一种硅片用电镀花篮的制作方法-j9九游会真人

文档序号:34952754发布日期:2023-07-29 11:51阅读:6来源:国知局


1.本实用新型属于电镀花篮领域,具体是一种硅片用电镀花篮。


背景技术:

2.电镀过程中,需要将待镀件与直流电源的阴极连接,具有用于涂覆的金属的阳极与直流电源的阳极连接,两者浸没在含有金属离子的电镀液中,当电源接通后,金属离子沉积在零件表面形成金属镀层;
3.对工件进行电镀时,需要用电镀花篮将工件放入电镀池,而在现有技术中,在对硅片及片状的工件进行电镀时,电镀花篮难以快速将硅片进行夹紧并通电,同时也难以控制相邻两个硅片之间的间距;
4.为此,本申请提供一种硅片用电镀花篮,以解决上述技术问题。


技术实现要素:

5.解决的技术问题:
6.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种硅片用电镀花篮,解决了背景技术中提到的问题。
7.技术方案:
8.为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:
9.一种硅片用电镀花篮,包括:
10.两个轴杆,所述轴杆的截面为除圆形形状以外的形状,以避免间隔套产生转动现象,确保弹片的位置固定不变;
11.若干个弹片和若干个间隔套,若干个所述弹片和若干个所述间隔套均套在轴杆的外部;
12.同一个所述轴杆上相邻两个弹片之间分布有一个间隔套;
13.两个轴杆相互靠近的两个弹片在竖直方向上存在间隙并伴有空间重叠,该相互靠近的两个弹片在沿轴杆长度方向观察时呈v字形。
14.在一种可能的实现方式中,所述轴杆的截面为d形。
15.在一种可能的实现方式中,所述弹片远离轴杆的一端设置有凸块。
16.在一种可能的实现方式中,所述轴杆的两端均设置有用于夹紧间隔套的夹紧部;
17.所述夹紧部包括固定孔、可沿轴杆移动的压环以及与压环连接的连接板,所述固定孔开设于轴杆的外壁,所述压环靠近间隔套,所述连接板靠近轴杆的端部,且连接板的内部位于固定孔的一侧开设有通孔。
18.在一种可能的实现方式中,所述通孔呈跑道型结构。
19.有益效果:
20.由于轴杆的截面为除圆形形状以外的形状,因此,弹片和间隔套套在轴杆上后,弹片不可在水平方向上转动,而仅能够沿轴杆移动,将两个轴杆靠近后,即可使两个靠近弹片
对需要电镀作业的硅片或其它工件进行夹紧,通过间隔套可控制两个相邻工件之间的间距。
附图说明
21.图1是实施例一中两个相邻轴杆相互靠近的两个弹片的主视图;
22.图2是实施例一中的结构示意图;
23.图3是实施例一中两个相邻轴杆相互靠近的两个弹片的俯视图;
24.图4是图2中的a部放大图;
25.图5是实施例二中的弹片结构示意图。
26.附图标记:1、轴杆;11、固定孔;2、间隔套;3、弹片;31、凸块;4、连接板;41、压环;42、通孔。
具体实施方式
27.本申请实施例通过提供一种硅片用电镀花篮,解决现有技术中的问题。
28.本申请实施例中的技术方案为解决上述问题,总体思路如下:
29.实施例1:
30.本实施例的具体结构,如图1和4所示,一种硅片用电镀花篮,包括:
31.两个轴杆1,轴杆1的截面为除圆形形状以外的形状,以避免间隔套2产生转动现象,确保弹片3的位置固定不变;
32.若干个弹片3和若干个间隔套2,若干个弹片3和若干个间隔套2均套在轴杆1的外部;
33.同一个轴杆1上相邻两个弹片3之间分布有一个间隔套2;
34.两个轴杆1相互靠近的两个弹片3在竖直方向上存在间隙并伴有空间重叠,该相互靠近的两个弹片3在沿轴杆1长度方向观察时呈v字形,以对工件进行夹紧。
35.在一些示例中,轴杆1的截面为d形。
36.在一些示例中,弹片3远离轴杆1的一端设置有凸块31,以在夹紧工件的同时,降低与工件的接触面积,弹片3、凸块31和轴杆1均可为夹紧的硅片以进行导电。
37.在一些示例中,轴杆1的两端均设置有用于夹紧间隔套2的夹紧部;
38.夹紧部包括固定孔11、可沿轴杆1移动的压环41以及与压环41连接的连接板4,固定孔11开设于轴杆1的外壁,压环41靠近间隔套2,连接板4靠近轴杆1的端部,且连接板4的内部位于固定孔11的一侧开设有通孔42。
39.在一些示例中,通孔42呈跑道型结构,以便连接板4在调节位置后,仍能够与轴杆1相固定。
40.通过采用上述技术方案:
41.使用时,由于轴杆1的截面为除圆形形状以外的形状,因此,弹片3和间隔套1套在轴杆1上后,弹片3不可在水平方向上转动,而仅能够沿轴杆1移动,将两个轴杆1靠近后,即可使两个靠近弹片3对需要电镀作业的硅片或其它工件进行夹紧,通过间隔套2控制两个相邻工件之间的间距;
42.间隔套2和弹片3安装完毕后,将轴杆1两端的压环41进行相向移动,使轴杆1上所
有的间隔套2和弹片3压紧,之后将螺栓穿过通孔42与固定孔11连接,即可将连接板4与轴杆1进行固定,从而提高工件加工时的稳定性。
43.实施例2:
44.本实施例的具体结构,如图5所示,弹片3为l形结构,弹片3直接通过螺栓固定在轴杆1上,两个轴杆1相互靠近的两个弹片3在竖直方向上存在间隙并伴有空间重叠,该相互靠近的两个弹片3在沿轴杆1长度方向观察时呈v字形,以对工件进行夹紧。
45.通过采用上述技术方案:通过螺栓将l形结构的弹片3直接固定在轴杆1上,可在对弹片3进行固定的同时,也能够控制相邻两个工件之间的间隙。
46.最后应说明的是:显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。


