1.本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种拆卸辅助工具。
背景技术：
2.在当今半导体芯片生产的多个环节中，刻蚀机是不可或缺的主要设备之一。目前由预真空室、反应腔、供气系统和真空系统四部分组成的icp刻蚀机就是其中应用较为广泛的一种。而在icp刻蚀机的反应腔中，石英窗是其重要组成部分。随着集成电路技术的不断进步，刻蚀机台或光刻机台的精密程度逐渐提高，这对石英窗的尺寸精确度和装配过程的精细程度都提出了更高的要求。
3.现在技术中，所述石英窗通常为圆形结构，石英窗在制备时，与经真空吸附固定在承载盘上，因此，当前当石英窗制作完成后常用的石英窗拆卸方法是经人工徒手拆取石英窗使其脱离承载盘。然而，上述拆卸方法不仅作业效率低，还容易使石英窗滑动脱离承载盘而损坏石英窗与其他零部件，导致石英窗磨损严重，使装置的精密度降低，降低了产品的合格率，严重时可能造成人员受伤，因此，对操作员工的作业技能要求极高。
4.因此，如何设计一款适用于圆形结构的石英窗与承载盘无损伤脱离的拆卸辅助工具，成为了本领域技术人员有待解决的技术问题。
技术实现要素：
5.本实用新型的目的在于提供一种拆卸辅助工具，适用于辅助拆卸刻蚀机机台的反应腔腔体内的石英窗的装置，提出一种拆卸辅助工具，用于拆卸经真空吸附固定连接在承载盘上的石英窗，以解决现有技术中当石英窗制作完成后经人工徒手拆取石英窗使其脱离承载盘而造成的不仅作业效率低，还容易损坏石英窗与其他零部件，严重时可能造成人员受伤，进而提高对操作员工的作业技能要求的问题。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种拆卸辅助工具，适用于辅助拆卸刻蚀机机台的反应腔腔体内的石英窗的装置中，具体的，所述拆卸辅助工具可以包括：基座(1)、按压杆(2)、前爪(3)、铰链连接件(4)；其中，
7.所述基座(1)可以包括底板(11)和固定连接在所述底板(11)上的不规则工件台(12)，所述不规则工件台(12)的顶面的一端上可以开设有一插孔(121)，而其顶面的另一端的两侧则垂直延伸设置有两个相对的连接板(122)；
8.所述按压杆(2)可以包括连杆(21)和连接在该连杆(21)的一端面上的开口朝外的u型卡扣(22)，所述连杆(21)的中部通过所述铰链连接件(4)活动连接在所述不规则工件台(12)的两个所述连接板(122)之间；
9.所述前爪(3)可以包括垂直连接的顶板(31)和长杆(32)，所述长杆(32)在靠近所述顶板(31)的位置处拆卸式地插入所述u型卡扣(22)中后，再垂直插入所述不规则工件台(12)的插孔(121)中，以通过对所述按压杆(2)的连杆(21)末端施加压力的方式，带动所述前爪(3)的长杆(32)在所述插孔(121)内进行垂直方向上的运动。
10.进一步的，两个相对设置的所述连接板(122)上均可以设置有一定位孔。
11.进一步的，所述铰链连接件(4)的上端与所述按压杆(2)的中间支点可以通过一对第一螺栓与第一螺母(41)实现可拆卸式连接，且所述铰链连接件(4)的下端与所述连接板(122)可以通过穿设于所述定位孔的一对第二螺栓与第二螺母(42)实现可拆卸式连接。
12.进一步的，所述按压杆(2)与所述连接板(122)的连接位置可以称之为杠杆支点，且以所述按压杆(2)的杠杆支点形成的杠杆比例至少为8:1，所述杠杆支点的长端一侧为动力臂，所述杠杆支点的短端一侧为阻力臂，所述动力臂的自由端用于施力，所述阻力臂的自由端用于获力。
