1.本发明涉及流体传动及其控制领域中的液压控制元件，尤其涉及一种磁悬浮力矩马达驱动型二维电液伺服阀。
背景技术：
2.利用伺服螺旋机构原理实现的二维电液伺服阀具有阀芯转动和轴向移动的双自由度，因其功重比高，结构简单，抗污染能力强等优点，受到航空航天、军事等液压系统领域的青睐。
3.目前，二维电液伺服阀的电-机械转换器大多采用动铁式力矩马达，输出角位移较小且具有负磁弹簧刚度，无法自动固定于中位，需要额外的调零弹簧及调零螺钉来固定中位，调节过程复杂且精确度不高。
技术实现要素：
4.为克服上述问题，本发明提供一种磁悬浮力矩马达驱动型二维电液伺服阀。
5.本发明采用的技术方案是：一种磁悬浮力矩马达驱动型二维电液伺服阀，包括沿着轴心线同轴连接的先导阀(f1)和主阀(f2)；
6.所述先导阀(f1)包括先导阀连接套(21)、直线位移传感器组件、磁悬浮力矩马达和电液活塞组件；先导阀连接套(21)整体呈左段直径大右段直径小的筒形结构，所述直线位移传感器组件包括设置在先导阀连接套(21)的左端开口处的压盖(1)、以及设置在先导阀连接套(21)内的压紧弹簧(2)、线圈组件(3)和铁芯(4)；所述压盖(1)通过螺钉与定子隔套(5)连接，线圈组件(3)通过压紧弹簧(2)固定在压盖(1)与定子调零套(7)中间；铁芯(4)通过螺纹固定在铁芯连接件(16)上，铁芯(4)能在线圈组件(3)内部轴向移动；
7.所述磁悬浮力矩马达包括转子部分和定子部分，转子部分包括转子外壳(12)、转子骨架(13)、转子磁钢(14)、转子支撑架(15)、铁芯连接件(16)；定子部分包括定子隔套(5)、定子左爪极(8)、定子右爪极(9)、线圈(10)、线圈骨架(11)、定子端盖(6)和定子调零套(7)；所述转子外壳(12)设在转子骨架(13)外，转子骨架(13)底部设有底座，底座中心开有一盲孔；铁芯连接件(16)的右端固定在盲孔内，铁芯连接件(16)的左端与铁芯(4)连接；转子骨架(13)的边缘沿周向间隔设有多个用于固定转子磁钢(14)的固定杆，转子外壳(12)的内壁沿周向均匀间隔设有多个磁钢(14)，磁钢(14)与固定杆对应插接，相邻两个磁钢(14)的磁极在径向方向均相反，定子左爪极(8)与磁钢(14)之间存在的气隙和定子右爪极(9)与磁钢(14)之间存在的气隙为工作气隙，工作气隙的径向间距保持不变，面积随转子组件的转动发生改变；
8.所述定子隔套(5)与先导阀连接套(21)的左端过盈配合，将定子和转子隔离开，定子隔套(5)轴心设有一铁芯隔套，铁芯隔套将固连的铁芯(4)和铁芯连接件(16)与直线位移传感器的线圈组件(3)隔离；定子左爪极(8)和定子右爪极(9)合拢配合，在定子左爪极(8)和定子右爪极(9)之间设有线圈骨架(11)；线圈骨架(11)上绕有线圈(10)，线圈骨架(11)分
别和定子左爪极(8)、定子右爪极(9)通过圆柱销固连；定子左爪极(8)、定子右爪极(9)和线圈骨架(11)上设有沿轴线贯穿的圆形通孔，圆形通孔的内径和定子调零套(7)的外径过盈配合，定子调零套(7)穿设在圆形通孔内，线圈骨架(11)、定子左爪极(8)、定子右爪极(9)均通过过盈配合与定子调零套(7)固连，定子调零套(7)的左端面通过螺钉与定子端盖(6)固连；
