基于超声波的ic片料清洗设备及其清洗方法
技术领域
1.本发明涉及ic芯片生产技术领域，具体来说，涉及基于超声波的ic片料清洗设备及其清洗方法。
背景技术：
2.ic芯片是将大量的微电子元器件(晶体管、电阻、电容等)形成的集成电路放在一块塑基上，做成一块芯片，而今几乎所有看到的芯片，都可以叫做ic芯片，ic芯片所采用的原料多为晶圆，由于晶圆多为圆形片状结构，故可称之为片料，在生产ic芯片的过程中，ic片料也就是ic晶圆需要经过多次清洗，现阶段对于100纳米以上的ic芯片多采用超声波清洗的方法。
3.传统的超声波清洗ic片料的方法较为简单，将ic片料分开码放后放入到超声波清洗池中，加入专用的超声波清洗液后，即可开机进行清洗，但是，此种做法不容易使ic片料表面的杂质快速与ic片料分离，在ic片料周围易形成雾状杂质包围，影响清洗效率，同时，少部分附着的杂质也难以剥离ic片料，虽然可以通过软刷刷洗的方式进行去除，但是，软刷产生的磨损现象也会影响ic片料，导致ic片料出现损坏的现象，影响清洗效果，还可以进一步做出改进，同时，ic片料在清洗完成后需要及时进行干燥，传统的干燥方式为热风干燥，需要手动取出ic片料后转移到干燥机中进行，不仅较为麻烦，而且ic片料在干燥过程中相对静置不动，表面残留的清洗液也无法快速去除，影响干燥均匀性和速度，影响干燥效率和生产效率，也还可以进一步做出改进。
4.针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的j9九游会真人的解决方案。
技术实现要素：
5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术的不足，本发明提供了基于超声波的ic片料清洗设备及其清洗方法，具备提高了清洗效率和干燥效率的优点，进而解决上述背景技术中的问题。
7.(二)技术方案
8.为实现上述提高了清洗效率和干燥效率的优点，本发明采用的具体技术方案如下：
9.基于超声波的ic片料清洗设备，包括超声波清洗机和超声波清洗池，所述超声波清洗机顶面开设有超声波清洗池，且超声波清洗机一侧固定安装有底座板，并且底座板顶面竖向固定安装有电缸，所述电缸的移动杆顶面固定安装有升降板，且升降板顶面固定安装有挑架，并且挑架另一端顶面固定安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机一侧位于挑架顶面贯穿转动连接有主轴管，且主轴管内部中轴线位置插接有中心杆，并且中心杆底面通过旋转连接座与主轴管内底面转动连接，所述挑架另一端顶面固定安装有支架，且支架与中心杆顶面固定连接，所述第一驱动电机输出端安装有第一皮带轮，所述主轴管外表面固定套接有第二皮带轮，且第二皮带轮通过连接皮带与第一皮带轮连接，所述中心杆外表
面位于主轴管内部固定套接有第二伞齿轮，且主轴管外壁焊接有稳定架，并且主轴管表面贯穿转动连接有转动轴，所述转动轴贯穿稳定架并通过限位轴承与稳定架转动连接，且转动轴一端位于主轴管内部固定连接有第一伞齿轮，并且第一伞齿轮与第二伞齿轮啮合，所述转动轴表面固定安装有固定框，且固定框顶口插接有卡槽，并且卡槽另一端固定连接有堵板，所述堵板通过羊角螺栓与固定框固定连接，且固定框内壁和卡槽一端均开设有内槽，所述超声波清洗机顶面位于超声波清洗池另一侧固定安装有立板，且立板顶部另一侧表面固定安装有挑板，并且挑板另一端顶面固定安装有热风机，所述挑板另一端底面固定安装有端板，且端板一侧表面固定安装有第二驱动电机，并且第二驱动电机输出端安装有螺杆，所述立板表面贯穿滑动连接有输气管，且输气管表面开设有出气口，并且输气管另一端位于立板另一侧设置有移动箱，所述移动箱内部开设有分流槽，且分流槽与输气管贯通连接，并且分流槽通过软管与热风机输出端贯通连接，所述螺杆贯穿移动箱顶部并与移动箱螺纹连接，且螺杆另一端与立板转动连接。
10.进一步的，所述转动轴从上至下等间距布置有多层，且转动轴沿中心杆中轴线等角度分布有多个。
11.进一步的，所述固定框设置有多个，且固定框等间距分布。
12.进一步的，所述固定框顶面开设有螺纹盲孔，所述羊角螺栓贯穿堵板延伸至螺纹盲孔中并与螺纹盲孔螺纹配合。
