一种用于vc均热板蚀刻的清理装置
技术领域
1.本实用新型涉及vc均热板蚀刻技术领域，具体涉及一种用于vc均热板蚀刻的清理装置。
背景技术：
2.vc均热板(vaporchambers)是一个内壁具有微细结构的真空腔体，通常由铜制成。当热由热源传导至蒸发区时，腔体里的冷却液在低真空度的环境中受热后开始产生冷却液的气化现象，此时吸收热能并且体积迅速膨胀，气相的冷却介质迅速充满整个腔体，当气相工质接触到一个比较冷的区域时便会产生凝结的现象。由凝结的现象释放出在蒸发时累积的热，凝结后的冷却液会借由微结构的毛细管道再回到蒸发热源处，此运作将在腔体内周而复始进行。热管和均热板的工作原理几乎一样，但在传导方式上，热管是一维线性热传导而均热板则是将热量在一二维平面上传导，相对于热管，首先均热板与热源以及散热介质的接触面积更大，能够使表面温度更加均匀。由于均温版的面积较大，能够更好的减少热点，实现芯片下的等温性，相较于热管有更大的性能优势，同时均温版还更加轻薄，在快速的吸收以及散发热量的同时也更加符合目前手机更加轻薄化、空间利用最大化的发展趋势。
3.现有的均热板蚀刻清洗装置，在其使用的过程中，需要工作人员手动依次冲洗，冲洗效率慢，并不具备循环冲洗的功能，使其加工成本高，清洗后的均热板需要放置一段时间，等待风干，不具备对其清洗后堆积的水渍快速清理的功能。
技术实现要素：
4.有鉴于此，本实用新型的主要目的是提供一种用于vc均热板蚀刻的清理装置，将超声清洗和喷淋清洗相结合的方式实现cv均热板蚀刻后的快速有效清洗和清理，将vc均热板表面的蚀刻液进行清理干净，通过层次感的清洗过程实现vc均热板的完全清洗，有效去除蚀刻液，保证了vc均热板表面的清洁程度，避免蚀刻液继续对vc均热板的蚀刻破坏，保证了vc均热板的实际完整度，有效实现vc均热板的清理工作，具有良好的实用性。
5.为实现本实用新型目的，采用的技术方案是：
6.一种用于vc均热板蚀刻的清理装置，包括有蚀刻清洗槽，蚀刻清洗槽的外表面包裹设置有清洗槽保温层，蚀刻清洗槽包括有用于超声清洗的超声清洗槽和用于喷淋清洗的喷淋清洗槽；蚀刻清洗槽的内壁面中安装设置有清洗槽循环加热管，清洗槽循环加热管完全浸没在填装于蚀刻清洗槽中的传热流体介质中，蚀刻清洗槽的外侧表面上安装设置有清洗槽程控器；蚀刻清洗槽的底面上安装设置有若干个清洗超声发生器，蚀刻清洗槽的侧部安装设置有喷淋槽辅助台，喷淋槽辅助台上安装设置有喷淋槽辅助架，喷淋槽辅助架上端面安装设置有喷淋槽喷淋罐，喷淋槽喷淋罐的前端安装设置有喷淋槽程控器、下部安装设置有喷淋槽喷淋头。
7.作为优选的，喷淋清洗槽跨接安装在蚀刻清洗槽上，喷淋清洗槽不与蚀刻清洗槽
的底面接触，喷淋清洗槽与蚀刻清洗液接触的面上均设置有清洗槽漏网。
8.作为优选的，蚀刻清洗槽侧部底端安装设置有清洗液排出口，清洗液排出口连接蚀刻清洗槽内侧底面，将蚀刻清洗液从蚀刻清洗槽中导出。
9.作为优选的，蚀刻清洗槽安装清洗液排出口的对侧于喷淋槽辅助台的下部安装设置有喷淋液输送泵，喷淋液输送泵通过喷淋液输送管直接连接喷淋槽喷淋罐。
10.作为优选的，喷淋清洗槽的底端面高于蚀刻清洗槽内部蚀刻清洗液的水平液面，并通过蚀刻清洗槽侧部的清洗液排出口控制蚀刻清洗液的水平液面高度。
11.作为优选的，清洗槽程控器电性连接清洗槽循环加热管和清洗超声发生器，并控制清洗槽循环加热管和清洗超声发生器的程控输入。
12.作为优选的，喷淋槽程控器电性连接喷淋液输送泵和喷淋槽喷淋头，并控制喷淋液输送泵和喷淋槽喷淋头的程控输入。
13.本实用新型提供了的一种用于钛网蚀刻的可翻板蚀刻机，该装置具有以下优点：
14.本实用新型将超声清洗和喷淋清洗相结合的方式实现cv均热板蚀刻后的快速有效清洗和清理，将vc均热板表面的蚀刻液进行清理干净，通过层次感的清洗过程实现vc均热板的完全清洗，有效去除蚀刻液，保证了vc均热板表面的清洁程度，避免蚀刻液继续对vc均热板的蚀刻破坏，保证了vc均热板的实际完整度，有效实现vc均热板的清理工作，具有良好的实用性。
