1.本发明涉及胶带粘贴装置。
背景技术：
2.在半导体制造领域中，存在将硅晶圆等的半导体衬底(以下，称为“工件”)割断成晶片(chip)的工序，在该工序中，粘贴于工件上的切割胶带约束各个晶片的位置，由此能够高效地进行晶片的割断。
3.在专利文献1中记载了如下内容：通过粘贴用辊的加压力将扩展胶带e粘贴于吸附固定在工作台211上的晶圆w上。此外，附图标号是专利文献1的附图标号。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：jp特开2013—4584号公报
技术实现要素：
7.发明要解决的课题
8.然而，粘贴于工件和切割支架上的切割胶带在工件和切割支架的移动方向上伸展，在与移动方向相垂直的宽度方向上作用的张力往往变低。
9.但是，在作用于切割胶带上的移动方向及宽度方向的张力分别不适当的场合，存在扩展时无法确保晶片间的适当的间隔、晶片的位置检测变得困难的问题。
10.因此，为了将切割胶带以适当的张力粘贴于工件和切割支架上，产生了应解决的技术课题，本发明的目的在于解决该课题。
11.用于解决课题的技术方案
12.为了实现上述目的，本发明的切割胶带的胶带粘贴装置为将切割胶带沿着规定的粘贴方向粘贴于工件和切割支架上的胶带粘贴装置，其特征在于，该带粘贴装置包括：按压辊，该按压辊将上述切割胶带按压于上述工件和切割支架上；伸展机构，在俯视上述切割胶带的状态，该伸展机构使上述切割胶带至少朝向与上述粘贴方向相垂直的宽度方向伸展。
13.按照该结构，伸展机构通过使切割胶带朝向宽度方向伸展，能够对切割胶带赋予宽度方向的张力。
14.发明的效果
15.本发明能够在对切割胶带赋予了宽度方向的张力的状态下，将切割胶带粘贴于工件和切割支架上。
附图说明
16.图1为表示本发明第1实施方式的胶带粘贴装置的立体图；
17.图2为表示内周侧工作台、外周侧工作台及支承销的立体图；
18.图3为沿图2中的a—a线的剖视图；
19.图4为表示支承销的配置位置的示意图；
20.图5为从宽度方向观察图3的剖视图；
21.图6为表示粘贴切割胶带的顺序的立体图，图6的(a)表示粘贴开始时的状况，图6的(b)表示正在进行粘贴的状态，图6的(c)表示粘贴结束后的状况；
22.图7为表示支承销对切割胶带赋予张力的情况的示意图，图7的(a)表示按压辊在支承销上通过前的状态，图7的(b)表示按压辊在支承销上通过并向按压辊的下方摆动的状态，图7的(c)表示按压辊在支承销上通过后的状态；
23.图8为表示以围绕内周侧工作台的大致整周的方式配置的支承销的配置位置的示意图；
24.图9为从粘贴方向的前方侧观察本发明第2实施方式的胶带粘贴装置的主要部分的主要部分立体图；
25.图10为从粘贴方向的后方侧观察胶带粘贴装置的主要部分的局部剖切立体图；
26.图11为表示胶带粘贴装置的主要部分的纵向剖视图；
27.图12为表示支承辊在宽度方向上滑动的情况的示意图，图12的(a)表示粘贴开始时的支承辊的位置，图12的(b)表示正在进行粘贴时的支承辊的位置，图12的(c)表示粘贴结束时的支承辊的位置；
28.图13为从粘贴方向的前方侧观察本发明的变形例的胶带粘贴装置的主要部分的立体图；
29.图14为从粘贴方向的后方侧观察胶带粘贴装置的主要部分的局部剖切立体图；
30.图15为表示胶带粘贴装置的主要部分的纵向剖视图。
具体实施方式
31.基于附图而对本发明的第1实施方式进行说明。此外，以下，在提及构成要素的数量、数值、量、范围等的情况下，除了特别明示的情况以及原理上明显限定于特定的数量的情况之外，并不限定于该特定的数量，可以是特定的数量以上也可以是特定的数量以下。
32.另外，在提及构成要素等的形状、位置关系时，除了特别明示的情况以及原理上明显认为并非如此的情况等之外，包含实质上与该形状等近似或类似的情况等。