9.所述电液活塞组件包括阀套(20)、阀芯(18)、转子连接件(17)、阀套堵头(19)、先导阀连接套(21)；阀套(20)与先导阀连接套(21)的右端通过螺纹连接，先导阀连接套(21)右侧与主阀体过盈配合，先导阀连接套(21)左侧与定子隔套(5)过盈配合，先导阀连接套(21)连接力矩马达、电液活塞和主阀体；阀套(20)上从左至右依次设有第一凸肩(j1)、第二凸肩(j2)，第二凸肩(j2)上沿周向间隔90度均匀分布有四个通孔，将所述四个通孔分别称为第一通孔(h1)、第二通孔(h2)、第三通孔(h3)和第四通孔(h4)；第二凸肩(j2)的端面开设有两个对称的通孔，将所述两个对称的通孔分别称为第一引流孔(i1)、第二引流孔(i2)；第一引流孔(i1)将第一引流道(y1)的高压油引入第一通孔(h1)，第二引流孔(i2)将第一引流道(y1)的高压油引入第三通孔(h3)；第二通孔(h2)和第四通孔(h4)通过堵头和密封圈密封；电液活塞的阀芯(18)可转动并可轴向滑动地设置在阀套(20)内，转子连接件(17)通过螺钉与力矩马达和阀芯(18)固连，使得力矩马达和阀芯(18)同步转动；阀芯(18)右端与阀套第二凸肩(j2)连接处沿周向分布有四个斜槽，四个斜槽分别为两个对称的敏感槽(s)和两个对称的低压槽(l)，相邻两个斜槽间隔周向角度45度；两个对称的低压槽(l)通过低压槽连通孔(c2)沟通，并与低压油孔(k)连通，低压油通过低压油孔(k)流入低压槽(l)并进入第二通孔(h2)和第四通孔(h4)；两个对称的敏感槽(s)通过敏感槽连通孔(c1)沟通，敏感槽连通孔(c1)与阀芯(18)左端面开设的轴向中心通孔(m)连通，阀芯(18)的左端面与阀套(20)、阀套堵头(19)形成敏感腔(s)，敏感槽(s)中的油液进入敏感腔(s)；阀芯(18)在旋转时敏感槽(s)与第一通孔(h1)和第二通孔(h2)以及第三通孔(h3)和第四通孔(h4)的重叠面积发生变化，第一通孔(h1)和第三通孔(h3)的高压油与第三通孔(h2)和第四通孔(h4)的低压油进入敏感槽(s)汇合再进入敏感腔(s)；
10.所述主阀(f2)包括阀体(22)、主阀芯(23)和高压活塞组件；阀体(22)上设有进油口(p)、回油口(t)、第一工作油口(a)和第二工作油口(b)；阀体(22)内部设有与进油口(p)相通的高压流道(p)，与主阀芯(23)台肩相通的第一沉割槽(a1)、第二沉割槽(b1)、以及与进油口(p)连通的第一引流道(y1)和第二引流道(y2)，与回油口(t)连通的第三引流道(t)；第一引流道(y1)连通进油口(p)和电液活塞的第一高压腔(p1)，高压油经过第一引流道(y1)、电液活塞第一引流孔(i1)进入电液活塞的第一通孔(h1)和第三通孔(h3)；第二引流道(y2)连通进油口(p)和高压活塞组件的第二高压腔(p2)；第三引流道(t)连通回油口(t)和第一低压流道(t1)和第二低压流道(t2)；
11.所述主阀芯(23)上从左至右依次设有第一阀芯台肩(24)、第二阀芯台肩(25)，第一阀芯台肩(24)与第二阀芯台肩(25)中间形成环割槽，环割槽与阀体(22)的高压流道(p)相通；主阀芯(23)的左端与电液活塞阀芯(18)的右端抵接，主阀芯(23)的右端与高压活塞(26)的左端抵接；当主阀芯(23)运动时，通过第一阀芯台肩(24)、第二阀芯台肩(25)开启或关闭沉割槽来实现接通或者关闭与沉割槽相通的油口；
12.所述高压活塞组件包括高压活塞(26)、零位弹簧(27)、高压螺塞(28)和高压堵头
(29)；高压活塞(26)能在第二高压腔(p2)内轴向移动，高压活塞(26)的左端伸出高压螺塞(28)外与主阀芯(23)的右端抵接；高压螺塞(28)的右端安装有高压堵头(29)，高压活塞(26)与高压堵头(29)之间设有零位弹簧(27)；高压螺塞(28)、高压活塞(26)、高压堵头(29)配合构成第二高压腔(p2)，第二高压腔(p2)与阀体(22)的第二引流道(y2)相通。
13.进一步，所述阀体(22)的左端面设有第一中心孔(m1)，阀体(22)的右端面设有第二中心孔(m2)；第一中心孔(m1)与电液活塞过盈配合，第一中心孔(m1)与电液活塞之间的间隙设有第一密封圈(q1)、第二密封圈(q2)、第三密封圈(q3)；第二中心孔(m2)与高压活塞过盈配合，第二中心孔(m2)与高压活塞之间设有第四密封圈(q4)和第五密封圈(q5)。
