1.本实用新型涉及半导体废气处理设备技术领域，具体为一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置。
背景技术：
2.在泛半导体行业生产过程中，大量使用化学品和特殊气体，生产环节持续产生大量有毒有害气体的工艺废气。工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，废气处理设备是生产工艺中不可分割的组成部分，其安全稳定性直接关系到产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境。
3.现有的半导体废气处理设备有如下缺陷：
4.现有等离子燃烧式最关键的消耗易损件为燃烧时发出等离子火焰的阳极与阴极，而现有阳极都为圆柱样式，散热效果差，从而热量会影响阳极的寿命。
技术实现要素：
5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置，解决了现有等离子燃烧式最关键的消耗易损件为燃烧时发出等离子火焰的阳极与阴极，而现有阳极都为圆柱样式，散热效果差，从而热量会影响阳极的寿命的问题。
7.(二)技术方案
8.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置，包括装置本体，所述装置本体包括主筒体和连接筒体，所述连接筒体焊接在主筒体顶部，所述主筒体和连接筒体均呈圆柱状结构且内部为贯通式结构；
9.优选的，所述主筒体表面设有若干组呈列状等距方式分布的散热板，所述散热板呈圆形结构且中部为贯通式结构，所述散热板与主筒体连接处通过焊接方式固定。
10.优选的，所述主筒体底部设有底部固定垫片，所述底部固定垫片呈圆形结构。
11.优选的，所述主筒体内部分别设有第一腔体和第二腔体，所述第一腔体安装在第二腔体底部，所述连接筒体内部设有第三腔体，所述第三腔体呈漏斗状结构，所述第一腔体、第二腔体和第三腔体均为贯通式结构。
12.优选的，所述连接筒体底部外侧和顶部外侧均设有连接块，所述连接块呈圆环状结构。
13.(三)有益效果
14.本实用新型提供了一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置。具备以下有益效果：
15.该种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置的主筒体表面设有多层散热板，多层散热板可以把主筒体的热量进行导热工作，从而散热板增大了阳极与冷却水的接触面积，使降温效果大大加强，有效延长使用寿命半年以上，且该种装置可以提高尾气处理设备
整体更加稳定、可靠。
附图说明
16.图1为本实用新型整体的结构示意图；
17.图2为本实用新型整体侧面的结构示意图；
18.图3为本实用新型整体内部的结构示意图。
19.图中，1、装置本体；2、主筒体；3、连接筒体；4、散热板；5、底部固定垫片；6、第一腔体；7、第二腔体；8、第三腔体；9、连接块。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-3，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置，包括装置本体1，所述装置本体1包括主筒体2和连接筒体3，所述连接筒体3焊接在主筒体2顶部，所述主筒体2和连接筒体3均呈圆柱状结构且内部为贯通式结构；
22.所述主筒体2表面设有若干组呈列状等距方式分布的散热板4，所述散热板4呈圆形结构且中部为贯通式结构，所述散热板4与主筒体2连接处通过焊接方式固定，通过在主筒体2外侧设有多层散热板4，多层散热板4可以把主筒体2的热量进行导热工作，从而散热板4增大了阳极与冷却水的接触面积，使降温效果大大加强，有效延长使用寿命半年以上，且该种装置可以提高尾气处理设备整体更加稳定、可靠。
23.所述主筒体2底部设有底部固定垫片5，所述底部固定垫片5呈圆形结构，主筒体2底部的底部固定垫片5是为了与外接管道进行对接，从而来方便外接管道的连接。
24.所述主筒体2内部分别设有第一腔体6和第二腔体7，所述第一腔体6安装在第二腔体7底部，所述连接筒体3内部设有第三腔体8，所述第三腔体8呈漏斗状结构，所述第一腔体6、第二腔体7和第三腔体8均为贯通式结构，首先废气进入连接筒体3，连接筒体3内设有第三腔体8，第三腔体8呈漏斗状结构，进一步就可以便于气体的集中输送，废气就可以通过第二腔体7进入第一腔体6内进行燃烧。
25.所述连接筒体3底部外侧和顶部外侧均设有连接块9，所述连接块9呈圆环状结构，连接筒体3底部的连接块9是为了与主筒体2进行焊接，而连接筒体3顶部的连接块9是为了便于外接管道的连接。
26.工作原理：作业时，首先废气进入连接筒体3，连接筒体3内设有第三腔体8，第三腔体8呈漏斗状结构，进一步就可以便于气体的集中输送，废气就可以通过第二腔体7进入第一腔体6内进行燃烧，燃烧时，会产生热量，通过在主筒体2外侧设有多层散热板4，多层散热板4可以把主筒体2的热量进行导热工作，从而散热板4增大了阳极与冷却水的接触面积，使降温效果大大加强，有效延长使用寿命半年以上，且该种装置可以提高尾气处理设备整体更加稳定、可靠。
27.本实用新型的1、装置本体；2、主筒体；3、连接筒体；4、散热板；5、底部固定垫片；6、
第一腔体；7、第二腔体；8、第三腔体；9、连接块，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是现有对药液进行过滤的设备在使用时，都是通过一层进行过滤的，而一层过滤方式过滤效果慢，且过滤孔经常出现堵塞的情况发生，从而不便于快速对药液进行过滤、提取，从而影响工作人员的工作效率的问题，本实用新型通过上述部件的互相组合，可以十分便捷对阳极进行散热工作，从而提高了阳极的使用寿命，且该种装置散热结构简单、成本低，便于大规模进行使用。
28.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
29.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
技术特征：
1.一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括主筒体(2)和连接筒体(3)，所述连接筒体(3)焊接在主筒体(2)顶部，所述主筒体(2)和连接筒体(3)均呈圆柱状结构且内部为贯通式结构；所述主筒体(2)表面设有若干组呈列状等距方式分布的散热板(4)，所述散热板(4)呈圆形结构且中部为贯通式结构，所述散热板(4)与主筒体(2)连接处通过焊接方式固定。2.根据权利要求1所述的一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置，其特征在于：所述主筒体(2)底部设有底部固定垫片(5)，所述底部固定垫片(5)呈圆形结构。3.根据权利要求1所述的一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置，其特征在于：所述主筒体(2)内部分别设有第一腔体(6)和第二腔体(7)，所述第一腔体(6)安装在第二腔体(7)底部，所述连接筒体(3)内部设有第三腔体(8)，所述第三腔体(8)呈漏斗状结构，所述第一腔体(6)、第二腔体(7)和第三腔体(8)均为贯通式结构。4.根据权利要求1所述的一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置，其特征在于：所述连接筒体(3)底部外侧和顶部外侧均设有连接块(9)，所述连接块(9)呈圆环状结构。
技术总结
本实用新型公开了一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置，包括装置本体，所述装置本体包括主筒体和连接筒体，所述连接筒体焊接在主筒体顶部，所述主筒体和连接筒体均呈圆柱状结构且内部为贯通式结构；所述主筒体表面设有若干组呈列状等距方式分布的散热板，所述散热板呈圆形结构且中部为贯通式结构，所述散热板与主筒体连接处通过焊接方式固定。该种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置可以十分便捷对阳极进行散热工作，从而提高了阳极的使用寿命，且该种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置散热结构简单、成本低，便于大规模进行使用。进行使用。进行使用。
技术研发人员：崔汉博 崔汉宽
受保护的技术使用者：上海高生集成电路设备有限公司
技术研发日：2023.03.05
技术公布日：2023/7/28