1.本发明涉及碳化硅长晶炉送料技术领域，具体为一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置。
背景技术：
2.经检索公开号为cn207130359u的中国专利公开了一种碳化硅长晶炉。其包括设在长晶炉上部的炉盖、设在长晶炉内的坩埚，其特征是：炉盖上设有与长晶炉内部连通的安装座孔，在安装座孔上密封安装有密闭的隔离舱，隔离舱内设有加料管、可带动加料管上下移动的传动机构，加料管上端开口，其下端带有落料孔，隔离舱外部设有加料机构，加料机构包括落料管和可转动的加料仓，落料管的头端连接有落料仓，落料仓与落料管之间设有隔板，隔板带有弧形状的开口a，加料仓同轴设置在落料仓内，加料仓的底部与隔板相接触，加料仓的底部带有弧形状的开口b，加料仓的传动机构设置在落料仓的上部，落料管的下端穿过隔离舱伸入加料管内。
3.该碳化硅长晶炉虽然可以在加料时保证整体密封性，避免外界环境对长晶炉造成影响，但是在操作人员向炉体装料时，需要在伸向机架内部的炉体下盖上进行物料的排列和叠装，由于机架内部的空间非常狭小，在炉体下盖上直接装料时，需要多名操作人员同时进行，有限的操作空间使得操作人员的工作效率降低，劳动强度也大大增加，同时碳化硅长晶炉对炉内长晶原料的排列顺序要求较高，在装料时，物料需要按照一定顺序从上到下、从内到外精确排好，对物料在炉体内部的同心度要求较高。而机架内部的空间有限，并且长晶炉的炉体一般安装在机架上，炉口的位置较高，人工操作时，无法使用专用的定位工装来保证物料在炉体内的同心度等定位精度问题，因此，直接在炉体下盖装料，物料位置的精准度难以控制，为此我们提出一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置用于解决上述问题。
技术实现要素：
4.本发明的目的在于提供一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，包括安装板，所述安装板的两侧分别开设有若干安装槽口，所述安装板的一端固定连接支撑筒体的底部，所述支撑筒体的一侧开设有竖向滑口，所述竖向滑口的顶部连通有横向滑口，所述横向滑口开设在支撑筒体的顶部，所述支撑筒体内活动设有送料组件，所述送料组件固定连接活动环，所述活动环滑动套接在支撑筒体外，所述活动环的一侧外壁固定连接伸缩件的一端，所述伸缩件的另一端固定连接夹持机构，所述夹持机构的底部连接有放置盘。
6.优选的，所述送料组件包括螺杆、螺纹环、滑块、支撑块，所述螺杆的顶端转动连接支撑筒体的顶部内壁，所述螺杆的底端转动连接支撑筒体的底部内壁，所述螺杆外通过螺纹结构套接螺纹环，所述螺纹环滑动套设在支撑筒体内，所述螺纹环的一侧外壁固定连接
滑块，所述滑块滑动连接竖向滑口，所述滑块远离螺纹环的一端底部固定连接支撑块，所述支撑块固定连接活动环的底壁。
7.优选的，所述滑块的宽度与横向滑口的开口宽度相等，所述滑块的高度与竖向滑口的开口宽度相等，所述螺杆与支撑筒体同心设置。
8.优选的，所述送料组件还包括从动锥齿轮、主动锥齿轮、转轴、手轮，所述从动锥齿轮固定套接在螺杆的底部，所述从动锥齿轮的一侧啮合连接主动锥齿轮，所述主动锥齿轮固定连接转轴，所述转轴转动连接支撑筒体的底部，所述转轴远离主动锥齿轮的一端固定连接手轮，所述手轮活动设在支撑筒体外。
9.优选的，所述伸缩件包括支撑板、活动板、通口、限位螺栓、活动腔，所述支撑板的一端固定连接活动环，所述支撑板的另一端开设有活动腔，所述活动腔内滑动套接活动板，所述活动板的一端固定连接夹持机构，所述活动板靠近活动环的一端通过螺纹结构连接限位螺栓，所述限位螺栓滑动设在通口内，所述通口开设在支撑板的顶端中部。