33.此外，为了使特征容易理解，附图有时省略一部分构成要素、或放大特征性的部分等进行夸大，构成要素的尺寸比率等不一定与实际相同。另外，在剖视图中，为了容易理解构成要素的剖面构造，有时省略一部分构成要素的剖面线。此外，在本实施方式中，表示上下、左右等方向的表述不是绝对的，在各构成要素为附图中描绘的姿势的情况下是适当的，但在其姿势变化的情况下，应根据姿势的变化进行变更来解释。
34.图1为表示胶带粘贴装置1的立体图。胶带粘贴装置1将切割胶带dt沿着粘贴方向d1粘贴于工件w和切割支架df上。工件w例如是硅晶圆等的半导体衬底，但并不限定于此。切割胶带dt是紫外线固化胶带等。
35.胶带粘贴装置1具有搬运部2和粘贴部3。
36.如图2所示的那样，搬运部2具有保持工件w的内周侧工作台21和载置切割支架df的外周侧工作台22。
37.在内周侧工作台21的表面埋设有由具有无数气孔的多孔质材料构成的吸附体23。
吸附体23的气孔的粗糙度例如为#400或#800等。
38.内周侧工作台21与在图中未示出的真空源以及压缩空气源切换自如地连接。当真空源起动时，向载置于内周侧工作台21上的工件w与吸附体23的上表面(吸附面21a)之间供给负压，将工件w吸附保持于吸附面21a上。另外，若压缩空气源起动，则向工件w与吸附面21a之间供给压缩空气(释放空气)，解除工件w与吸附面21a的吸附。
39.内周侧工作台21以及外周侧工作台22载置于在图中未示出的滑块上，按照可朝向搬运方向(粘贴方向d1的反向)滑动的方式构成。
40.如图1所示的那样，粘贴部3包括以可放出的方式支承切割胶带dt的运送辊31、对切割胶带dt施加放出力并进行卷取的卷取辊32、使张力作用于切割胶带dt并且限制切割胶带dt的轨道的第1引导辊33a～第6引导辊33f、以能够上下升降的方式将切割胶带dt粘贴于工件w上的按压辊34、以及对从切割胶带dt剥离的分离片s的轨道进行限制的刀板35。
41.如图2、图3所示的那样，胶带粘贴装置1包括作为伸展机构的多个支承销4。支承销4设置在内周侧工作台21与外周侧工作台22之间。
42.如图4所示的那样，支承销4以围绕内周侧工作台21的搬运方向的前方侧大致一半的方式配置。另外，支承销4在宽度方向d2上左右对称地配置。此外，在图4中，省略了支承销4的一部分。
43.另外，支承销4以俯视时从宽度方向d2的内侧朝向外侧向粘贴方向d1的前方侧倾斜的方式配置。这样的支承销4的倾斜以下述的方式设定，该方式为：越是配置于粘贴方向d1的前方侧的支承销4，越相对于粘贴方向d1平行地接近。
44.如图5所示的那样，支承销4具有从侧面观察形成为大致扇状的销主体41和从销主体41的基端侧向侧方突出设置的轴部42。
45.此外，销主体41的形状并不限定于大致扇状，也可以是任何形状。另外，优选销主体41的表面例如通过氟树脂进行涂覆或者实施滚花加工，以使切割胶带dt不会过度地粘接。
46.销主体41绕轴部42摆动自如地设置在环形台43上。销主体41在按压辊34的按压力未作用的无负荷状态下，至少一部分位于比切割支架df的上表面及工件w的上表面更靠垂直方向d3的上方的位置。另外，销主体41具有适度的挠性，以便如后述那样在按压辊34使按压力作用于前端侧时弹性变形。
47.胶带粘贴装置1的动作经由在图中未示出的控制器来控制。控制器分别控制构成胶带粘贴装置1的构成要素。控制器例如是计算机，由cpu、存储器等构成。另外，控制器的功能可以通过使用软件进行控制来实现，也可以通过使用硬件进行动作来实现。
48.接着，基于附图对胶带粘贴装置1的动作进行说明。
49.《工件搬运》
50.首先，切割支架df通过在图中未示出的搬送手等移载至外周侧工作台22上。
51.然后，利用在图中未示出的搬送手等将工件w移载至内周侧工作台21上。之后，当从压缩空气源向工件w与吸附面21a之间供给负压时，工件w吸附于内周侧工作台21上。工件w的上表面与切割支架df的上表面设定为大致共面。
52.《胶带粘贴》
53.接下来，驱动滑动件，以将切割支架df的一端(粘贴开始位置)配置于按压辊34的
