1.本发明涉及制冷设备技术领域，具体为一种节能的宽温段双机复叠低温机组蒸发器模组装置。
背景技术：
2.晶圆制程生产时，需要建立一个稳定的低温环境温度，本模组装置作为设备制冷的关键部件，可以为晶圆的生产提供一个稳定的冷源，使其处于一个稳定的环境温度中；目前可以提供冷源的设备中同等作用的部件为二级的单蒸发器组件。
3.现有的双机复叠低温机组应用于高低温领域的宽幅度的温度范围时，由于两级制冷系统的复叠特性，一级制冷系统需要给二级制冷系统制冷剂提供冷却用冷源，所以不管是设定温度是高温还是低温，只要系统需要冷源，一二级的压缩机都需要开启，否则系统无法正常运行，由于二级低温制冷剂的物理性质限制，介质温度在-40℃以上时制冷量无法再有提高，消耗了更多的电能，而结果是一样的；本蒸发器模组装置应用于双机复叠(一级制冷系统用于给二级制冷系统提供冷源)机组，由高温级蒸发器和低温级蒸发器两部分组成，可以使设定温度较高时(＞-40℃)只开启一级制冷系统，使用一级制冷系统给设备降温，而不需要将二级制冷系统投入使用，提高了制冷系统的能效比，同时降低了二级压缩机的使用时长，增加了机组的使用寿命，而运行低温时投入二级蒸发器，此时和现有的系统运行一样。
技术实现要素：
4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本发明提供了一种节能的宽温段双机复叠低温机组蒸发器模组装置，以解决上述背景技术中提出的双机复叠低温机组应用于高低温领域的宽幅度的温度范围时，由于两级制冷系统的复叠特性，一级制冷系统需要给二级制冷系统制冷剂提供冷却用冷源，所以不管是设定温度是高温还是低温，只要系统需要冷源，一二级的压缩机都需要开启，否则系统无法正常运行，由于二级低温制冷剂的物理性质限制，介质温度在-40℃以上时制冷量无法再有提高，消耗了更多的电能，而结果是一样的；本蒸发器模组装置应用于双机复叠(一级制冷系统用于给二级制冷系统提供冷源)机组，由高温级蒸发器和低温级蒸发器两部分组成，可以使设定温度较高时(＞-40℃)只开启一级制冷系统，使用一级制冷系统给设备降温，而不需要将二级制冷系统投入使用，提高了制冷系统的能效比，同时降低了二级压缩机的使用时长，增加了机组的使用寿命，而运行低温时投入二级蒸发器，此时和现有的系统运行一样的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种节能的宽温段双机复叠低温机组蒸发器模组装置，包括高温电子膨胀阀，所述高温电子膨胀阀的上端设置有高温蒸发器，所述高温电子膨胀阀的右端设置有阀门机构，所述高温蒸发器的右端设置有换热机构；
8.所述换热机构包括低温一二级中间换热器、低温二级蒸发器。
9.优选的，所述高温蒸发器与低温一二级中间换热器之间通过管道相互连接，所述低温一二级中间换热器与低温二级蒸发器之间通过管道相互连接，所述低温一二级中间换热器与高温蒸发器之间的管道上设置有高温电子膨胀阀。
10.通过上述技术方案，可以使系统在高温度段时只开启一级制冷系统，使用一级的中温制冷剂，高温蒸发器和高温电子膨胀阀可以提高高温度段时的制冷量，降低电能的消耗。
11.优选的，所述阀门机构包括低温一级电子膨胀阀、低温二级电子膨胀阀、输入管，所述低温一二级中间换热器和低温二级蒸发器之间的管道上设置有低温一级电子膨胀阀和低温二级电子膨胀阀。
12.通过上述技术方案，通过低温一级电子膨胀阀和低温二级电子膨胀阀来控制制冷剂在低温一二级中间换热器和低温二级蒸发器之间流动。
13.优选的，所述低温二级电子膨胀阀与低温一级电子膨胀阀通过管道相互连接，所述低温一级电子膨胀阀与高温电子膨胀阀之间通过管道相互连接。
14.通过上述技术方案，通过多个电子膨胀阀可以控制不同的流向，从而实现不同的制冷效果。
15.优选的，所述低温一二级中间换热器和低温二级蒸发器之间的管道上设置有输入管。
16.通过上述技术方案，利用低温一二级中间换热器和低温二级蒸发器当介质温度降低到中温制冷剂降温速率降低时，二级制冷系统开启，一级制冷系统切入到中间换热器管路，给二级制冷剂冷凝，二级制冷系统给介质降温，根据介质温度合理利用一二级制冷剂物理性质，达到节能减排和提高产能的目的。
17.优选的，所述高温电子膨胀阀与高温蒸发器通过管道相互连接，所述高温蒸发器的后端固定连接有循环输出管。
18.通过上述技术方案，循环输出管用来将制冷机输出进高温蒸发器，通过输入管将降温过后的制冷剂进行排出至外部循环设备。