10.优选的，所述夹持机构包括筒体、松紧组件、圆盘、夹紧组件，所述筒体的外壁固定连接活动板的端部，所述筒体内滑动套接松紧组件，所述松紧组件的一端固定连接圆盘，所述圆盘活动设在筒体外，所述松紧组件的外侧滑动抵靠若干夹紧组件，所述夹紧组件活动设在筒体内。
11.优选的，所述松紧组件包括活动杆、弹簧、支撑环、圆台块、顶杆，所述活动杆滑动套接筒体的顶部，所述活动杆的底部固定套接支撑环，所述支撑环活动设在筒体内，所述支撑环的顶端固定连接弹簧，所述弹簧的顶端固定连接筒体的顶部内壁，所述活动杆的底端固定连接圆台块，所述圆台块的底端固定连接顶杆，所述圆台块滑动抵靠夹紧组件，所述活动杆、圆台块、顶杆和筒体同心设置。
12.优选的，所述夹紧组件圆周均布设置至少三个并且结构完全一致，所述夹紧组件包括圆槽、拉簧、卡爪部、连接杆，所述圆槽内凹设在筒体的内壁，所述圆槽内壁固定连接拉簧的一端，所述拉簧的另一端固定连接卡爪部的顶端，所述卡爪部转动连接连接杆，所述连接杆的两端分别转动连接筒体的内壁。
13.优选的，所述放置盘的中心开设有圆孔，所述圆孔的一端开设有环形槽，所述卡爪部包括上连杆、中连杆、连接孔、下连杆、卡块，所述上连杆的一端固定连接拉簧，所述上连杆的另一端固定连接中连杆，所述上连杆和中连杆之间贯穿设有连接孔，所述连接孔内转动套接连接杆，所述中连杆远离上连杆的一端固定连接下连杆，所述下连杆的底部侧壁固定连接卡块，所述下连杆抵靠圆孔，所述卡块卡接环形槽。
14.优选的，所述上连杆和中连杆朝向筒体圆心的夹角为钝角，所述中连杆和下连杆朝向筒体圆心的夹角大于180度并且夹角处设有圆角，所述中连杆和下连杆夹角处的圆角滑动抵靠圆台块的外壁，所述卡块为三棱柱结构，所述弹簧的弹力大于拉簧的拉力，所述圆台块与中连杆和下连杆夹角处之间接触的摩擦力小于拉簧的拉力。
15.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
16.1、本发明提供的送料组件，以升降配合旋转的方式，同时横向滑口和竖向滑口的配合，限制旋转的角度，使装料、送料的位置更加固定且精准，同时可以适用炉口较高的碳化硅长晶炉，无需人工在攀爬操作；
17.2、本发明提供的夹持机构对放置盘进行夹紧支撑，同时放置盘位置固定，有利于
提高装料时的物料排列精度和进入炉体内部的物料的同心度，还可以配合支撑筒体使送料组件旋转至碳化硅长晶炉的位置更加精准；
18.3、夹持机构配合碳化硅长晶炉炉体下盖的升降，对放置盘进行解锁脱离，使放置盘落至碳化硅长晶炉的炉体下盖的上，再由炉体下盖带动放置盘到达炉体内的指定位置，提高了物料的位置精度和进入炉体内的同心度，有利于制备出更高产率和质量的碳化硅晶体。
附图说明
19.图1为本发明结构示意图；
20.图2为本发明仰视结构示意图；
21.图3为本发明中支撑筒体结构示意图；
22.图4为本发明中送料组件结构示意图；
23.图5为本发明中伸缩件和夹持机构结构示意图；
24.图6为本发明中夹持机构剖视结构示意图；
25.图7为本发明中卡爪部结构示意图。
26.图中：1、安装板；11、安装槽口；2、支撑筒体；21、横向滑口；22、竖向滑口；3、活动环；4、伸缩件；41、支撑板；42、活动板；43、通口；44、限位螺栓；45、活动腔；5、夹持机构；51、筒体；52、松紧组件；521、活动杆；522、弹簧；523、支撑环；524、圆台块；525、顶杆；53、圆盘；54、夹紧组件；541、圆槽；542、拉簧；543、卡爪部；5431、上连杆；5432、中连杆；5433、连接孔；5434、下连杆；5435、卡块；544、连接杆；6、放置盘；61、环形槽；62、圆孔；7、送料组件；71、螺杆；72、螺纹环；73、滑块；74、支撑块；75、从动锥齿轮；76、主动锥齿轮；77、转轴；78、手轮。