14.本发明的原理是：当磁悬浮力矩马达的线圈未通电，系统未供油时，力矩马达的定子左右爪极和转子外壳之间存在的恢复力和齿槽转矩将转子外壳悬浮于轴向和周向的中位。其中，齿槽转矩始终使转子磁钢的中心线与定子左右爪极的中心线对齐。此时，左右爪极的每个爪齿受到其上方两个磁钢的齿槽转矩分量大小相等方向相反，转子没有发生转动，电液活塞阀芯处于中位。当给力矩马达转子一个角速度，使其发生逆时针转动时，定子爪极会受到一个逆时针方向的扭矩，而转子磁钢会受到一个顺时针方向的扭矩，试图将转子回到初始位置。当线圈未通电，系统供油时，主阀体的第一工作油口a和第二工作油口b与主阀芯的第一台肩和第二台肩完全重合，电液活塞阀芯的敏感槽s与电液活塞阀套的第一通孔h1、第三通孔h3相交面积相等，对称敏感槽s与阀套的第二通孔h2、第四通孔h4相交面积相等。进油口p通过第一引流道y1将高压油通入电液活塞与主阀体形成的第一高压腔p1，并进入电液活塞阀套的第一引流孔i1，通过第二引流道y2将高压油通入高压活塞26的第二高压腔p2，通过第三引流道t将低压油通入电液活塞的低压油孔k与第二通孔h2沟通，第一通孔h1的高压油和第二通孔h2的低压油在敏感槽s混合通过电液活塞阀芯的中心通孔m进入敏感腔s。此时敏感腔s的油液压力为系统工作压力ps的一半，敏感腔s内油液作用面积是高压活塞组件的第二高压腔p2内油液作用面积的2倍，故此时敏感腔s内压力与第二高压腔p2内压力相等，主阀芯所受两端压力平衡，处于中位。当力矩马达线圈通正向电流时，线圈产生的控制磁通与转子磁钢产生的极化磁通会在工作气隙处相互作用，使得爪极下方的磁通密度增加，上方的磁通密度减小，使转子在上下方磁通作用下发生顺时针转动。力矩马达转子顺时针转动通过转子连接件带动电液活塞阀芯顺时针转动，此时电液活塞阀芯的敏感槽s与电液活塞阀套的第一通孔h1重叠面积变大，与第二通孔h2重叠面积减小，对称敏感槽s与第三通孔h3重叠面积变大，与第四通孔h4重叠面积减小，电液活塞敏感腔s的压力升高，敏感腔s的压力大于高压活塞第二高压腔p2的压力产生压差，压差使得主阀芯向右移动。当敏感槽s与第一通孔h1的重叠面积与第二通孔h2的重叠面积相等，对称敏感槽s第三通孔h3的重叠面积与第四通孔h4的重叠面积相等时，敏感腔s压力和高压活塞第二高压腔p2压力相等，主阀芯停止移动。若力矩马达线圈通入反向电流，转子的转向、电液活塞阀芯的转向、主阀芯的移动正好相反，转子、电液活塞阀芯逆时针转动，主阀芯向左移动。
15.本发明的有益效果是：
16.1、本发明使用磁悬浮式力矩马达，无需额外的调零螺钉和调零弹簧，转子能够自动悬浮于轴向和周向的中位；
17.2、本发明的力矩马达采用径向气隙的结构，转动过程中不存在机械限位，转角范围可由爪极结构进行调整，能够实现传统动铁式力矩马达无法实现的大转角。
18.3、体积小，质量轻。将力矩马达和电液活塞一体化为先导阀，先导阀和主阀沿轴向插装，缩小了整个阀的体积，减轻了整体质量。
19.4、电液活塞阀芯与主阀芯之间的接触为球面与平面的点接触，大大减小了电液活塞阀芯转动时的摩擦阻力，降低了对力矩马达驱动力矩的要求。
20.5、高压活塞和零位弹簧增加了主阀芯轴向移动时的阻尼系数，提高了电液活塞和主阀芯轴向移动的稳定性。
附图说明
21.图1是本发明的结构示意图。
22.图2是本发明的剖视图。
23.图3是力矩马达的爆炸图。
24.图4是电液活塞的剖视图。
25.图5是电液活塞阀套截面图。
26.图6是电液活塞阀芯的剖视图。
27.图7是阀体和主阀芯的装配示意图。
28.图8是阀体内部流道示意图。
29.图9是高压活塞的剖视图。
30.附图标记说明：