13.进一步的，所述主轴管贯穿挑架并通过限位轴承与挑架转动连接，且主轴管与中心杆同轴布置。
14.进一步的，所述底座板顶面竖向固定安装有第一导杆，且第一导杆贯穿升降板并与升降板滑动连接。
15.进一步的，所述输气管数量与固定框层数相同，且输气管之间的距离等于转动轴之间的距离。
16.进一步的，所述端板和立板之间固定连接有第二导杆，且第二导杆贯穿移动箱并与移动箱滑动连接。
17.进一步的，所述出气口等间距布置有多个，且出气口向下出风。
18.基于超声波的ic片料的清洗方法，包括基于超声波的ic片料清洗设备，具体清洗步骤如下：
19.s1、准备阶段：向超声波清洗池中注入足量的专用清洗液，随后，启动超声波清洗机、第一驱动电机、第二驱动电机、电缸和热风机进行试运行，超声波清洗机、第一驱动电机、第二驱动电机、电缸和热风机能够正常使用后，关闭超声波清洗机、第一驱动电机、第二驱动电机、电缸和热风机。
20.s2、安装阶段：启动电缸伸长，将固定框移动出超声波清洗池，随后，转动羊角螺栓打开堵板和卡槽，将ic片料插入到内槽中后，插入卡槽直至堵板抵紧固定框，随后，转动羊角螺栓进入到螺纹盲孔中，固定堵板和卡槽，进而固定ic片料，随后，启动电缸缩短，使ic片料浸入到超声波清洗液中。
21.s3、超声清洗阶段：启动超声波清洗机，并启动第一驱动电机慢速转动，第一驱动电机启动，带动第一皮带轮慢速转动，进而通过连接皮带带动第二皮带轮慢速转动，进而带动主轴管慢速转动，进而带动转动轴水平公转，带动ic片料沿主轴管公转，在ic片料公转进
行时，第一伞齿轮与第二伞齿轮啮合，在第一伞齿轮发生自转，进而带动转动轴发生自转，进而带动固定框和ic片料进行公转的同时进行自转，从而全方位与清洗液接触，并通过多方位转动与清洗液产生相对流动，使清洗液能够冲刷掉ic片料表面的杂质。
22.s4、离心阶段：ic片料清洗完毕后，工作人员可启动电缸伸长，推动升降板和挑架上移，进而将ic片料顶升至超声波清洗池上方，随后，工作人员可启动第一驱动电机快速转动，进而带动主轴管快速转动，进而带动ic片料进行快速的公转和自转，通过双向高速离心甩掉表面的清洗液，进而方便后期进行快速干燥，提高了清洗后干燥的速度和效率。
23.s5、干燥阶段：当ic片料提升就位后，第二驱动电机带动螺杆转动，进而带动与螺杆螺纹连接的移动箱移动，进而带动输气管移动至固定框的上方，随后，在ic片料进行离心甩干的过程中，热风机启动，产生热空气经过软管进入到分流槽中，经过分流槽进入到输气管中，经过出气口排出，对运动中的ic片料进行热风吹干，由于ic片料始终处于不断的运动中，热风吹干更加均匀。
24.s6、卸料阶段：重新转动羊角螺栓打开堵板和卡槽即可取出清洗干燥后的ic片料。
25.(三)有益效果
26.与现有技术相比，本发明提供了基于超声波的ic片料清洗设备及其清洗方法，具备以下有益效果：
27.(1)、本发明采用了可进行公转和自转的固定框，在进行对ic片料进行清洗时，可将ic片料插入到固定框的内槽中，随后，将卡槽插入到固定框中，通过羊角螺栓进行固定，即可安装好ic片料，随后，将ic片料浸入到超声波清洗池中的清洗液中，启动超声波清洗机对ic片料进行超声波清洗，在清洗的过程中，第一驱动电机启动，带动第一皮带轮慢速转动，进而通过连接皮带带动第二皮带轮慢速转动，进而带动主轴管慢速转动，进而带动转动轴水平公转，带动ic片料沿主轴管公转，在ic片料公转进行时，第一伞齿轮与第二伞齿轮啮合，在第一伞齿轮发生自转，进而带动转动轴发生自转，进而带动固定框和ic片料进行公转的同时进行自转，从而全方位与清洗液接触，并通过多方位转动与清洗液产生相对流动，使清洗液能够冲刷掉ic片料表面的杂质，提高了超声波清洗效率，进而提高了工作效率。
28.(2)、本发明采用了可升降的挑架，ic片料清洗完毕后，工作人员可启动电缸伸长，推动升降板和挑架上移，进而将ic片料顶升至超声波清洗池上方，随后，工作人员可启动第一驱动电机快速转动，进而带动主轴管快速转动，进而带动ic片料进行快速的公转和自转，通过双向高速离心甩掉表面的清洗液，进而方便后期进行快速干燥，提高了清洗后干燥的速度和效率，进一步提高了工作效率。