具体实施方式
27.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
28.实施例1
29.参照图1、2，为本发明第一个实施例，该实施例提供了一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，包括安装板1，安装板1的两侧分别开设有若干安装槽口11，安装板1的一端固定连接支撑筒体2的底部，支撑筒体2的一侧开设有竖向滑口22，竖向滑口22的顶部连通有横向滑口21，横向滑口21开设在支撑筒体2的顶部，支撑筒体2内活动设有送料组件7，送料组件7固定连接活动环3，活动环3滑动套接在支撑筒体2外，活动环3的一侧外壁固定连接伸缩件4的一端，伸缩件4的另一端固定连接夹持机构5，夹持机构5的底部连接有放置盘6。
30.安装板1配合安装安装槽口11把本发明固定安装在炉体机架的腿上，根据支撑筒体2距碳化硅长晶炉炉心的距离，调节伸缩件4的长度到合适距离，然后操作夹持机构5对放置盘6进行卡接固定，然后将物料按一定顺利整齐的排列在放置盘6上，排好物料后，操作送料组件7带动活动环3直线上升，活动环3带动固接的伸缩件4直线上升，伸缩件4带动夹持机构5直线上升，夹持机构5带动放置盘6直线上升，当放置盘6上升至炉口后，送料组件7移至
竖向滑口22的顶端，继续操作送料组件7，送料组件7沿横向滑口21横向移动，进而带动活动环3圆周转动，活动环3通过各部件配合带动放置盘6圆周摆动至炉口中心，操作长晶炉的控制系统以升高炉体下盖，升至放置盘6后，炉体下盖顶面抵靠夹持机构5，炉体下盖上升的作用力，带动夹持机构5脱离放置盘6的卡接，同时放置盘6在自身重力作用下落至炉体下盖上，放置盘6落在炉体下盖后，炉体下盖停止上升，然后炉体下盖返回炉体内部，到达炉体内的指定位置即可。
31.实施例2
32.参照图1-7，为本发明第二个实施例，该实施例基于上一个实施例，具体的，送料组件7包括螺杆71、螺纹环72、滑块73、支撑块74，螺杆71的顶端转动连接支撑筒体2的顶部内壁，螺杆71的底端转动连接支撑筒体2的底部内壁，螺杆71外通过螺纹结构套接螺纹环72，螺纹环72滑动套设在支撑筒体2内，螺纹环72的一侧外壁固定连接滑块73，滑块73滑动连接竖向滑口22，滑块73远离螺纹环72的一端底部固定连接支撑块74，支撑块74固定连接活动环3的底壁。
33.进一步的，滑块73的宽度与横向滑口21的开口宽度相等，滑块73的高度与竖向滑口22的开口宽度相等，该设置保证滑块73可以分别在横向滑口21和竖向滑口22内移动，螺杆71与支撑筒体2同心设置，同心的设置，保证螺杆71工作带动活动环3升降的稳定性。
34.进一步的，送料组件7还包括从动锥齿轮75、主动锥齿轮76、转轴77、手轮78，从动锥齿轮75固定套接在螺杆71的底部，从动锥齿轮75的一侧啮合连接主动锥齿轮76，主动锥齿轮76固定连接转轴77，转轴77转动连接支撑筒体2的底部，转轴77远离主动锥齿轮76的一端固定连接手轮78，手轮78活动设在支撑筒体2外。
35.排好物料后，操作送料组件7的手轮78，手轮78带动转轴77转动，转轴77带动主动锥齿轮76转动，主动锥齿轮76带动啮合连接的从动锥齿轮75转动，从动锥齿轮75带动螺杆71转动，螺纹环72固接的滑块73与竖向滑口22滑动配合，进而螺杆71带动螺纹连接的螺纹环72直线上升，螺纹环72带动活动环3直线上升，活动环3带动固接的伸缩件4直线上升，伸缩件4带动夹持机构5直线上升，夹持机构5带动放置盘6直线上升，当放置盘6上升至炉口后，滑块73移至竖向滑口22的顶端，继续转动手轮78，滑块73沿横向滑口21横向移动，进而带动活动环3圆周转动，活动环3通过各部件配合带动放置盘6圆周摆动至炉口中心。
