1.本实用新型涉及夹具技术领域，尤其涉及一种旋转靶材高温操作夹。
背景技术：
2.溅射镀膜行业内使用的旋转靶材通常都是采用铟粘合绑定的方式来制造的，一方面是为了避免一些韧性较差的金属、合金或氧化物等易裂材料在使用过程中破裂，旋转靶材则绑定在不锈钢背管或钛背管；另一方面，可以改善靶材机械强度不足的问题，可确保靶材的冷却及电接触性能良好，防止靶材在溅射中出现溅射不均匀和靶材开裂等问题。
3.但是，在绑定过程中需要将靶材加热至铟融化的高温，这个过程如果靶材发生位置移动或者异常时，不能直接用手接触；而且，背管绑定多节靶材时经常会出现绑定率低或靶材出现裂纹等异常时，需要将靶材退绑后报废或重新处理，此时需要一种工具来移动高温状态下靶材或者从背管上取下高温的靶材。
技术实现要素：
4.为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种旋转靶材高温操作夹，其能够在夹持高温的靶材，以调节或转移靶材。
5.本实用新型的目的采用如下技术方案实现：
6.一种旋转靶材高温操作夹，包括夹持板；所述夹持板的一端具有开口，以使所述夹持板呈开环结构；所述夹持板的两端分别连接有一把第一杆状把手，所述第一杆状把手从所述夹持板的径向从内向外延伸；所述夹持板还连接有第二杆状把手，所述第二杆状把手和所述第一杆状把手对置地设在所述夹持板的轴线的相对两侧。
7.进一步地，所述夹持板采用金属材料制成。
8.进一步地，所述夹持板采用304不锈钢材料制成。
9.进一步地，所述夹持板的厚度为2mm-5mm。
10.进一步地，所述夹持板的内侧曲面设有柔性缓冲层。
11.进一步地，所述柔性缓冲层为硅胶层。
12.进一步地，所述柔性缓冲层的厚度为4mm-7mm。
13.进一步地，所述第一杆状把手和所述第二杆状把手均为空心管结构。
14.进一步地，所述第一杆状把手和所述第二杆状把手均为圆管结构。
15.进一步地，所述夹持板的延伸轨迹呈弧状结构。
16.相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：
17.1、基于夹持板呈开环结构，因而其开口能够被扩展以径向套接旋转靶材。通过在夹持板的两端分别连接有一把第一杆状把手，从而能够便于工人将第一开口拉大，以及便于工人将第一开口压紧以稳妥地夹紧旋转靶材。
18.2、通过将第二杆状把手和第一杆状把手对置地设在夹持板的轴线的相对两侧，以使工人能够平稳地托起旋转靶材。
19.3、特别地，基于需要对旋转靶材进行细微的操作，因而在夹持板的附近处设置第一杆状把手和第二杆状把手，利于提高工人的触觉感应，以避免操作失误现象。
附图说明
20.图1为本实用新型的一种旋转靶材高温操作夹的结构示意图；
21.图2为图1的侧视图。
22.图中：1、夹持板；11、开口；2、第一杆状把手；3、第二杆状把手；4、柔性缓冲层。
具体实施方式
23.下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。
24.需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上，或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能存在居中元件。本文所使用的“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不代表是唯一的实施方式。
25.除非另有定义，本文所使用的所有的技术术语和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
26.图1-图2示出了本实用新型一较佳实施例的一种旋转靶材高温操作夹，夹持板1的一端具有开口11，以使所述夹持板1呈开环结构，从而使得夹持板1能够沿旋转靶材的径向套入旋转靶材外，以将旋转靶材进行夹持。一般而言，旋转靶材长度在40mm-70mm之间，且需要被加热至200℃左右进行背管的绑定工作，因而不可用人手直接触碰。进一步地，夹持板1的两端分别连接有一把第一杆状把手2，第一杆状把手2从夹持板1的径向从内向外延伸；夹持板1还连接有第二杆状把手3，第二杆状把手3和第一杆状把手2对置地设在夹持板1的轴线的相对两侧。