29.(3)、本发明采用了可移动的输气管，当ic片料提升就位后，第二驱动电机带动螺杆转动，进而带动与螺杆螺纹连接的移动箱移动，进而带动输气管移动至固定框的上方，随后，在ic片料进行离心甩干的过程中，热风机启动，产生热空气经过软管进入到分流槽中，经过分流槽进入到输气管中，经过出气口排出，对运动中的ic片料进行热风吹干，由于ic片料始终处于不断的运动中，热风吹干更加均匀，进而进一步提高了干燥效率，进一步提高了工作效率。
附图说明
30.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所
需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
31.图1是根据本发明实施例的基于超声波的ic片料清洗设备的结构示意图；
32.图2是根据本发明实施例的基于超声波的ic片料清洗设备的主视图；
33.图3是根据本发明实施例的固定框和卡槽的内部结构示意图；
34.图4是根据本发明实施例的基于超声波的ic片料清洗设备的a节点放大图；
35.图5是根据本发明实施例的基于超声波的ic片料清洗设备的b节点放大图；
36.图6是根据本发明实施例的固定框安装的俯视图；
37.图7是根据本发明实施例的输气管的安装示意图；
38.图8是根据本发明实施例的固定框的结构示意图；
39.图9是根据本发明实施例的固定框和卡槽的连接示意图。
40.图中：
41.1、超声波清洗机；2、超声波清洗池；3、底座板；4、电缸；5、升降板；6、第一导杆；7、挑架；8、第一驱动电机；9、主轴管；10、支架；11、中心杆；12、旋转连接座；13、稳定架；14、转动轴；15、固定框；16、第一皮带轮；17、连接皮带；18、第二皮带轮；19、立板；20、移动箱；21、分流槽；22、软管；23、挑板；24、第二导杆；25、螺杆；26、热风机；27、端板；28、第二驱动电机；29、输气管；30、出气口；31、内槽；32、堵板；33、卡槽；34、羊角螺栓；35、第一伞齿轮；36、第二伞齿轮；37、螺纹盲孔。
具体实施方式
42.为进一步说明各实施例，本发明提供有附图，这些附图为本发明揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本发明的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
43.根据本发明的实施例，提供了基于超声波的ic片料清洗设备及其清洗方法。
44.现结合附图和具体实施方式对本发明进一步说明，如图1-9所示，根据本发明实施例的基于超声波的ic片料清洗设备，包括超声波清洗机1和超声波清洗池2，超声波清洗机1顶面开设有超声波清洗池2，为本领域常见设备，且超声波清洗机1一侧固定安装有底座板3，并且底座板3顶面竖向固定安装有电缸4，电缸4的移动杆顶面固定安装有升降板5，电缸4伸缩带动升降板5进行升降，且升降板5顶面固定安装有挑架7，挑架7为l型结构，且挑架7不易变形，并且挑架7另一端顶面固定安装有第一驱动电机8，第一驱动电机8一侧位于挑架7顶面贯穿转动连接有主轴管9，且主轴管9内部中轴线位置插接有中心杆11，其中，主轴管9贯穿挑架7并通过限位轴承与挑架7转动连接，避免主轴管9发生轴向移动，且主轴管9与中心杆11同轴布置，中心杆11贯穿主轴管9顶口，并且中心杆11底面通过旋转连接座12与主轴管9内底面转动连接，挑架7另一端顶面固定安装有支架10，且支架10与中心杆11顶面固定连接，第一驱动电机8输出端安装有第一皮带轮16，主轴管9外表面固定套接有第二皮带轮18，且第二皮带轮18通过连接皮带17与第一皮带轮16连接，为常见驱动结构，在此不做过多赘述，中心杆11外表面位于主轴管9内部固定套接有第二伞齿轮36，且主轴管9外壁焊接有