下方的方式使内周侧工作台21以及外周侧工作台22移动。
54.接着，如图6的(a)所示的那样，卷绕辊32旋转而放出切割胶带dt，并且按压辊34将切割胶带dt按压于切割支架df上并以规定的按压力进行粘贴。此外，在图6中，为了空间的方便，省略了支承销4。
55.之后，如图6的(b)所示的那样，当内周侧工作台21以及外周侧工作台22沿着搬运方向移动时，切割胶带dt逐渐向切割支架df以及工件w贴近。
56.在粘贴切割胶带dt时，支承销4通过从宽度方向d2的内侧朝向外侧摆动来对切割胶带dt赋予张力。
57.具体而言，如图7的(a)、图7的(b)所示的那样，在无负荷状态下，销主体41的一部分位于比切割支架df和工件w更靠上方的位置。
58.然后，如图7的(c)、图7的(d)所示的那样，当按压辊34位于销主体41上时，销主体41因按压辊34的按压力而绕轴部42向下方摆动。关于通过按压辊34和销主体41夹持的切割胶带dt，随着销主体41的摆动，切割胶带dt从宽度方向d2的内侧朝向外侧伸展。
59.之后，如图7的(e)、图7的(f)所示的那样，在切割胶带dt进展的状态下，按压辊34将切割胶带dt粘贴于切割支架df上。由此，在切割胶带dt内的切割支架df与工件w之间赋予宽度方向d2的张力。
60.然后，如图6的(c)所示的那样，当切割胶带dt到达切割支架df的另一端(粘贴结束位置)时，工件w和切割支架df经由切割胶带dt粘贴为一体。
61.此外，支承销4的个数、设置位置并不限定于上述的情况，可根据想要使切割胶带dt局部地伸展而赋予宽度方向d2的张力的部位、张力的大小等适当变更。
62.例如，如图8所示的那样，支承销4也可以以围绕内周侧工作台21的大致整周的方式配置。图8所示的支承销4以俯视时从宽度方向d2的内侧朝向外侧向粘贴方向d1的前方侧倾斜的方式配置。支承销4的倾斜按照下述的方式设定，该方式为：越是配置于粘贴方向d1的前方侧的支承销4，越接近与粘贴方向d1平行。支承销4以围绕内周侧台21的大致整周的方式设置，由此可对切割胶带dt遍及大范围地赋予从宽度方向d2的内侧朝向外侧的张力。
63.像这样，本实施方式的胶带粘贴装置1是将切割胶带dt沿着粘贴方向d1粘贴于工件w和切割支架df上的胶带粘贴装置1，其包括将切割胶带dt按压于工件w和切割支架df上的按压辊34、以及在俯视观察切割胶带dt时使切割胶带dt在宽度方向d2上伸展的支承销4。
64.按照该结构，支承销4通过使切割胶带dt沿宽度方向d2伸展，能够对切割胶带dt赋予宽度方向d2的张力。
65.另外，胶带粘贴装置1还具有保持工件w的内周侧工作台21和载置切割支架df的外周侧工作台22，支承销4设于内周侧工作台21和外周侧工作台22之间，至少一部分位于比工件w和切割支架df更靠上方的位置，在承受按压辊34的按压力向下方摆动时，使夹在支承销4与按压辊34之间的切割胶带dt伸展。
66.按照该结构，在切割胶带dt粘贴于支承销4上之后，按压辊34压入支承销4，切割胶带dt随着支承销4的摆动沿宽度方向d2伸展，因此能够对切割胶带dt赋予宽度方向d2的张力。此外，在本实施方式中，关于对切割胶带dt赋予的张力，仅对宽度方向d2的分量进行了说明，但对切割胶带dt赋予的张力只要包含宽度方向d2的分量，则可以是任意的张力。
67.接着，基于附图对本发明的第2实施方式的胶带粘贴装置1进行说明。此外，如后所
述，本实施方式的胶带粘贴装置1与上述第1实施方式的胶带粘贴装置1相比，仅伸展机构的结构不同，因此对其他共通的结构标注相同的附图标号，并省略重复的说明。此外，在图9、图10中，为了空间的方便，省略切割胶带dt。
68.如图9、图10所示的那样，胶带粘贴装置1设置有作为伸展机构的左右一对支承辊5。支承辊5的表面优选例如用氟树脂进行涂覆或实施滚花加工，以使切割胶带dt不会过度粘接。