31.f1、先导阀；f2、主阀；p、进油口；t、回油口；a、第一工作油口；b、第二工作油口；
32.1、压盖；2、压紧弹簧；3、线圈组件；4、铁芯；5、定子隔套；6、定子端盖；7、定子调零套；8、定子左爪极；9、定子右爪极；10、线圈；11、线圈骨架；12、转子外壳；13、转子骨架；14、转子磁钢；15、转子支撑架；16、铁芯连接件；17、转子连接件；18、电液活塞阀芯；19、阀套堵头；20、电液活塞阀套；21、先导阀连接套；22、阀体；23、主阀芯；24、第一台肩；25、第二台肩；26、高压活塞；27、零位弹簧；28、高压螺塞；29、高压堵头；t1、第一低压流道；t2、第二低压流道；a1、第一沉割槽；b1、第二沉割槽；p、高压流道；s、敏感腔；q1、第一密封圈；q2、第二密封圈；q3、第三密封圈；q4、第四密封圈；q5、第五密封圈；p1、第一高压腔；p2、第二高压腔；
33.s、敏感槽；l、低压槽；i1、第一引流孔；i2、第二引流孔；j1、第一凸肩；j2、第二凸肩；h1、第一通孔；h2、第二通孔；h3、第三通孔；h4、第四通孔；c1、敏感槽连通孔；c2、低压槽连通孔；k、低压油孔；m、中心通孔；
34.y1、第一引流道；y2、第二引流道、t、第三引流道；m1、第一中心孔；m2、第二中心孔。
具体实施方式
35.下面将结合附图对本发明专利的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
36.在本发明的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定
的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
37.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
38.参照附图，一种磁悬浮力矩马达驱动型二维电液伺服阀，其特征在于：包括沿着轴心线同轴连接的先导阀f1和主阀f2；
39.所述先导阀f1包括先导阀连接套21、直线位移传感器组件、磁悬浮力矩马达和电液活塞组件；先导阀连接套21整体呈左段直径大右段直径小的筒形结构，所述直线位移传感器组件包括设置在先导阀连接套21的左端开口处的压盖1、以及设置在先导阀连接套21内的压紧弹簧2、线圈组件3和铁芯4；所述压盖1通过螺钉与定子隔套5连接，线圈组件3通过压紧弹簧2固定在压盖1与定子调零套7中间；铁芯4通过螺纹固定在铁芯连接件16上，铁芯4能在线圈组件3内部轴向移动；
40.所述磁悬浮力矩马达包括转子部分和定子部分，转子部分包括转子外壳12、转子骨架13、转子磁钢14、转子支撑架15、铁芯连接件16；定子部分包括定子隔套5、定子左爪极8、定子右爪极9、线圈10、线圈骨架11、定子端盖6和定子调零套7；所述转子外壳12设在转子骨架13外，转子骨架13底部设有底座，底座中心开有一盲孔；铁芯连接件16的右端固定在盲孔内，铁芯连接件16的左端与铁芯4连接；转子骨架13的边缘沿周向间隔设有多个用于固定转子磁钢14的固定杆，转子外壳12的内壁沿周向均匀间隔设有多个磁钢14，磁钢14与固定杆对应插接，相邻两个磁钢14的磁极在径向方向均相反，定子左爪极8与磁钢14之间存在的气隙和定子右爪极9与磁钢14之间存在的气隙为工作气隙，工作气隙的径向间距保持不变，面积随转子组件的转动发生改变；
41.所述定子隔套5与先导阀连接套21的左端过盈配合，将定子和转子隔离开，定子隔套5轴心设有一铁芯隔套，铁芯隔套将固连的铁芯4和铁芯连接件16与直线位移传感器的线圈组件3隔离；定子左爪极8和定子右爪极9合拢配合，在定子左爪极8和定子右爪极9之间设有线圈骨架11；线圈骨架11上绕有线圈10，线圈骨架11分别和定子左爪极8、定子右爪极9通过圆柱销固连；定子左爪极8、定子右爪极9和线圈骨架11上设有沿轴线贯穿的圆形通孔，圆形通孔的内径和定子调零套7的外径过盈配合，定子调零套7穿设在圆形通孔内，线圈骨架11、定子左爪极8、定子右爪极9均通过过盈配合与定子调零套7固连，定子调零套7的左端面通过螺钉与定子端盖6固连；
