1.本发明涉及一种搬运半导体晶片等搬运对象物的产业用机器人。
背景技术：
2.以往，已知有在清洁室的内部等清洁的环境下搬运半导体晶片等的搬运机器人(基板搬运装置)(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的搬运机器人具备支承手和臂的臂支承部件和支承臂支承部件的支柱。臂支承部件能够沿着支柱升降。在支柱的内部配置有使臂支承部件升降的直线引导机构。在支柱的侧面形成有开口部，所述开口部用于连结配置在支柱的外部的臂支承部件和配置在支柱的内部的直线引导机构。
3.在专利文献1所记载的搬运机器人中，支柱的侧面的开口部形成在臂支承部件升降的范围内。在所述搬运机器人中，为了防止在支柱的内部从直线引导机构等产生的尘埃从支柱的开口部向支柱的外部流出，支柱的开口部被密封带覆盖。密封带布置在支柱的内部。在支柱的内部设置有用于引导密封带的辊(滑轮)。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本专利特开2008－28078号公报
技术实现要素：
7.发明所要解决的技术问题
8.专利文献1所记载的搬运机器人具备封闭支柱的开口部的密封带，因此，在所述搬运机器人中，如上所述，能够防止在支柱的内部产生的尘埃从支柱的开口部向支柱的外部流出。另一方面，在所述搬运机器人中，为了防止在支柱的内部产生的尘埃从支柱的开口部向支柱的外部流出，需要密封带及辊，因此搬运机器人的部件数量增加，搬运机器人的成本变高。
9.因此，本发明的课题在于提供一种产业用机器人，其具备使臂支承部件升降的升降机构和在内部配置升降机构的壳体，在壳体的侧面形成有用于连结配置在壳体的外部的臂支承部件和升降机构的开口部，即便能够防止在壳体的内部产生的尘埃从开口部向壳体的外部流出，也能够降低成本。
10.解决技术问题所采用的技术方案
11.为了解决上述课题，本发明的产业用机器人包括：臂；支承臂的臂支承部件；以及将臂支承部件以能够升降的方式保持的主体部，其中，主体部包括：升降机构，用于使臂支承部件升降；和壳体，所述升降机构配置在所述壳体的内部。臂支承部件配置在壳体的外部。在壳体的侧面形成有开口部，所述开口部用于连结配置在壳体的外部的臂支承部件和配置在壳体的内部的升降机构。在臂支承部件、或与臂支承部件一起升降并且配置在壳体的内部的升降部件上，固定有用于封闭开口部的平板状的罩部件。
12.在本发明的产业用机器人中，在臂支承部件、或与臂支承部件一起升降并且配置
在壳体的内部的升降部件上，固定有用于封闭形成在壳体的侧面的开口部的平板状的罩部件。因此，在本发明中，能够使用廉价的平板状的罩部件封塞壳体的侧面的开口部，来防止在壳体的内部产生的尘埃从开口部向壳体的外部流出。因此，在本发明中，即便能够防止在壳体的内部产生的尘埃从开口部向壳体的外部流出，也能够降低产业用机器人的成本。
13.在本发明中，优选的是，罩部件固定于臂支承部件，并配置在壳体的外部。若这样构成，则不需要在壳体的内部设置罩部件的设置空间。因此，能够提高配置在壳体内部的各种部件的配置自由度，并且能够使壳体小型化。
14.在本发明中，优选的是，在臂支承部件上，作为罩部件，固定有用于封闭开口部的上侧部分的第一罩部件和用于封闭开口部的下侧部分的第二罩部件。在臂支承部件相对于壳体移动到上限位置时，第一罩部件的上端配置在比主体部的上端靠下侧的位置。在臂支承部件相对于壳体移动到下限位置时，第二罩部件的下端配置在比主体部的下端靠上侧的位置。若这样构成，则即使与臂支承部件一起升降的第一罩部件及第二罩部件固定于臂支承部件，也能够防止产业用机器人在上下方向大型化。
15.发明效果
16.如上所述，在本发明中，在具备使臂支承部件升降的升降机构和在内部配置升降机构的壳体，并在壳体的侧面形成有用于连结配置在壳体的外部的臂支承部件和升降机构的开口部的产业用机器人中，即便能够防止在壳体的内部产生的尘埃从开口部向壳体的外部流出，也能够降低产业用机器人的成本。
附图说明
17.[图1]是本发明的实施方式的产业用机器人的立体图。
[0018]
[图2]是图1所示的产业用机器人的主视图。
[0019]
[图3]是从图2所示的产业用机器人卸下罩部件的状态的主视图。
[0020]
[图4]是用于说明图1所示的臂支承部件与连结部件的连结部分的结构的示意图。
具体实施方式
[0021]
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0022]
(产业用机器人的结构)
[0023]
图1是本发明的实施方式的产业用机器人1的立体图。图2是图1所示的产业用机器人1的主视图。图3是从图2所示的产业用机器人1卸下罩部件14、15的状态的主视图。图4是用于说明图1所示的臂支承部件4与连结部件11之间的连结部分的结构的示意图。
