图4-5,高度方向即图5中的上下方向)。
65.需要进一步地说明的是,加强条32的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置加强条32以及加强条32的具体构造,当然也可以不设置加强条32。调节孔22的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置调节孔22以及调节孔22的具体构造,当然也可以不设置调节孔22。在需要调整出水口11的流量时,移动活动板2,活动板2遮蔽的出水口11的面积越少,出水口11的流量越快(参见附图4-5)。限位部21被用于限制活动板2沿碎片盒主体1端面宽度方向的移动范围,本领域技术人
员可以根据具体的应用场景选择限位部21的构造。同时,限位部21的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置限位部21,当然也可以不设置限位部21。
66.需要进一步地说明的是,本实施方式中,碎片盒主体1的长度方向指与图1示出的左上至右下的方向,或图2示出的垂直于纸面的方向。
67.主要参见附图6-7,在碎片盒的优选实施方式中,碎片盒还包括导流组件4,导流组件4与碎片盒主体1连接(如焊接、卡接、螺接等),导流组件4用于改变出水口11的出水方向。如此,通过导流组件4能够防止带有掉落的切片、碎片或碎渣的液体进入线网,造成跳线或断线,导致切割不良。
68.具体的,导流组件4形成有弯折通道,弯折通道的一端对准出水口11,弯折通道的另一端向下设置。
69.优选的,导流组件4呈簸箕状,导流组件4的一侧开口朝向出水口11并与碎片盒主体1长度方向的一端,导流组件4的下端开口朝向下,导流组件4的下端设有u型挡板41,u型挡板41封闭部分一侧开口。如此,u型挡板41能够防止液体向内部溅射进入线网,造成跳线或断线,导致切割不良。
70.需要说明的是,导流组件4与碎片盒主体1连接并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择导流组件4是否与碎片盒主体1连接,当然导流组件4也可以不与碎片盒主体1连接,例如,导流组件4与活动板2或固定座连接。同时导流组件4的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置导流组件4以及导流组件4的具体构造,当然也可以不设置导流组件4。弯折通道的另一端向下设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择弯折通道是否向下设置,弯折通道当然可以不向下设置,只要能够使排出的液体不会飞溅到线网上即可。
71.需要进一步说明的是,导流组件4呈簸箕状的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择导流组件4的具体构造,当然导流组件4也可以为管道状,能够改变出水口11流出的水的方向即可。同时导流组件4下端开口可以为正下,也可以倾斜向下,本领域技术人员可以根据需要选择开口方向。
72.还需要进一步说明的是,u型挡板41的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置u型挡板41以及u型挡板41的具体构造,当然也可以不设置u型挡板41。
73.主要参见附图8-9,在上述碎片盒的实施方式中,碎片盒还包括调节组件6,调节组件6的一端与切割框架5连接,调节组件6的另一端与碎片盒主体1的一端连接,调节组件6用于调节碎片盒主体1的位置。如此,通过调节组件6能够调整碎片盒主体1的位置,使得碎片盒主体1处于不同的高度,从而能够调整碎片盒主体1内溶液的液面,同时调节主辊间轴距的时候,线网会同步上升与下降,调节组件可以实现碎片盒主体的上升与下降,能够适应线网的位置。
74.具体的,调节组件6包括固定件61和调节部,固定件61与切割框架5连接,调节部与碎片盒主体1连接,调节部可移动地连接于固定件61,以便调整碎片盒主体1在其高度和或宽度方向的位置。
75.其中,调节部包括第一移动块62和碎片盒搭接块64,第一移动块62为l形板,l形板的短板朝向固定件61的方向延伸,l形板的长板上开设有沿高度方向延伸的第一长条孔
621,l形板的短板上设有螺纹调节孔,调节部还包括调节螺栓65,调节螺栓65螺接于螺纹调节孔并抵接于固定件61。固定件61上开设有螺纹孔,螺栓穿过第一长条孔621并螺接于螺纹孔,碎片盒搭接块64与第一移动块62固定连接,用于承载碎片盒主体1。
76.优选的,固定件61上开设有滑槽,第一移动块62设置有凸起,滑槽与凸起配合。如此,螺栓穿过第一长条孔621,方便第一移动块62的上下移动。调节螺栓65的不同位置与螺纹调节孔连接,使得第一移动板的高度发生变化,在调节第一移动板高度时更加方便。
77.需要说明的是,第一移动块62的作用是使得碎片盒主体1处于不同的高度,上述第一移动块62的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置第一移动块62以及第一移动块6的具体构造,当然也可以不设置第一移动块62。