技术特征:
1.一种硅片用电镀花篮,其特征在于,包括:两个轴杆(1),所述轴杆(1)的截面为除圆形形状以外的形状;若干个弹片(3)和若干个间隔套(2),若干个所述弹片(3)和若干个所述间隔套(2)均套在轴杆(1)的外部;同一个所述轴杆(1)上相邻两个弹片(3)之间分布有一个间隔套(2);两个轴杆(1)相互靠近的两个弹片(3)在竖直方向上存在间隙并伴有空间重叠,该相互靠近的两个弹片(3)在沿轴杆(1)长度方向观察时呈v字形。2.如权利要求1所述的一种硅片用电镀花篮,其特征在于:所述轴杆(1)的截面为d形。3.如权利要求2所述的一种硅片用电镀花篮,其特征在于:所述弹片(3)远离轴杆(1)的一端设置有凸块(31)。4.如权利要求1所述的一种硅片用电镀花篮,其特征在于:所述轴杆(1)的两端均设置有用于夹紧间隔套(2)的夹紧部;所述夹紧部包括固定孔(11)、可沿轴杆(1)移动的压环(41)以及与压环(41)连接的连接板(4),所述固定孔(11)开设于轴杆(1)的外壁,所述压环(41)靠近间隔套(2),所述连接板(4)靠近轴杆(1)的端部,且连接板(4)的内部位于固定孔(11)的一侧开设有通孔(42)。5.如权利要求4所述的一种硅片用电镀花篮,其特征在于:所述通孔(42)呈跑道型结构。

技术总结
本申请公开了一种硅片用电镀花篮,涉及电镀花篮领域,包括:两个轴杆,所述轴杆的截面为除圆形形状以外的形状;若干个弹片和若干个间隔套,若干个所述弹片和若干个所述间隔套均套在轴杆的外部;同一个所述轴杆上相邻两个弹片之间分布有一个间隔套;两个轴杆相互靠近的两个弹片在竖直方向上存在间隙并伴有空间重叠,该相互靠近的两个弹片在沿轴杆长度方向观察时呈v字形,由于轴杆的截面为除圆形形状以外的形状,因此,弹片和间隔套套在轴杆上后,弹片不可在水平方向上转动,进而可使两个靠近弹片对需要电镀作业的硅片或其它工件进行夹紧,通过间隔套可控制两个相邻工件之间的间距。过间隔套可控制两个相邻工件之间的间距。过间隔套可控制两个相邻工件之间的间距。


技术研发人员:邵玉林 陶俊 张三洋
受保护的技术使用者:无锡琨圣智能装备股份有限公司
技术研发日:2022.11.29
技术公布日:2023/7/28
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