[0024]
本方式的产业用机器人1(以下称为"机器人1")是用于搬运半导体晶片等搬运对象物的水平多关节型的机器人。机器人1在清洁室的内部等清洁的环境下搬运搬运对象物。机器人1具备臂3、支承臂的臂支承部件4、以及将臂支承部件4以能够升降的方式保持的主体部5。在以下的说明中，将与上下方向正交的图1等的x方向作为"前后方向"，将与上下方向和前后方向正交的图1等的y方向作为"左右方向"。另外，将作为前后方向的一侧的图1等的x1方向侧作为"前"侧，将作为其相反方向的图1等的x2方向侧作为"后"侧。
[0025]
臂3由第一臂部7和第二臂部8构成，所述第一臂部7的基端侧以能够转动的方式与臂支承部件4连结，所述第二臂部8的基端侧以能够转动的方式与第一臂部7的前端侧连结。
即，臂3由两个臂部构成。第一臂部7的基端侧以能够转动的方式连结于臂支承部件4的前端侧。搭载搬运对象物的手以能够转动的方式连结于第二臂部8的前端侧(省略图示)。另外，臂3也可以由三个以上的臂部构成。
[0026]
主体部5具备：升降机构9，其用于使臂支承部件4升降；壳体10，所述升降机构9配置在所述壳体10的内部(即，收纳升降机构9)；以及连结部件11，其连结臂支承部件4和升降机构9(参照图4)。臂支承部件4配置在壳体10的外部。另外，臂支承部件4配置在壳体10的前侧。即，臂支承部件4配置在主体部5的前侧。臂支承部件4的左右方向的两端部成为固定于连结部件11的被固定部4a。另外，在本方式中，臂支承部件4的升降量比较小。例如，臂支承部件4的升降量为40mm左右。
[0027]
壳体10具备构成壳体10的前侧面的前面部10a。前面部10a形成为薄的平板状，前面部10a的厚度方向与前后方向一致。在前面部10a上形成有开口部10b，所述开口部10b用于连结配置在壳体10的外部的臂支承部件4和配置在壳体10的内部的升降机构9。即，在壳体10的侧面(前侧面)形成有开口部10b。开口部10b形成在前面部10a的左右方向的两端部。即，在前面部10a上形成有两个开口部10b。开口部10b在前后方向上贯通前面部10a。另外，开口部10b形成为在上下方向上细长的长方形状。
[0028]
连结部件11具备固定臂支承部件4的固定部11a和配置在壳体10的内部的升降部11b。固定部11a与升降部11b连接，与升降部11b成为一体。固定部11a从升降部11b的左右方向的两端部向前侧突出。另外，固定部11a以在前后方向上通过开口部10b的方式配置于开口部10b。固定部11a的前端配置在比前面部10a的前表面靠前侧的位置。在固定部11a的前端固定有臂支承部件4的被固定部4a的后表面。连结部件11与臂支承部件4一起升降。本方式的升降部11b是与臂支承部件4一起升降并且配置在壳体10的内部的升降部件。
[0029]
如上所述，开口部10b形成为在上下方向上细长的长方形状。开口部10b形成在上下方向上的固定部11a的可动范围的大致整个区域，以使臂支承部件4能够向上下方向移动。开口部10b的上端配置于比臂支承部件4配置于规定的基准位置时的被固定部4a的上端及固定部11a的上端靠上侧的位置。开口部10b的下端配置在比臂支承部件4配置在基准位置时的被固定部4a的下端及固定部11a的下端靠下侧的位置。
[0030]
另外，臂支承部件4的被固定部4a的一部分也可以以在前后方向上穿过开口部10b的方式配置于开口部10b。在所述情况下，所述被固定部4a的一部分的后端配置于比前面部10a的后表面靠后侧的位置，所述被固定部4a的一部分的后端固定于升降部11b的前表面。另外，在所述情况下，连结部件11不具备固定部11a。另外，在所述情况下，开口部10b形成在配置于开口部10b的被固定部4a的一部分的上下方向上的可动范围的大致整个区域，以使臂支承部件4能够向上下方向移动。在本说明书中，即使在这种情况下，臂支承部件4也配置在壳体10的外部。
[0031]
升降机构9具备使臂支承部件4升降的驱动机构和在上下方向上引导臂支承部件4的引导机构。驱动机构例如具备滚珠丝杠和使滚珠丝杠的丝杠轴旋转的电动机。滚珠丝杠的丝杠轴以上下方向为轴向配置，并且以可转动的方式保持在壳体10上。引导机构例如具备以上下方向为轴向配置的引导轴和与引导轴卡合的引导衬套。引导轴固定于壳体10。
[0032]
滚珠丝杠的螺母部件和导套固定于升降部11b。另外，驱动机构也可以具备一部分固定于升降部11b的带、架设带的滑轮、使滑轮旋转的电动机。另外，引导机构也可以具备以
上下方向为长度方向配置的导轨、和固定于升降部11b并且与导轨卡合的引导块。
[0033]
在臂支承部件4上固定有用于封闭开口部10b的平板状的罩部件14、15。具体地说，在臂支承部件4上固定有用于封闭开口部10b的上侧部分的罩部件14和用于封闭开口部10b的下侧部分的罩部件15。罩部件14、15配置在壳体10的外部。本方式的罩部件14为第一罩部件，罩部件15为第二罩部件。