42.所述电液活塞组件包括阀套20、阀芯18、转子连接件17、阀套堵头19、先导阀连接套21；阀套20与先导阀连接套21的右端通过螺纹连接，先导阀连接套21右侧与主阀体过盈配合，先导阀连接套21左侧与定子隔套5过盈配合，先导阀连接套21连接力矩马达、电液活塞和主阀体；阀套20上从左至右依次设有第一凸肩j1、第二凸肩j2，第二凸肩j2上沿周向间隔90度均匀分布有四个通孔，将所述四个通孔分别称为第一通孔h1、第二通孔h2、第三通孔h3和第四通孔h4；第二凸肩j2的端面开设有两个对称的通孔，将所述两个对称的通孔分别称为第一引流孔i1、第二引流孔i2；第一引流孔i1将第一引流道y1的高压油引入第一通孔
h1，第二引流孔i2将第一引流道y1的高压油引入第三通孔h3；第二通孔h2和第四通孔h4通过堵头和密封圈密封；电液活塞的阀芯18可转动并可轴向滑动地设置在阀套20内，转子连接件17通过螺钉与力矩马达和阀芯18固连，使得力矩马达和阀芯18同步转动；阀芯18右端与阀套第二凸肩j2连接处沿周向分布有四个斜槽，四个斜槽分别为两个对称的敏感槽s和两个对称的低压槽l，相邻两个斜槽间隔周向角度45度；两个对称的低压槽l通过低压槽连通孔c2沟通，并与低压油孔k连通，低压油通过低压油孔k流入低压槽l并进入第二通孔h2和第四通孔h4；两个对称的敏感槽s通过敏感槽连通孔c1沟通，敏感槽连通孔c1与阀芯18左端面开设的轴向中心通孔m连通，阀芯18的左端面与阀套20、阀套堵头19形成敏感腔s，敏感槽s中的油液进入敏感腔s；阀芯18在旋转时敏感槽s与第一通孔h1和第二通孔h2以及第三通孔h3和第四通孔h4的重叠面积发生变化，第一通孔h1和第三通孔h3的高压油与第三通孔h2和第四通孔h4的低压油进入敏感槽s汇合再进入敏感腔s；
43.所述主阀f2包括阀体22、主阀芯23和高压活塞组件；阀体22上设有进油口p、回油口t、第一工作油口a和第二工作油口b；阀体22内部设有与进油口p相通的高压流道p，与主阀芯23台肩相通的第一沉割槽a1、第二沉割槽b1、以及与进油口p连通的第一引流道y1和第二引流道y2，与回油口t连通的第三引流道t；第一引流道y1连通进油口p和电液活塞的第一高压腔p1，高压油经过第一引流道y1、电液活塞第一引流孔i1进入电液活塞的第一通孔h1和第三通孔h3；第二引流道y2连通进油口p和高压活塞组件的第二高压腔p2；第三引流道t连通回油口t和第一低压流道t1和第二低压流道t2；
44.所述主阀芯23上从左至右依次设有第一阀芯台肩24、第二阀芯台肩25，第一阀芯台肩24与第二阀芯台肩25中间形成环割槽，环割槽与阀体22的高压流道p相通；主阀芯23的左端与电液活塞阀芯18的右端抵接，主阀芯23的右端与高压活塞26的左端抵接；当主阀芯23运动时，通过第一阀芯台肩24、第二阀芯台肩25开启或关闭沉割槽来实现接通或者关闭与沉割槽相通的油口；所述阀体22的左端面设有第一中心孔m1，阀体22的右端面设有第二中心孔m2；第一中心孔m1与电液活塞过盈配合，第一中心孔m1与电液活塞之间的间隙设有第一密封圈q1、第二密封圈q2、第三密封圈q3；第二中心孔m2与高压活塞过盈配合，第二中心孔m2与高压活塞之间设有第四密封圈q4和第五密封圈q5。