36.具体的，伸缩件4包括支撑板41、活动板42、通口43、限位螺栓44、活动腔45，支撑板41的一端固定连接活动环3，支撑板41的另一端开设有活动腔45，活动腔45内滑动套接活动板42，活动板42的一端固定连接夹持机构5，活动板42靠近活动环3的一端通过螺纹结构连接限位螺栓44，限位螺栓44滑动设在通口43内，通口43开设在支撑板41的顶端中部。
37.安装板1配合安装安装槽口11把本发明固定安装在炉体机架的腿上，根据支撑筒体2距碳化硅长晶炉炉心的距离，调节伸缩件4的长度到合适距离，调节时，首先拧松限位螺栓44，限位螺栓44脱离与支撑板41的抵靠，即可拉动活动板42调节到合适距离，然后再次拧紧限位螺栓44，限位螺栓44与支撑板41通过摩擦力抵靠，使活动板42固定，进而可以适用机架离炉体不同的间距。
38.具体的，夹持机构5包括筒体51、松紧组件52、圆盘53、夹紧组件54，筒体51的外壁固定连接活动板42的端部，筒体51内滑动套接松紧组件52，松紧组件52的一端固定连接圆盘53，圆盘53活动设在筒体51外，松紧组件52的外侧滑动抵靠若干夹紧组件54，夹紧组件54
活动设在筒体51内。
39.进一步的，松紧组件52包括活动杆521、弹簧522、支撑环523、圆台块524、顶杆525，活动杆521滑动套接筒体51的顶部，活动杆521的底部固定套接支撑环523，支撑环523活动设在筒体51内，支撑环523的顶端固定连接弹簧522，弹簧522的顶端固定连接筒体51的顶部内壁，活动杆521的底端固定连接圆台块524，圆台块524的底端固定连接顶杆525，圆台块524滑动抵靠夹紧组件54，活动杆521、圆台块524、顶杆525和筒体51同心设置。
40.进一步的，夹紧组件54圆周均布设置至少三个并且结构完全一致，夹紧组件54包括圆槽541、拉簧542、卡爪部543、连接杆544，圆槽541内凹设在筒体51的内壁，圆槽541内壁固定连接拉簧542的一端，拉簧542的另一端固定连接卡爪部543的顶端，卡爪部543转动连接连接杆544，连接杆544的两端分别转动连接筒体51的内壁。
41.进一步的，放置盘6的中心开设有圆孔62，圆孔62的一端开设有环形槽61，卡爪部543包括上连杆5431、中连杆5432、连接孔5433、下连杆5434、卡块5435，上连杆5431的一端固定连接拉簧542，上连杆5431的另一端固定连接中连杆5432，上连杆5431和中连杆5432之间贯穿设有连接孔5433，连接孔5433内转动套接连接杆544，中连杆5432远离上连杆5431的一端固定连接下连杆5434，下连杆5434的底部侧壁固定连接卡块5435，下连杆5434抵靠圆孔62，卡块5435卡接环形槽61。
42.进一步的，上连杆5431和中连杆5432朝向筒体51圆心的夹角为钝角，中连杆5432和下连杆5434朝向筒体51圆心的夹角大于180度并且夹角处设有圆角，中连杆5432和下连杆5434夹角处的圆角滑动抵靠圆台块524的外壁，卡块5435为三棱柱结构，弹簧522的弹力大于拉簧542的拉力，该设置，保证弹簧522的弹力在无外力操作时，可以顺利带动圆台块524与卡爪部543抵靠，带动卡爪部543张开，圆台块524与中连杆5432和下连杆5434夹角处之间接触的摩擦力小于拉簧542的拉力。