13.进一步的，所述前爪(3)的顶板(31)可以为形状为扇形的板状结构，所述顶板(31)和与其垂直连接的所述长杆(32)可以一体成型。
14.进一步的，所述前爪(3)的长杆(32)的下端还可以设置有一限位栓(321)，以通过所述限位栓(321)限制所述前爪(3)的长杆(32)在所述基座(1)的插孔(121)内做垂直方向上的运动时脱离所述基座(1)的所述插孔(121)。
15.进一步的，所述u型卡扣(22)与所述连杆(21)可以一体成型。
16.进一步的，所述按压杆(2)的u型卡扣(22)与所述前爪(3)的长杆(32)可以通过一对第三螺栓与第三螺母(33)可拆卸式连接。
17.进一步的，所述前爪(3)的长杆(32)在所述不规则工件台(12)的顶面的上的所述插孔(121)内的移动高度范围可以为0～100mm。
18.进一步的，所述前爪(3)的负重范围可以为≥50kg。
19.与现有技术相比，本实用新型至少具有如下技术效果：
20.在本实用新型提供了一种拆卸辅助工具，其是基于经真空吸附固定连接在承载盘上的石英窗，设计了一款适用于辅助拆卸刻蚀机机台的反应腔腔体内的石英窗装置的拆卸辅助工具，将拆卸辅助工具前爪插进石英窗凹槽内，利用杠杆原理只需很少的力就可将经真空吸附牢牢固定在承载盘上的石英窗慢慢撬起，从而破开真空吸力，即，可轻松拆卸固定吸附在承载盘上的石英窗。同时该机构应用了连杆滑块机构保证前爪垂直向上运动，避免了前爪与石英窗发生相对滑动，导致石英窗磨损。因此，该拆卸石英窗的方法解决了现有技术中当石英窗制作完成后经人工徒手拆取石英窗使其脱离承载盘而造成的不仅作业效率低，还容易损坏石英窗与其他零部件，使装置的精密度和产品的合格率降低，严重时可能造成人员受伤，进而提高对操作员工的作业技能要求的问题，从而达到了既能将石英窗快速取出，又能保护人员和零件安全的效果。
附图说明
21.图1为本实用新型一实施例中提供的一种拆卸辅助工具的主视图。
22.其中，图中，1-基座，11-底板，12-不规则工件台，121-插孔，122-连接板，2-按压杆，21-连杆，22-u型卡扣；3-前爪，31-顶板，32-长杆，321-限位栓，33-一对第三螺栓与第三螺母；4-铰链连接件，41-一对第一螺栓与第一螺母，42-一对第二螺栓与第二螺母。
具体实施方式
23.承如背景技术所述，在当今半导体芯片生产的多个环节中，刻蚀机是不可或缺的
主要设备之一。目前由预真空室、反应腔、供气系统和真空系统四部分组成的icp刻蚀机就是其中应用较为广泛的一种。而在icp刻蚀机的反应腔中，石英窗是其重要组成部分。随着集成电路技术的不断进步，刻蚀机台或光刻机台的精密程度逐渐提高，这对石英窗的尺寸精确度和装配过程的精细程度都提出了更高的要求。现在技术中，所述石英窗通常为圆形结构，石英窗在制备时，与经真空吸附固定在承载盘上，因此，当前当石英窗制作完成后常用的石英窗拆卸方法是经人工徒手拆取石英窗使其脱离承载盘。然而，上述拆卸方法不仅作业效率低，还容易使石英窗滑动脱离承载盘而损坏石英窗与其他零部件，导致石英窗磨损严重，使装置的精密度降低，降低了产品的合格率，严重时可能造成人员受伤，因此，对操作员工的作业技能要求极高。
24.因此，如何设计一款适用于圆形结构的石英窗与承载盘无损伤脱离的拆卸辅助工具，成为了本领域技术人员有待解决的技术问题。
25.为此，本实用新型提供了一种适用于辅助拆卸刻蚀机机台的反应腔腔体内的石英窗的装置，提出一种拆卸辅助工具，用于拆卸经真空吸附固定连接在承载盘上的石英窗。