45.所述高压活塞组件包括高压活塞26、零位弹簧27、高压螺塞28和高压堵头29；高压活塞26能在第二高压腔p2内轴向移动，高压活塞26的左端伸出高压螺塞28外与主阀芯23的右端抵接；高压螺塞28的右端安装有高压堵头29，高压活塞26与高压堵头29之间设有零位弹簧27；高压螺塞28、高压活塞26、高压堵头29配合构成第二高压腔p2，第二高压腔p2与阀体22的第二引流道y2相通。
46.具体的工作原理为：当磁悬浮力矩马达的线圈10未通电，系统未供油时，力矩马达的定子左右爪极8、9和转子外壳12之间存在的恢复力和齿槽转矩将转子外壳12悬浮于轴向和周向的中位。其中，齿槽转矩始终使转子磁钢14的中心线与定子左右爪极8、9的中心线对齐。此时，左右爪极8、9的每个爪齿受到其上方两个磁钢14的齿槽转矩分量大小相等方向相反，转子没有发生转动，电液活塞阀芯18处于中位。当给力矩马达转子一个角速度，使其发生逆时针转动时，定子爪极8、9会受到一个逆时针方向的扭矩，而转子磁钢14会受到一个顺时针方向的扭矩，试图将转子回到初始位置。当线圈10未通电，系统供油时，主阀体22的第一工作油口a和第二工作油口b与主阀芯23的第一台肩24和第二台肩25完全重合，电液活塞
阀芯18的敏感槽s与电液活塞阀套20的第一通孔h1、第三通孔h3相交面积相等，对称敏感槽s与阀套的第二通孔h2、第四通孔h4相交面积相等。进油口p通过第一引流道y1将高压油通入电液活塞与主阀体形成的第一高压腔p1，并进入电液活塞阀套的第一引流孔i1，通过第二引流道y2将高压油通入高压活塞26的第二高压腔p2，通过第三引流道t将低压油通入电液活塞的低压油孔k与第二通孔h2沟通，第一通孔h1的高压油和第二通孔h2的低压油在敏感槽s混合通过电液活塞阀芯18的中心通孔m进入敏感腔s。此时敏感腔s的油液压力为系统工作压力ps的一半，敏感腔s内油液作用面积是高压活塞组件的第二高压腔p2内油液作用面积的2倍，故此时敏感腔s内压力与第二高压腔p2内压力相等，主阀芯23所受两端压力平衡，处于中位。当力矩马达线圈10通正向电流时，线圈10产生的控制磁通与转子磁钢14产生的极化磁通会在工作气隙处相互作用，使得爪极下方的磁通密度增加，上方的磁通密度减小，使转子12在上下方磁通作用下发生顺时针转动。力矩马达转子12顺时针转动通过转子连接件17带通电液活塞阀芯18顺时针转动，此时电液活塞阀芯18的敏感槽s与电液活塞阀套的第一通孔h1重叠面积变大，与第二通孔h2重叠面积减小，对称敏感槽s与第三通孔h3重叠面积变大，与第四通孔h4重叠面积减小，电液活塞敏感腔s的压力升高，敏感腔s的压力大于高压活塞第二高压腔p2的压力产生压差，压差使得主阀芯23向右移动。当敏感槽s与第一通孔h1的重叠面积与第二通孔h2的重叠面积相等，对称敏感槽s第三通孔h3的重叠面积与第四通孔h4的重叠面积相等时，敏感腔s压力和高压活塞第二高压腔p2压力相等，主阀芯23停止移动。若力矩马达线圈10通入反向电流，转子的转向、电液活塞阀芯18的转向、主阀芯23的移动正好相反，转子、电液活塞阀芯18逆时针转动，主阀芯向左移动。
47.本发明相对动铁式力矩马达驱动型二维电液伺服阀，磁悬浮力矩马达驱动型电液伺服阀使用外转子磁悬浮力矩马达作为电-机械转换器，转子在定子与转子的磁力作用下能够准确地悬浮于轴向和周向的中位，具有高稳定性、大转角范围的优点。外转子通过转子连接件与电液活塞连接，将力矩马达的旋转运动转化为电液活塞阀芯的轴向运动进而推动主阀芯轴向位移；通过铁芯连接件与铁芯连接，将主阀芯位移同步为铁芯位移，直线位移传感器实时读取铁芯位移，实现电液伺服控制。
48.本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举，本发明的保护范围不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本发明的保护范围也及于本领域技术人员根据本发明构思所能够想到的等同技术手段。