43.捏住夹持机构5的圆盘53，圆盘53带动松紧组件52移动，松紧组件52的活动杆521向上提拉，活动杆521带动弹簧522压缩，同时带动端部固接的圆台块524上移，圆台块524上移后脱离夹紧组件54，夹紧组件54的拉簧542带动卡爪部543摆动，卡爪部543进而均朝向筒体51圆心方向移动，此时放置盘6的圆孔62内套入卡爪部543，当放置盘6顶壁接触筒体51后，松开圆盘53，松紧组件52的弹簧522弹力作用带动活动杆521下移，活动杆521带动圆台块524下移，圆台块524下移后接触夹紧组件54的卡爪部543，弹簧522的弹力作用带动圆台块524抵靠卡爪部543朝向远离筒体51圆形方向摆动，卡爪部543底部固接的卡块5435与放置盘6的环形槽61卡接配合，然后松开放置盘6，夹持机构5对放置盘6进行固定；当炉体下盖顶面抵靠松紧组件52的顶杆525，炉体下盖上升的作用力，带动顶杆525抬升，顶杆525进而带动圆台块524脱离卡爪部543的抵靠，卡爪部543在拉簧542的拉力作用下摆动，进而带动卡块5435脱离环形槽61的卡接，同时放置盘6在自身重力作用下落至炉体下盖上。
44.实施例3
45.参照图1-7，为本发明第三个实施例，该实施例基于以上两个实施例，使用时，安装板1配合安装安装槽口11把本发明固定安装在炉体机架的腿上，根据支撑筒体2距碳化硅长晶炉炉心的距离，调节伸缩件4的长度到合适距离，调节时，首先拧松限位螺栓44，限位螺栓44脱离与支撑板41的抵靠，即可拉动活动板42调节到合适距离，然后再次拧紧限位螺栓44，限位螺栓44与支撑板41通过摩擦力抵靠，使活动板42固定，然后捏住夹持机构5的圆盘53，
圆盘53带动松紧组件52移动，松紧组件52的活动杆521向上提拉，活动杆521带动弹簧522压缩，同时带动端部固接的圆台块524上移，圆台块524上移后脱离夹紧组件54，夹紧组件54的拉簧542带动卡爪部543摆动，卡爪部543进而均朝向筒体51圆心方向移动，此时放置盘6的圆孔62内套入卡爪部543，当放置盘6顶壁接触筒体51后，松开圆盘53，松紧组件52的弹簧522弹力作用带动活动杆521下移，活动杆521带动圆台块524下移，圆台块524下移后接触夹紧组件54的卡爪部543，弹簧522的弹力作用带动圆台块524抵靠卡爪部543朝向远离筒体51圆形方向摆动，卡爪部543底部固接的卡块5435与放置盘6的环形槽61卡接配合，然后松开放置盘6，夹持机构5对放置盘6进行固定，然后将物料按一定顺利整齐的排列在放置盘6上，排好物料后，操作送料组件7的手轮78，手轮78带动转轴77转动，转轴77带动主动锥齿轮76转动，主动锥齿轮76带动啮合连接的从动锥齿轮75转动，从动锥齿轮75带动螺杆71转动，螺纹环72固接的滑块73与竖向滑口22滑动配合，进而螺杆71带动螺纹连接的螺纹环72直线上升，螺纹环72带动活动环3直线上升，活动环3带动固接的伸缩件4直线上升，伸缩件4带动夹持机构5直线上升，夹持机构5带动放置盘6直线上升，当放置盘6上升至炉口后，滑块73移至竖向滑口22的顶端，继续转动手轮78，滑块73沿横向滑口21横向移动，进而带动活动环3圆周转动，活动环3通过各部件配合带动放置盘6圆周摆动至炉口中心，操作长晶炉的控制系统以升高炉体下盖，升至放置盘6后，炉体下盖顶面抵靠松紧组件52的顶杆525，炉体下盖上升的作用力，带动顶杆525抬升，顶杆525进而带动圆台块524脱离卡爪部543的抵靠，卡爪部543在拉簧542的拉力作用下摆动，进而带动卡块5435脱离环形槽61的卡接，同时放置盘6在自身重力作用下落至炉体下盖上，放置盘6落在炉体下盖后，炉体下盖停止上升，然后炉体下盖返回炉体内部，到达炉体内的指定位置即可。
46.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。