26.以下将对本实用新型的一种用于拆卸经真空吸附固定连接在承载盘上的石英窗的拆卸辅助工具作进一步的详细描述。下面将参照附图1对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
27.参考图1，图1为本实施例中提供的一种拆卸辅助工具的装配侧视图。如图1所示，所述拆卸辅助工具可以包括：基座1、按压杆2、前爪3、铰链连接件4。
28.所述基座1可以包括底板11和固定连接在所述底板11上的不规则工件台12，所述不规则工件台12的顶面的一端上开设有一插孔121，而其顶面的另一端的两侧则垂直延伸设置有两个相对的连接板122；
29.所述按压杆2包括连杆21和连接在该连杆21的一端面上的开口朝外的u型卡扣22，所述连杆21的中部通过所述铰链连接件4活动连接在所述不规则工件台12的两个所述连接板122之间；
30.所述前爪3包括垂直连接的顶板31和长杆32，所述长杆32在靠近所述顶板31的位置处拆卸式地插入所述u型卡扣22中后，再垂直插入所述不规则工件台12的插孔121中，以通过对所述按压杆2的连杆21末端施加压力的方式，带动所述前爪3的长杆32在所述插孔121内进行垂直方向上的运动。
31.在本实施例中，所述底板11具体用于支撑固定连接在所述底板11上的所述不规则工件台12，作为一种优选示例，所述底板11可以一体成型在所述不规则工件台12下端面上。所述基座1与其所包括的底板11和固定连接在所述底板11上的不规则工件台12均为不锈钢材质。
32.进一步的，继续参考图1所示，所述不规则工件台12的顶面的一端上开设有一插孔121，而其顶面的另一端的两侧则垂直延伸设置有两个相对的连接板122。作为一种优选示例，所述插孔121为一正方形插孔。
33.进一步的，继续参考图1所示，两个相对设置的所述连接板122上均设置有一定位孔，所述定位孔用于后续与其他零部件进行拆卸式连接，示例性的，所述定位孔为圆形定位
孔。
34.在本实施例中，继续参考图1，所述铰链连接件4的上端与所述按压杆2的中间支点通过一对第一螺栓与第一螺母41实现可拆卸式连接，且所述铰链连接件4的下端与所述连接板122通过穿设于所述定位孔的一对第二螺栓与第二螺母42实现可拆卸式连接。示例性的，在本实施例中，所述铰链连接件4的材质为碳素钢，以保证其拥有足够的刚度去承受足够的重量。
35.具体的，在本实施例中，继续参考图1所示，所述按压杆2与所述连接板122的连接位置称之为杠杆支点，且以所述按压杆2的杠杆支点形成的杠杆比例至少为8:1，所述杠杆支点的长端一侧为动力臂，所述杠杆支点的短端一侧为阻力臂，所述动力臂的自由端用于施力，所述阻力臂的自由端用于获力。进一步的，所述按压杆2包含的所述u型卡扣22与所述连杆21一体成型。更进一步的，所述按压杆2的u型卡扣22与所述前爪3的长杆32的上端通过一对第三螺栓与第三螺母33可拆卸式连接。具体的，在本实施例中，所述杠杆支点距离所述u型卡扣22与所述前3的长杆32的上端连接处为阻力臂，用于通过杠杆原理获得力。示例性的，在本实施例中，所述按压杆2的总长度为800mm，宽为20mm，高为20mm，具体的，所述按压杆2的杠杆比例为8:1，且所述按压杆2的材质为不锈钢。
36.进一步的，在本实施例中，继续参考图1，所述前爪3的顶板31为形状为扇形的板状结构，所述顶板31和与其垂直连接的所述长杆32一体成型。示例性的，在本实施例中，所述前爪3的形状为扇形的板状结构的顶板31的弧长半径为75mm，所述长杆32的横截面的形状与所述不规则工件台12的顶面的一端上开设的插孔121形状相同，都为正方形，且尺寸相同，以便于所述长杆32能够在所述插孔121内进行垂直方向上的运动。示例性的，所述一体成型的前爪3的材质为不锈钢加塑胶，以避免划伤所拆卸的石英窗。进一步的，所述前爪3的负重范围为≥50kg，即，具体可以为50kg、60kg、65kg、70kg等。