稳定架13，稳定架13为l型结构，并且主轴管9表面贯穿转动连接有转动轴14，转动轴14贯穿稳定架13并通过限位轴承与稳定架13转动连接，避免转动轴14发生轴向移动，进而稳定转动轴14的转动，且转动轴14一端位于主轴管9内部固定连接有第一伞齿轮35，并且第一伞齿轮35与第二伞齿轮36啮合，为常见驱动结构，转动轴14表面固定安装有固定框15，且固定框15顶口插接有卡槽33，并且卡槽33另一端固定连接有堵板32，堵板32通过羊角螺栓34与固定框15固定连接，且固定框15内壁和卡槽33一端均开设有内槽31，内槽31用于ic片料边缘插入，从而固定ic片料，超声波清洗机1顶面位于超声波清洗池2另一侧固定安装有立板19，且立板19顶部另一侧表面固定安装有挑板23，并且挑板23另一端顶面固定安装有热风机26，挑板23另一端底面固定安装有端板27，且端板27一侧表面固定安装有第二驱动电机28，并且第二驱动电机28输出端安装有螺杆25，立板19表面贯穿滑动连接有输气管29，且输气管29表面开设有出气口30，其中，出气口30等间距布置有多个，且出气口30向下出风，并且输气管29另一端位于立板19另一侧设置有移动箱20，移动箱20内部开设有分流槽21，且分流槽21与输气管29贯通连接，并且分流槽21通过软管22与热风机26输出端贯通连接，螺杆25贯穿移动箱20顶部并与移动箱20螺纹连接，且螺杆25另一端与立板19转动连接，螺杆25位于分流槽21的上方，在进行对ic片料进行清洗时，可将ic片料插入到固定框15的内槽31中，随后，将卡槽33插入到固定框15中，通过羊角螺栓34进行固定，即可安装好ic片料，随后，将ic片料浸入到超声波清洗池2中的清洗液中，启动超声波清洗机1对ic片料进行超声波清洗，在清洗的过程中，第一驱动电机8启动，带动第一皮带轮16慢速转动，进而通过连接皮带17带动第二皮带轮18慢速转动，进而带动主轴管9慢速转动，进而带动转动轴14水平公转，带动ic片料沿主轴管9公转，在ic片料公转进行时，第一伞齿轮35与第二伞齿轮36啮合，在第一伞齿轮35发生自转，进而带动转动轴14发生自转，进而带动固定框15和ic片料进行公转的同时进行自转，从而全方位与清洗液接触，并通过多方位转动与清洗液产生相对流动，使清洗液能够冲刷掉ic片料表面的杂质，提高了超声波清洗效率，进而提高了工作效率，同时，ic片料清洗完毕后，工作人员可启动电缸4伸长，推动升降板5和挑架7上移，进而将ic片料顶升至超声波清洗池2上方，随后，工作人员可启动第一驱动电机8快速转动，进而带动主轴管9快速转动，进而带动ic片料进行快速的公转和自转，通过双向高速离心甩掉表面的清洗液，进而方便后期进行快速干燥，提高了清洗后干燥的速度和效率，进一步提高了工作效率，同时，当ic片料提升就位后，第二驱动电机28带动螺杆25转动，进而带动与螺杆25螺纹连接的移动箱20移动，进而带动输气管29移动至固定框15的上方，随后，在ic片料进行离心甩干的过程中，热风机26启动，产生热空气经过软管22进入到分流槽21中，经过分流槽21进入到输气管29中，经过出气口30排出，对运动中的ic片料进行热风吹干，由于ic片料始终处于不断的运动中，热风吹干更加均匀，进而进一步提高了干燥效率，进一步提高了工作效率。
45.在一个实施例中，转动轴14从上至下等间距布置有多层，且转动轴14沿中心杆11中轴线等角度分布有多个，其中，固定框15设置有多个，且固定框15等间距分布，便于一次性对多个ic片料进行清洗和干燥工作，提高工作效率。
46.在一个实施例中，固定框15顶面开设有螺纹盲孔37，羊角螺栓34贯穿堵板32延伸至螺纹盲孔37中并与螺纹盲孔37螺纹配合，为常见固定结构，在此不做过多赘述。
47.在一个实施例中，底座板3顶面竖向固定安装有第一导杆6，且第一导杆6贯穿升降
板5并与升降板5滑动连接，第一导杆6为升降板5升降进行导向，避免升降板5歪斜。
48.在一个实施例中，输气管29数量与固定框15层数相同，且输气管29之间的距离等于转动轴14之间的距离，输气管29位置与固定框15位置对应布置，通过电缸4完成高度定位。
49.在一个实施例中，端板27和立板19之间固定连接有第二导杆24，且第二导杆24贯穿移动箱20并与移动箱20滑动连接，第二导杆24位于螺杆25上方，为移动箱20移动进行导向，便于移动箱20平稳移动。
50.基于超声波的ic片料的清洗方法，包括基于超声波的ic片料清洗设备，具体清洗步骤如下：
51.s1、准备阶段：向超声波清洗池2中注入足量的专用清洗液，随后，启动超声波清洗机1、第一驱动电机8、第二驱动电机28、电缸4和热风机26进行试运行，超声波清洗机1、第一驱动电机8、第二驱动电机28、电缸4和热风机26能够正常使用后，关闭超声波清洗机1、第一驱动电机8、第二驱动电机28、电缸4和热风机26。