19.与现有技术相比，本发明提供了一种节能的宽温段双机复叠低温机组蒸发器模组装置，具备以下有益效果：
20.1、该节能的宽温段双机复叠低温机组蒸发器模组装置，增加了高温电子膨胀阀和高温蒸发器，可以使系统在高温度段时只开启一级制冷系统，使用一级的中温制冷剂，可以提高高温度段时的制冷量，降低电能的消耗，增加降温速率，使介质更快的到达设定温度。
21.2、该节能的宽温段双机复叠低温机组蒸发器模组装置，当介质温度降低到中温制冷剂降温速率降低时，二级制冷系统开启，一级制冷系统切入到中间换热器管路，给二级制冷剂冷凝，二级制冷系统给介质降温，根据介质温度合理利用一二级制冷剂物理性质，达到节能减排和提高产能的目的。
附图说明
22.图1为本发明的立体结构示意图；
23.图2为本发明的正视结构示意图；
24.图3为本发明的上视结构示意图；
25.图4为本发明的侧视结构示意图。
26.图中：1、高温电子膨胀阀；2、高温蒸发器；3、阀门机构；4、换热机构；201、循环输出管；301、低温一级电子膨胀阀；302、低温二级电子膨胀阀；303、输入管；401、低温一二级中间换热器；402、低温二级蒸发器。
具体实施方式
27.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
28.实施例一：
29.如图1-3所示，本发明提供一种技术方案：一种节能的宽温段双机复叠低温机组蒸发器模组装置，包括高温电子膨胀阀1，高温电子膨胀阀1的上端设置有高温蒸发器2，高温电子膨胀阀1的右端设置有阀门机构3，高温蒸发器2的右端设置有换热机构4；
30.换热机构4包括低温一二级中间换热器401、低温二级蒸发器402。
31.具体的，高温蒸发器2与低温一二级中间换热器401之间通过管道相互连接，低温一二级中间换热器401与低温二级蒸发器402之间通过管道相互连接，低温一二级中间换热器401与高温蒸发器2之间的管道上设置有高温电子膨胀阀1。优点是，可以使系统在高温度段时只开启一级制冷系统，使用一级的中温制冷剂，高温蒸发器2和高温电子膨胀阀1可以提高高温度段时的制冷量，降低电能的消耗。
32.具体的，阀门机构3包括低温一级电子膨胀阀301、低温二级电子膨胀阀302、输入管303，低温一二级中间换热器401和低温二级蒸发器402之间的管道上设置有低温一级电子膨胀阀301和低温二级电子膨胀阀302。优点是，通过低温一级电子膨胀阀301和低温二级电子膨胀阀302来控制制冷剂在低温一二级中间换热器401和低温二级蒸发器402之间流动。
33.具体的，低温二级电子膨胀阀302与低温一级电子膨胀阀301通过管道相互连接，低温一级电子膨胀阀301与高温电子膨胀阀1之间通过管道相互连接。优点是，通过多个电子膨胀阀可以控制不同的流向，从而实现不同的制冷效果。
34.具体的，低温一二级中间换热器401和低温二级蒸发器402之间的管道上设置有输入管303。优点是，利用低温一二级中间换热器401和低温二级蒸发器402当介质温度降低到中温制冷剂降温速率降低时，二级制冷系统开启，一级制冷系统切入到中间换热器管路，给二级制冷剂冷凝，二级制冷系统给介质降温，根据介质温度合理利用一二级制冷剂物理性质，达到节能减排和提高产能的目的。
35.具体的，高温电子膨胀阀1与高温蒸发器2通过管道相互连接，高温蒸发器2的后端固定连接有循环输出管201。优点是，循环输出管201用来将制冷机输出进高温蒸发器2，通过输入管303将降温过后的制冷剂进行排出至外部循环设备。
36.在使用时，将从一级冷凝器过来的制冷剂通过循环输出管201进入高温电子膨胀阀1，进入高温蒸发器2，制冷剂出高温蒸发器2进入一级制冷系统的回气管完成高温制冷剂
在蒸发器的循环，此时低温一级电子膨胀阀301，低温一二级中间换热器401，低温二级电子膨胀阀302和低温二级蒸发器402均未投入使用；当介质温度在设定温度分界点以下，从一级冷凝器过来的制冷剂进入低温一级电子膨胀阀301，经低温一二级中间换热器401一级制冷剂蒸发器后进入一级制冷系统的输入管303完成一级制冷系统的蒸发器侧的运行，二级制冷系统的气态制冷剂进入低温一二级中间换热器401的二级制冷剂侧进行制冷剂的放热冷凝液化，液化后的二级低温制冷剂经低温二级电子膨胀阀302后进入低温二级蒸发器402后进入二级制冷剂回气管，完成二级制冷剂在蒸发器段的运行。
37.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。