一种真空多维离轴抛物镜调整架的制作方法-j9九游会真人

文档序号:34567357发布日期:2023-06-28 11:19阅读:13来源:国知局


1.本实用新型涉及真空多维离轴抛物镜技术领域,尤其涉及一种真空多维离轴抛物镜调整架。


背景技术:

2.离轴抛物面镜,可以将平行入射光束经过镜面反射,汇聚到离轴抛物面镜的焦点上,离轴抛物面镜由于具有光扰动低,可以消除像差等优点,因而被广泛应用于激光束的聚焦和偏转光路中,为了保证聚焦的准确性,离轴抛物面镜在安装过程中必须要具有很高的精度,使入射光必须严格平行于离轴抛物面镜主轴,经离轴抛物面镜反射后汇聚到焦点;
3.目前真空多维离轴抛物镜,在其使用的过程中,需要将真空多维离轴抛物镜安装在调整架上,但现有的调整架不具备灵活调节的功能,使其调节范围有限,致使装置在使用时十分不便捷。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有的真空多维离轴抛物镜调整架,调整架不具备灵活调节的功能,使其调节范围有限,致使装置在使用时十分不便捷的缺点。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
6.一种真空多维离轴抛物镜调整架,包括有底座,所述底座上端面安装有两个相对的导轨一,所述导轨一表面套接有滑套一,两个所述滑套一之间固定有移动板一,所述底座一侧固定有支撑板一,所述支撑板一内部嵌合有真空步进电机一,所述真空步进电机一伸缩端固定有连接座一,所述移动板一上端面安装有两个相对的导轨二,所述导轨二表面套接有滑套二,两个所述滑套二之间固定有移动板二,所述移动板一一侧固定有支撑板二,所述支撑板二内部嵌合有真空步进电机二,所述真空步进电机二伸缩端固定有连接座二;
7.所述移动板二一侧嵌合有真空步进电机三,所述移动板二上端面套接有调节板,所述调节板上端面固定有石英片,所述移动板二上端面安装有调节架,所述调节架内腔安装有抛物反射镜,所述调节架一端安装有多个真空步进电机四。
8.作为上述技术方案的进一步描述:
9.所述连接座一与移动板一下端面固定连接,用于驱动移动板一线性移动。
10.作为上述技术方案的进一步描述:
11.所述连接座二与移动板二下端面固定连接,用于驱动移动板一线性移动。
12.作为上述技术方案的进一步描述:
13.所述调节板与真空步进电机三伸缩端固定连接,所述石英片通过调节板与真空步进电机三之间构成可移动结构。
14.作为上述技术方案的进一步描述:
15.所述石英片与调节架前端相对设置,所述石英片与抛物反射镜中轴线呈平行状。
16.综上,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
17.1、本实用新型中,该装置可以便捷的对抛物发射镜进行装配,同时通过可移动的移动板一、移动板二,可以同时整体调节石英片与抛物反射镜,且石英片与抛物反射镜之间的间距可以灵活调节,更适用于调节实验中。
18.2、本实用新型中,该装置通过三个真空步进电机四,可以对调节架内的抛物反射镜进行多角度调整,使其抛物反射镜能够呈不同角度摆放。
附图说明
19.图1为本实用新型中一种真空多维离轴抛物镜调整架正视的结构示意图;
20.图2为本实用新型中一种真空多维离轴抛物镜调整架立体前视的结构示意图;
21.图3为本实用新型中一种真空多维离轴抛物镜调整架立体后视的结构示意图。
22.图例说明:
23.1、底座;2、导轨一;3、滑套一;4、移动板一;5、支撑板一;6、真空步进电机一;7、连接座一;8、导轨二;9、滑套二;10、移动板二;11、支撑板二;12、真空步进电机二;13、连接座二;14、真空步进电机三;15、调节板;16、石英片;17、调节架;18、抛物反射镜;19、真空步进电机四。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
25.参照图1-图3,一种真空多维离轴抛物镜调整架,包括有底座1,底座1上端面安装有两个相对的导轨一2,导轨一2表面套接有滑套一3,两个滑套一3之间固定有移动板一4,底座1一侧固定有支撑板一5,支撑板一5内部嵌合有真空步进电机一6,真空步进电机一6伸缩端固定有连接座一7,移动板一4上端面安装有两个相对的导轨二8,导轨二8表面套接有滑套二9,两个滑套二9之间固定有移动板二10,移动板一4一侧固定有支撑板二11,支撑板二11内部嵌合有真空步进电机二12,真空步进电机二12伸缩端固定有连接座二13;
26.移动板二10一侧嵌合有真空步进电机三14,移动板二10上端面套接有调节板15,调节板15上端面固定有石英片16,移动板二10上端面安装有调节架17,调节架17内腔安装有抛物反射镜18,调节架17一端安装有多个真空步进电机四19;
27.多个真空步进电机四19为角度运动,θy轴,调节范围
±
1.5
°
,整步分辨率0.001
°
;θz轴,调节范围
±
1.5
°
,整步分辨率0.001
°
;θx轴,调节范围360
°
,转动比1.7,整步分辨率0.26
°
,最小度数1
°

28.将抛物反射镜18安装于调节架17的内腔,通过真空步进电机四19对抛物反射镜18进行角度调节;
29.通过真空步进电机一6的伸缩端带动着连接座一7伸缩移动,使其连接座一7带动着移动板一4,移动板一4通过底端的滑套一3在导轨一2表面滑动,从而移动板一4横向调节一定位置;
30.通过真空步进电机二12的伸缩端带动着连接座二13伸缩移动,使其连接座二13带
动着移动板二10,移动板二10通过底端的滑套二9在导轨二8表面滑动,从而移动板二10横向调节一定位置,使其石英片16与抛物反射镜18同时整体调节;
31.通过真空步进电机三14伸缩端带动着调节板15伸缩移动,调节板15可以带动着石英片16移动,达到调节石英片16与抛物反射镜18之间的合适间距。
32.进一步的,连接座一7与移动板一4下端面固定连接,用于驱动移动板一4线性移动。
33.进一步的,连接座二13与移动板二10下端面固定连接,用于驱动移动板一4线性移动。
34.进一步的,调节板15与真空步进电机三14伸缩端固定连接,石英片16通过调节板15与真空步进电机三14之间构成可移动结构。
35.进一步的,石英片16与调节架17前端相对设置,石英片16与抛物反射镜18中轴线呈平行状。
36.工作原理:使用时,首先将抛物反射镜18安装于调节架17的内腔,通过真空步进电机四19对抛物反射镜18进行角度调节,通过真空步进电机一6的伸缩端带动着连接座一7伸缩移动,使其连接座一7带动着移动板一4,移动板一4通过底端的滑套一3在导轨一2表面滑动,从而移动板一4横向调节一定位置,通过真空步进电机二12的伸缩端带动着连接座二13伸缩移动,使其连接座二13带动着移动板二10,移动板二10通过底端的滑套二9在导轨二8表面滑动,从而移动板二10横向调节一定位置,使其石英片16与抛物反射镜18同时整体调节,通过真空步进电机三14伸缩端带动着调节板15伸缩移动,调节板15可以带动着石英片16移动,达到调节石英片16与抛物反射镜18之间的合适间距,就这样完成了本实用新型的工作原理。
37.以上,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
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