一种清洗设备的制作方法-j9九游会真人

文档序号:35885741发布日期:2023-10-28 17:37阅读:6来源:国知局
一种清洗设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造技术领域,具体为一种清洗设备。


背景技术:

2.半导体在电子产品上有着广泛应用,例如计算机、移动电话或数字录音机中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。在半导体的制造过程中,表面会残留有油污,因此需要对半导体进行清洗。目前清洗主要采用浸渍清洗,污渍溶解在清洗液中会造成清洗质量下降,清洗过后半导体表面仍会有液体残留,影响清洗效果。
3.中国专利公开了专利号为cn202122389650.8的"一种半导体制造用清洗设备",该方案中记载了"一种半导体制造用清洗设备,属于半导体制造技术领域,包括设备主体和清洁水箱,所述清洁水箱位于设备主体上方,所述设备主体的内通过隔板分隔成清洗室和烘干室,所述清洗室和烘干室之间的侧壁上对称安装有滑轨,所述滑轨位于隔板下方,所述滑轨上活动连接有清洗箱,所述清洗箱的一侧通过伸缩装置与烘干室的侧壁相连接;所述清洗室的入水口下方安装有固定管,所述固定管上安装有加压泵,所述固定管的底端与喷头相连接,所述清洗室的入水口与清洁水箱的出水口相通,所述清洁水箱内安装有搅拌装置,所述烘干室顶部安装有烘干机。",该设备在对半导体清洗之后直接烘干,避免液体残留在半导体表面,但是仍然存在一定的问题,在对放在清洗箱中的半导体进行清洗时,只是通过喷头喷出的清洁剂对半导体进行简单的冲洗,而没有对清洗过程中的半导体进行搅动,容易出现半导体与清洁剂接触不充分的情况,从而影响清洗效果。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种清洗设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
6.一种清洗设备,包括设备主体,所述设备主体的外部固定连接有电机,所述设备主体的内部转动连接有往复丝杆,所述往复丝杆的外部螺纹连接有滑块,所述滑块的顶部固定连接有清洗箱,所述清洗箱的内部转动连接有套管,所述套管的外部固定连接有搅拌杆,所述套管的内部滑动连接有转轴,所述转轴的一端与设备主体转动连接,所述转轴的另一端与电机的输出端固定连接,所述转轴的外部转动连接有第一齿轮,所述往复丝杆的外部固定连接有第二齿轮,所述第二齿轮与第一齿轮啮合连接,所述转轴的内部转动连接有棘爪,所述棘爪与转轴之间固定连接有弹簧,所述第一齿轮的内部开设有与棘爪配合使用的棘轮槽。
7.优选的,所述设备主体的内部固定连接有隔板,所述隔板与设备主体之间固定连接有喷头,所述喷头的顶部固定连接有加压泵,所述设备主体的顶部固定连接有清洁水箱,所述加压泵的进水口通过管路与清洁水箱连通,所述加压泵的出水口通过管路与喷头连通。
8.优选的,所述设备主体的内部固定连接有烘干机。
9.优选的,所述设备主体的外部固定连接有控制面板,所述电机、加压泵、烘干机均与控制面板电性连接。
10.优选的,所述转轴的横截面为方形结构。
11.本实用新型所达到的有益效果是:通过设置的设备主体、电机、往复丝杆、滑块、清洗箱、套管、搅拌杆、转轴、第一齿轮、第二齿轮、棘爪、弹簧、棘轮槽,能够在弹簧的作用下使得棘爪与棘轮槽卡合,当电机带动转轴正向转动时,转轴会通过套管带动搅拌杆对清洗箱中的半导体进行搅拌,配合清洗剂的冲洗提升清洗效果,使得半导体与清洗剂接触更加充分,当电机带动转轴反向转动,转轴会通过第一齿轮和第二齿轮带动往复丝杆转动,通过滑块带动清洗箱移动,达到对清洗箱的位置进行调整的目的。
附图说明
12.附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
13.图1是本实用新型的结构示意图;
14.图2是本实用新型的剖面示意图;
15.图3是本实用新型的转轴的剖面示意图。
16.图中:1、设备主体;2、电机;3、往复丝杆;4、滑块;5、清洗箱;6、套管;7、搅拌杆;8、转轴;9、第一齿轮;10、第二齿轮;11、棘爪;12、弹簧;13、棘轮槽;14、隔板;15、喷头;16、加压泵;17、清洁水箱;18、烘干机;19、控制面板。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1至图3,本实用新型提供一种技术方案:
19.一种清洗设备,包括设备主体1,设备主体1的外部固定连接有电机2,设备主体1的内部转动连接有往复丝杆3,往复丝杆3的外部螺纹连接有滑块4,滑块4的顶部固定连接有清洗箱5,清洗箱5的内部转动连接有套管6,套管6的外部固定连接有搅拌杆7,转轴8转动时通过套管6带动搅拌杆7对清洗箱5中的半导体进行搅动,确保半导体能够更好的与清洗剂接触,提升清洗效果;套管6的内部滑动连接有转轴8,转轴8的一端与设备主体1转动连接,转轴8的另一端与电机2的输出端固定连接,转轴8的外部转动连接有第一齿轮9,往复丝杆3的外部固定连接有第二齿轮10,第二齿轮10与第一齿轮9啮合连接,转轴8的内部转动连接有棘爪11,棘爪11与转轴8之间固定连接有弹簧12,第一齿轮9的内部开设有与棘爪11配合使用的棘轮槽13,弹簧12带动棘爪11始终与棘轮槽13卡合,但是只有当转轴8反向转动时才会带动转轴8外部的第一齿轮9转动,从而配合第二齿轮10带动往复丝杆3转动。
20.设备主体1的内部固定连接有隔板14,隔板14与设备主体1之间固定连接有喷头15,喷头15的顶部固定连接有加压泵16,设备主体1的顶部固定连接有清洁水箱17,加压泵16的进水口通过管路与清洁水箱17连通,加压泵16的出水口通过管路与喷头15连通,加压
泵16将清洁水箱17中的清洗剂抽出并通过喷头15喷至清洗箱5,对半导体进行清洗;设备主体1的内部固定连接有烘干机18,用于对清洗后的半导体进行烘干;设备主体1的外部固定连接有控制面板19,电机2、加压泵16、烘干机18均与控制面板19电性连接,装置中的用电设备均由外接电源进行供电;转轴8的横截面为方形结构,方形结构使得转轴8能够带动套管6转动,从而带动搅拌杆7转动,同时转轴8配合套管6起到对清洗箱5进行限位的作用,使得往复丝杆3转动时可以通过滑块4带动清洗箱5移动。
21.具体的,使用本实用新型时,首先通过控制面板19启动加压泵16把清洁水箱17中的清洁剂抽出,并通过喷头15喷至清洗箱5,对清洗箱5中的半导体进行冲洗,同时启动电机2带动转轴8正向转动,此时转轴8只会独自转动,通过套管6带动搅拌杆7对清洗箱5中的半导体进行搅拌,提升搅拌效果,清洗结束后,控制电机2反向转动,此时在棘爪11和棘轮槽13的作用下转轴8会带动第一齿轮9转动,从而通过第二齿轮10带动往复丝杆3转动,使得往复丝杆3通过滑块4带动清洗箱5移动到烘干机18的下方,启动烘干机18对清洗后的半导体进行烘干即可。
22.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.此外,术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量,由此,限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
24.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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