78.需要进一步说明的是,l形板的短板朝向固定件61的方向延伸,l形板的短板能够位于l形板顶部或者底部,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择短板设置的位置,本实施例中最优的的选择为短板位于l形板的顶部。滑槽和凸起的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置滑槽和凸起,当然也可以不设置滑槽和凸起。调节螺栓65的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置调节螺栓65以及调节螺栓65的具体构造,当然也可以不设置调节螺栓65。
79.一种碎片盒中调节组件6的可选实施方式中,第一移动块62上开设有多个沿高度方向排列的通孔,固定件61上开设有螺纹孔,螺栓穿过任一通孔并螺接于螺纹孔。如此,采用外力移动第一移动块62后,将螺栓拧紧能够实现对第一移动块62的固定,方便承载碎片盒主体1。
80.一种碎片盒中调节组件6的可选实施方式中,第一移动块62上开设有通孔,固定件61上开设有多个沿高度方向排列的螺纹孔,螺栓穿过通孔并螺接于任一螺纹孔。如此,将通孔和不同高度上的螺纹孔对齐,使得第一移动块62相对于固定件61的高度发生变化。
81.在上述碎片盒的优选实施方式中,调节部还包括第二移动块63,第二移动块63一侧与第一移动块62可移动连接以调整碎片盒主体1在宽度方向的位置,第二移动块63另一侧与碎片盒搭接块64连接,第二移动块63上开设有沿高度方向延伸的第二长条孔631,第二长条孔631与第一长条孔621对应设置。如此,通过第二移动块63能够调整碎片盒主体1在宽度方向上的位置,方便在碎片盒主体1放置过程中与碎片盒搭接块64搭接。
82.具体的,第二移动块63上开设有沿高度方向延伸的第二长条孔631,第二长条孔631与第一长条孔621对应设置,方便螺栓通过第一长条孔621与固定件61上的螺纹孔连接。第二移动块63上开设有沿宽度方向延伸的第三长条孔632,第一移动件上开设有螺纹孔,螺栓穿过第三长条孔632并螺接于螺纹孔。螺纹孔和第三长条孔632的数量为四个,且第三长条孔632与螺纹孔一一对应设置。如此,螺栓在第三长条孔632内位置的不同,使得第二移动块63相对于第一移动块62宽度方向上的位置不同,从而使得碎片盒主体1在宽度方向上的位置改变,其中宽度方向指主辊的水平径向,或者线网的绕设方向。
83.需要说明的是,第三长条孔632的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置第三长条孔632,当然也可以不设置第三长条孔632,采用其他结构实现第二移动块63的移动。同时,第二移动块63的设置并非必须,本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置第二移动块63,当然也可以不设置第二移动块63。
84.一种碎片盒中第二移动块63的可选实施方式中,第二移动块63上开设有多个沿宽
度方向排列的通孔,第一移动块62上开设有螺纹孔,螺栓穿过任一通孔并螺接于螺纹孔。如此,将螺纹孔和不同宽度上的通孔对齐,使得第二移动块63相对于第一移动块62的宽度位置发生变化。
85.一种碎片盒的中第二移动块63的可选实施方式中,第二移动块63上开设有通孔,第一移动块62上开设有多个沿宽度方向排列的螺纹孔,螺栓穿过通孔并螺接于任一螺纹孔。如此,将通孔和不同宽度上的螺纹孔对齐,使得第二移动块63相对于第一移动块62的宽度位置发生变化。
86.本实用新型还提供了一种切割液系统,切割液系统包括上述的碎片盒。如此,移动活动板2调整出水口11的大小,在退刀过程中,通过活动板2对出水口11大小的调整,使得碎片盒主体1内的切割液液面增高,从而使得硅片能够浸泡在切割液中,减少相邻硅片之间的吸合,避免金刚线的断裂。
87.本实用新型还提供了一种线切割机,线切割机包括上述的碎片盒,或者上述的切割液系统。如此,本实用新型在退刀过程中,通过活动板2对出水口11大小的调整,现对碎片盒主体1内液体液面自主调整,既可以使得碎片盒主体1内的切割液液面增高,也可以使得碎片盒主体1内的切割液液面降低,按照切割需求进行液面调整。在退刀过程中,通过活动板2对出水口11大小的调整使得切割液液面增高,使得硅片能够浸泡在切割液中,从而减少相邻硅片之间的吸合,避免金刚线的断裂,进而减少金刚线损耗,提高硅片出片数量,增加收益。
88.本领域的技术人员能够理解,尽管在此的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征,但是不同实施例的特征的组合意味着处于本技术的范围之内并且形成不同的实施例。例如,在本技术的权利要求书中,所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。
89.至此,已经结合附图所示的优选实施方式描述了本实用新型的技术方案,但是,本领域技术人员容易理解的是,本实用新型的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本实用新型的原理的前提下,本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换,这些更改或替换之后的技术方案都将落入本实用新型的保护范围之内。