69.如图11所示的那样，支承辊5以切割胶带dt位于支承辊5与按压辊34之间的方式与按压辊34相对地分别设置。各支承辊5的旋转轴51分别通过轴承支承于支架52上，支承辊5随着按压辊34的旋转绕旋转轴51旋转。旋转轴51与宽度方向d2平行地配置。各支架52分别与能够通过在图中未示出的驱动马达旋转的滚珠丝杠53连接。支架52以根据滚珠丝杠53的旋转方向在宽度方向d2上移动的方式构成。
70.接着，基于图12对使用支承辊5对切割胶带dt赋予沿着宽度方向d2的张力的步骤进行说明。
71.首先，如图12的(a)所示的那样，以在按压辊34的下方配置切割支架df的一端(粘贴开始位置)的方式使内周侧工作台21以及外周侧工作台22移动。然后，卷绕辊32旋转而放出切割胶带dt，并且按压辊34将切割胶带dt按压于切割支架df的一侧端并以规定的按压力进行粘贴。此时，支承辊5位于宽度方向d2的大致中央处。
72.之后，如图12的(b)所示的那样，内周侧工作台21以及外周侧工作台22沿着搬运方向移动，切割胶带dt向切割支架df以及工件w贴近至切割支架df的大致中央附近处。此时，以支承辊5在俯视时从宽度方向d2的内侧朝向外侧的方式，滚珠丝杠53使支架52移动。并且，支承辊5在通过与切割胶带dt的摩擦而一边绕旋转轴51转动地旋转一边朝向宽度方向d2的外侧移动时，使切割胶带dt以向宽度方向d2的外侧拉伸的方式伸展。
73.进而，内周侧工作台21及外周侧工作台22沿着搬运方向移动，切割胶带dt从切割支架df的大致中央遍及另一端地向切割支架df及工件w贴近。此时，按照支承辊5俯视时从宽度方向d2的外侧朝向内侧的方式，滚珠丝杠53使支架52移动。并且，支承辊5在通过与切割胶带dt的摩擦而一边绕旋转轴51转动地旋转一边朝向宽度方向d2的内侧移动时，使切割胶带dt以向宽度方向d2的内侧拉伸的方式伸展。
74.然后，如图12的(c)所示的那样，当切割胶带dt到达切割支架df的另一端(粘贴结束位置)时，工件w和切割支架df经由切割胶带dt粘贴为一体。
75.另外，支承辊5并不限定于旋转轴51与宽度方向d2平行地设置。例如，也可以如图13、图14、图15所示的那样，以旋转轴51相对于切割胶带dt的放出方向倾斜的方式，具体而言，以从粘贴方向d1观察时一对支承辊5相对于切割胶带dt的放出方向呈大致八字状倾斜的方式设置也没有关系。
76.由此，在切割胶带dt从切割支架df的一端向切割支架df和工件w贴近至大致中央附近处时，在支承辊5从宽度方向d2的内侧朝向外侧滑动时，使切割胶带dt以向宽度方向d2的外侧翘曲的方式伸展，因此容易对切割胶带dt施加张力。
77.像这样，本实施方式的胶带粘贴装置1是将切割胶带dt沿着粘贴方向d1粘贴于工件w和切割支架df的胶带粘贴装置1，其包括将切割胶带dt按压于工件w和切割支架df上的按压辊34和在俯视观察切割胶带dt时使切割胶带dt朝向宽度方向d2伸展的支承辊5。
78.按照该结构，支承辊5通过使切割胶带dt朝向宽度方向d2伸展，能够对切割胶带dt赋予宽度方向d2的张力。
79.另外，只要不脱离本发明的精神，本发明除了上述以外还能够进行各种改变，并且，本发明当然涉及该改变后的方案。
80.标号的说明：
81.标号1表示胶带粘贴装置；
82.标号2表示搬运部；
83.标号21表示内周侧工作台；
84.标号21a表示吸附面；
85.标号22表示外周侧工作台；
86.标号23表示吸附体；
87.标号3表示粘贴部；
88.标号31表示进给辊；
89.标号32表示卷绕辊；
90.标号33a～33f表示第6引导辊；
91.标号34表示按压辊；
92.标号35表示刀板；
93.标号4表示支承销(伸展机构)；
94.标号41表示销主体；
95.标号42表示轴部；
96.标号43表示环台；
97.标号5表示支承辊(伸展机构)；
98.标号51表示旋转轴；
99.标号52表示支架；
100.标号53表示滚珠丝杠；
101.符号df表示切割支架；
102.符号dt表示切割胶带；
103.符号w表示工件。