52.s2、安装阶段：启动电缸4伸长，将固定框15移动出超声波清洗池2，随后，转动羊角螺栓34打开堵板32和卡槽33，将ic片料插入到内槽31中后，插入卡槽33直至堵板32抵紧固定框15，随后，转动羊角螺栓34进入到螺纹盲孔37中，固定堵板32和卡槽33，进而固定ic片料，随后，启动电缸4缩短，使ic片料浸入到超声波清洗液中。
53.s3、超声清洗阶段：启动超声波清洗机1，并启动第一驱动电机8慢速转动，第一驱动电机8启动，带动第一皮带轮16慢速转动，进而通过连接皮带17带动第二皮带轮18慢速转动，进而带动主轴管9慢速转动，进而带动转动轴14水平公转，带动ic片料沿主轴管9公转，在ic片料公转进行时，第一伞齿轮35与第二伞齿轮36啮合，在第一伞齿轮35发生自转，进而带动转动轴14发生自转，进而带动固定框15和ic片料进行公转的同时进行自转，从而全方位与清洗液接触，并通过多方位转动与清洗液产生相对流动，使清洗液能够冲刷掉ic片料表面的杂质。
54.s4、离心阶段：ic片料清洗完毕后，工作人员可启动电缸4伸长，推动升降板5和挑架7上移，进而将ic片料顶升至超声波清洗池2上方，随后，工作人员可启动第一驱动电机8快速转动，进而带动主轴管9快速转动，进而带动ic片料进行快速的公转和自转，通过双向高速离心甩掉表面的清洗液，进而方便后期进行快速干燥，提高了清洗后干燥的速度和效率。
55.s5、干燥阶段：当ic片料提升就位后，第二驱动电机28带动螺杆25转动，进而带动与螺杆25螺纹连接的移动箱20移动，进而带动输气管29移动至固定框15的上方，随后，在ic片料进行离心甩干的过程中，热风机26启动，产生热空气经过软管22进入到分流槽21中，经过分流槽21进入到输气管29中，经过出气口30排出，对运动中的ic片料进行热风吹干，由于ic片料始终处于不断的运动中，热风吹干更加均匀。
56.s6、卸料阶段：重新转动羊角螺栓34打开堵板32和卡槽33即可取出清洗干燥后的ic片料。
57.工作原理：
58.在进行对ic片料进行清洗时，可将ic片料插入到固定框15的内槽31中，随后，将卡槽33插入到固定框15中，通过羊角螺栓34进行固定，即可安装好ic片料，随后，将ic片料浸
入到超声波清洗池2中的清洗液中，启动超声波清洗机1对ic片料进行超声波清洗，在清洗的过程中，第一驱动电机8启动，带动第一皮带轮16慢速转动，进而通过连接皮带17带动第二皮带轮18慢速转动，进而带动主轴管9慢速转动，进而带动转动轴14水平公转，带动ic片料沿主轴管9公转，在ic片料公转进行时，第一伞齿轮35与第二伞齿轮36啮合，在第一伞齿轮35发生自转，进而带动转动轴14发生自转，进而带动固定框15和ic片料进行公转的同时进行自转，从而全方位与清洗液接触，并通过多方位转动与清洗液产生相对流动，使清洗液能够冲刷掉ic片料表面的杂质，提高了超声波清洗效率，进而提高了工作效率，同时，ic片料清洗完毕后，工作人员可启动电缸4伸长，推动升降板5和挑架7上移，进而将ic片料顶升至超声波清洗池2上方，随后，工作人员可启动第一驱动电机8快速转动，进而带动主轴管9快速转动，进而带动ic片料进行快速的公转和自转，通过双向高速离心甩掉表面的清洗液，进而方便后期进行快速干燥，提高了清洗后干燥的速度和效率，进一步提高了工作效率，同时，当ic片料提升就位后，第二驱动电机28带动螺杆25转动，进而带动与螺杆25螺纹连接的移动箱20移动，进而带动输气管29移动至固定框15的上方，随后，在ic片料进行离心甩干的过程中，热风机26启动，产生热空气经过软管22进入到分流槽21中，经过分流槽21进入到输气管29中，经过出气口30排出，对运动中的ic片料进行热风吹干，由于ic片料始终处于不断的运动中，热风吹干更加均匀，进而进一步提高了干燥效率，进一步提高了工作效率。
59.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
60.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。