37.更进一步的，所述前爪3的长杆32的下端还设置有一限位栓321，以通过所述限位栓321限制所述前爪3的长杆32在所述基座1的插孔121内做垂直方向上的运动时脱离所述基座1的所述插孔121。示例性的，在本实施例中，所述前爪3的长杆32的上端与所述按压杆2的u型卡扣22连接处距离所述前爪3的长杆32的下端设有的限位栓321处的距离为100mm，即，所述前爪3的长杆32在所述基座1包含的所述不规则工件台12的顶面上的所述的插孔121内做垂直方向上的运动时的垂直移动高度范围为0～100mm，即，具体可以为0mm、1mm、2mm、1.5mm、3mm、5mm、10mm、11mm、11.5mm、15mm、20mm、30mm、40mm、45mm、50mm、60mm、70mm、80mm、90mm、100mm等。
38.具体的，在本实施例中，通过将所述拆卸辅助工具放置在待操作机台上，先将所述前爪3的形状为扇形板状结构的顶板31平稳插入待拆卸的石英窗凹槽处，之后，一名操作人员扶好所述基座1，另一名操作人员慢慢压下作为动力臂的所述按压杆2的连杆21末端施加压力，并利用所述拆卸辅助工具的杠杆原理使与所述前爪3长杆32的上端相连的所述按压杆2的u型卡扣22作为阻力臂获得力带动与其相连的所述前爪3长杆32在所述基座1包含的所述不规则工件台12的顶面上的所述的插孔121内做垂直方向上的运动，直到被插入所述前爪3的石英窗破开与其通过真空吸附固定连接的承载板间的真空，最后，将已拆卸的石英窗轻轻放下，并慢慢移出所述前爪3，此时石英窗可以很轻松被拿起并放置好。通过利用本实施例设计的拆卸辅助工具拆卸经真空吸附固定连接在承载盘上的石英窗，可以明显提高
拆卸速度，并减少零部件的损坏概率和人员受伤概率，同时，通过杠杆原理还能大大降低人力的使用。
39.综上所述，本实用新型提供了一种拆卸辅助工具，其是基于经真空吸附固定连接在承载盘上的石英窗，设计了一款适用于辅助拆卸刻蚀机机台的反应腔腔体内的石英窗装置的拆卸辅助工具，将拆卸辅助工具前爪插进石英窗凹槽内，利用杠杆原理只需很少的力就可将经真空吸附牢牢固定在承载盘上的石英窗慢慢撬起，从而破开真空吸力，即，可轻松拆卸固定吸附在承载盘上的石英窗。同时该机构应用了连杆滑块机构保证前爪垂直向上运动，避免了前爪与石英窗发生相对滑动，导致石英窗磨损。因此，该拆卸石英窗的方法解决了现有技术中当石英窗制作完成后经人工徒手拆取石英窗使其脱离承载盘而造成的不仅作业效率低，还容易损坏石英窗与其他零部件，使装置的精密度和产品的合格率降低，严重时可能造成人员受伤，进而提高对操作员工的作业技能要求的问题，从而达到了既能将石英窗快速取出，又能保护人员和零件安全的效果。
40.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
41.本说明书中的各个实施例均采用相关的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于装置、电子设备以及计算机可读存储介质实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
42.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本实用新型的保护范围内。