[0034]
罩部件14、15是形成为长方形状的金属板。即，罩部件14、15是长方形的板金。罩部件14、15以罩部件14、15的厚度方向与前后方向一致的方式固定在臂支承部件4上。另外，罩部件14、15通过螺钉固定在臂支承部件4上。罩部件14、15与臂支承部件4及连结部件11一起升降。
[0035]
罩部件14在臂支承部件4的左右方向的两侧固定于被固定部4a的上端部。罩部件14从被固定部4a的上端部向上侧延伸，罩部件14的上端配置在比被固定部4a的上端靠上侧的位置。罩部件14从前侧覆盖开口部10b的比被固定部4a及固定部11a靠上侧的部分，封闭开口部10b的比被固定部4a及固定部11a靠上侧的部分。在臂支承部件4相对于壳体10移动到上限位置时，罩部件14的上端配置在比主体部5的上端靠下侧的位置(参照图2的双点划线)。即，在从前后方向观察时，即使臂支承部件4相对于壳体10移动到上限位置，罩部件14也收纳在主体部5的外形的范围内。
[0036]
罩部件15在臂支承部件4的左右方向的两侧固定于被固定部4a的下端部。罩部件15从被固定部4a的下端部朝向下侧延伸，罩部件15的下端配置在比被固定部4a的下端靠下侧的位置。罩部件15从前侧覆盖开口部10b的比被固定部4a及固定部11a靠下侧的部分，封闭开口部10b的比被固定部4a及固定部11a靠下侧的部分。在臂支承部件4相对于壳体10移动到下限位置时，罩部件15的下端配置在主体部5的下端的上侧(参照图2的双点划线)。即，在从前后方向观察时，即使臂支承部件4相对于壳体10移动到下限位置，罩部件15也收纳在主体部5的外形的范围内。
[0037]
(本方式的主要效果)
[0038]
如以上说明的那样，在本方式中，用于封闭形成于壳体10的侧面的开口部10b的平板状的罩部件14、15固定于臂支承部件4。因此，在本方式中，使用廉价的平板状的罩部件14、15封闭壳体10的开口部10b，能够防止在壳体10的内部从升降机构9等产生的尘埃从开口部10b向壳体10的外部流出。因此，在本方式中，即便能够防止在壳体10的内部产生的尘埃从开口部10b向壳体10的外部流出，也能够降低机器人1的成本。
[0039]
在本方式中，罩部件14、15配置在壳体10的外部。因此，在本方式中，不需要在壳体10的内部设置罩部件14、15的设置空间。因此，在本方式中，能够提高配置在壳体10的内部的各种部件的配置的自由度，并且能够使壳体10小型化。
[0040]
在本实施方式中，在从前后方向观察时，即使臂支承部件4相对于壳体10移动到上限位置，罩部件14也收纳在主体部5的外形的范围内。另外，在本方式中，在从前后方向观察时，即使臂支承部件4相对于壳体10移动到下限位置，罩部件15也收纳在主体部5的外形的范围内。因此，在本方式中，即使与臂支承部件4一起升降的罩部件14、15被固定在臂支承部件4上，也能够防止机器人1在上下方向大型化。
[0041]
(其他实施方式)
[0042]
上述的方式是本发明的优选方式的一例，但并不限定于此，在不改变本发明的主
旨的范围内能够进行各种变形实施。
[0043]
在上述的方式中，罩部件14、15也可以固定于连结部件11的升降部11b，配置于壳体10的内部。另外，也可以将罩部件14及罩部件15中的任一方固定于臂支承部件4的被固定部4a，配置于壳体10的外部，并且将罩部件14及罩部件15中的另一方固定于升降部11b，配置于壳体10的内部。即使在这些情况下，也能够使用廉价的平板状的罩部件14、15封闭壳体10的开口部10b，防止在壳体10的内部从升降机构9等产生的尘埃从开口部10b向壳体10的外部流出。
[0044]
在上述方式中，在臂支承部件4相对于壳体10移动到上限位置时，罩部件14的上端也可以从主体部5的上端向上侧探出。另外，在上述方式中，当臂支承部件4相对于壳体10移动到下限位置时，罩部件15的下端也可以从主体部5的下端向下侧探出。
[0045]
在上述方式中，只要能利用罩部件14、15封闭开口部10b，则罩部件14、15也可以形成为长方形形状以外的四边形形状，也可以形成为四边形形状以外的多边形形状等。另外，罩部件14、15也可以由树脂等金属以外的材料形成。另外，应用本发明的结构的产业用机器人也可以是水平多关节型机器人以外的机器人。
[0046]
附图标记说明
[0047]1…
机器人(产业用机器人)
[0048]3…
臂
[0049]4…
臂支承部件
[0050]5…
主体部
[0051]9…
升降机构
[0052]
10
…
壳体
[0053]
10b
…
开口
[0054]
11b
…
升降部(升降部件)
[0055]
14
…
罩部件(第一罩部件)
[0056]
15
…
罩部件(第二罩部件)