27.使用时，参见图1，通过双手分别握持第一杆状把手2，然后将开口11拉大以从圆筒状的旋转靶材径向套接圆筒状的旋转靶材，以使夹持板1包裹在圆筒状的旋转靶材的外围，再通过一只手同时握持两个第一杆状把手2，另一只手握持第二杆状把手3，便可以调节或转移圆筒状靶材。特别是，作为改进的原动机，为了避免刮伤旋转靶材，所述夹持板1的延伸轨迹呈弧状结构，此时夹持板1仅适用于圆筒状的旋转靶材。
28.显然，基于夹持板1呈开环结构，因而其开口11能够被扩展以径向套接旋转靶材。通过在夹持板1的两端分别连接有一把第一杆状把手2，从而能够便于工人将第一开口11拉大，以及便于工人将第一开口11压紧以稳妥地夹紧旋转靶材。通过将第二杆状把手3和第一杆状把手2对置地设在夹持板1的轴线的相对两侧，以使工人能够平稳地托起旋转靶材。特别地，基于需要对旋转靶材进行细微的操作，因而在夹持板1的附近处设置第一杆状把手2和第二杆状把手3，利于提高工人的触觉感应，以避免操作失误现象。
29.优选地，为了提高夹持板1的耐用度，夹持板1采用金属材料制成。更优地，夹持板1
采用304不锈钢材料制成。可以理解，作为可供替换的设置方式，夹持板1也可以采用塑料材质或高分子材料制成。其中，为了保证夹持板1的强度以及兼顾其刚度和轻量化的要求，优选地，夹持板1的厚度为2mm-5mm，优选为3mm。
30.优选地，为了避免夹持板1将旋转靶材压伤，夹持板1的内侧曲面设有柔性缓冲层4。更优地，柔性缓冲层4为硅胶层。可以理解，柔性缓冲层4也可以是海绵层或软塑层。更优地，柔性缓冲层4的厚度为4mm-7mm。优选为5mm。
31.优选地，为了使得本一种旋转靶材高温操作夹更加轻量化，第一杆状把手2和第二杆状把手3均为空心管结构。
32.优选地，为了更加舒适地握持第一杆状把手2和第二杆状把手3，第一杆状把手2和第二杆状把手3均为圆管结构。
33.上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型保护的范围，本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。
技术特征：
1.一种旋转靶材高温操作夹，其特征在于：包括夹持板(1)；所述夹持板(1)的一端具有开口(11)，以使所述夹持板(1)呈开环结构；所述夹持板(1)的两端分别连接有一把第一杆状把手(2)，所述第一杆状把手(2)从所述夹持板(1)的径向从内向外延伸；所述夹持板(1)还连接有第二杆状把手(3)，所述第二杆状把手(3)和所述第一杆状把手(2)对置地设在所述夹持板(1)的轴线的相对两侧。2.如权利要求1所述的一种旋转靶材高温操作夹，其特征在于：所述夹持板(1)采用金属材料制成。3.如权利要求2所述的一种旋转靶材高温操作夹，其特征在于：所述夹持板(1)采用304不锈钢材料制成。4.如权利要求2所述的一种旋转靶材高温操作夹，其特征在于：所述夹持板(1)的厚度为2mm-5mm。5.如权利要求1所述的一种旋转靶材高温操作夹，其特征在于：所述夹持板(1)的内侧曲面设有柔性缓冲层(4)。6.如权利要求5所述的一种旋转靶材高温操作夹，其特征在于：所述柔性缓冲层(4)为硅胶层。7.如权利要求5所述的一种旋转靶材高温操作夹，其特征在于：所述柔性缓冲层(4)的厚度为4mm-7mm。8.如权利要求1所述的一种旋转靶材高温操作夹，其特征在于：所述第一杆状把手(2)和所述第二杆状把手(3)均为空心管结构。9.如权利要求1所述的一种旋转靶材高温操作夹，其特征在于：所述第一杆状把手(2)和所述第二杆状把手(3)均为圆管结构。10.如权利要求1所述的一种旋转靶材高温操作夹，其特征在于：所述夹持板(1)的延伸轨迹呈弧状结构。
技术总结
本实用新型公开了一种旋转靶材高温操作夹，包括夹持板；所述夹持板的一端具有开口，以使所述夹持板呈开环结构；所述夹持板的两端分别连接有一把第一杆状把手，所述第一杆状把手从所述夹持板的径向从内向外延伸；所述夹持板还连接有第二杆状把手，所述第二杆状把手和所述第一杆状把手对置地设在所述夹持板的轴线的相对两侧。其能够在夹持高温的靶材，以调节或转移靶材。或转移靶材。或转移靶材。
技术研发人员：王英洁 郭庆生 余芳 胡智向
受保护的技术使用者：先导薄膜材料（广东）有限公司
技术研发日：2022.07.26
技术公布日：2023/7/28