附图说明
15.图1是本实用新型用于vc均热板蚀刻的清理装置的侧视结构示意图1。
16.图2是本实用新型用于vc均热板蚀刻的清理装置的俯视结构示意图2。
17.图3是本实用新型用于vc均热板蚀刻的清理装置的侧视结构示意图。
18.图中：1、蚀刻清洗槽；2、清洗槽保温层；3、超声清洗槽；4、喷淋清洗槽；5、清洗槽漏网；6、蚀刻清洗液；7、传热流体介质；8、清洗槽循环加热管；9、清洗槽程控器；10、清洗超声发生器；11、清洗液排出口；12、喷淋液输送泵；13、喷淋液输送管；14、喷淋槽辅助台；15、喷淋槽辅助架；16、喷淋槽喷淋罐；17、喷淋槽程控器；18、喷淋槽喷淋头。
具体实施方式
19.下面结合具体实施例和说明书附图对本实用新型做进一步阐述和说明。
20.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本发明进一步详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
22.实施例1
23.如图1、2所示，一种用于vc均热板蚀刻的清理装置，包括有蚀刻清洗槽1，蚀刻清洗
槽1的外表面包裹设置有清洗槽保温层2，蚀刻清洗槽1包括有用于超声清洗的超声清洗槽3和用于喷淋清洗的喷淋清洗槽4，喷淋清洗槽4跨接安装在蚀刻清洗槽1上，喷淋清洗槽4不与蚀刻清洗槽1的底面接触，喷淋清洗槽4与蚀刻清洗液6接触的面上均设置有清洗槽漏网5；蚀刻清洗槽1的内壁面中安装设置有清洗槽循环加热管8，清洗槽循环加热管8完全浸没在填装于蚀刻清洗槽1中的传热流体介质7中。
24.如图3所示，一种用于vc均热板蚀刻的清理装置，蚀刻清洗槽1的外侧表面上安装设置有清洗槽程控器9；蚀刻清洗槽1的底面上安装设置有若干个清洗超声发生器10，蚀刻清洗槽1的侧部安装设置有喷淋槽辅助台14，喷淋槽辅助台14上安装设置有喷淋槽辅助架15，喷淋槽辅助架15上端面安装设置有喷淋槽喷淋罐16，喷淋槽喷淋罐16的前端安装设置有喷淋槽程控器17、下部安装设置有喷淋槽喷淋头18，蚀刻清洗槽1侧部底端安装设置有清洗液排出口11，清洗液排出口11连接蚀刻清洗槽1内侧底面，将蚀刻清洗液6从蚀刻清洗槽1中导出，蚀刻清洗槽1安装清洗液排出口11的对侧于喷淋槽辅助台14的下部安装设置有喷淋液输送泵12，喷淋液输送泵12通过喷淋液输送管13直接连接喷淋槽喷淋罐16，喷淋清洗槽4的底端面高于蚀刻清洗槽1内部蚀刻清洗液6的水平液面，并通过蚀刻清洗槽1侧部的清洗液排出口11控制蚀刻清洗液6的水平液面高度，清洗槽程控器9电性连接清洗槽循环加热管8和清洗超声发生器10，并控制清洗槽循环加热管8和清洗超声发生器10的程控输入，喷淋槽程控器17电性连接喷淋液输送泵12和喷淋槽喷淋头18，并控制喷淋液输送泵12和喷淋槽喷淋头18的程控输入。
25.使用时，将蚀刻好的vc均热板先置于蚀刻清洗槽1中的超声清洗槽3中，加入蚀刻清洗液6完全浸没vc均热板，且喷淋清洗槽4的底端面高于蚀刻清洗槽1内部蚀刻清洗液6的水平液面，通过清洗槽程控器9同时控制清洗槽循环加热管8和清洗超声发生器10进行工作，清洗超声发生器10启动发出超声波对vc蚀刻板进行振动清洗，清洗槽循环加热管8升温加热将温度通过传热流体介质7传输至蚀刻清洗槽1，进而传输至蚀刻清洗液6，配合超声清洗；
26.当超声清洗完成后，将蚀刻清洗槽1内部蚀刻清洗液6从清洗液排出口11排出，将vc均热板全部置于喷淋清洗槽4中，喷淋槽程控器17同时控制喷淋液输送泵12和喷淋槽喷淋头18进行工作，喷淋液输送泵12将喷淋清洗液通过喷淋液输送管13直接输送至喷淋槽喷淋罐16中进行储存，再通过喷淋槽喷淋罐16从喷淋槽喷淋头18中释放，对喷淋清洗槽4中的vc均热板进行喷淋清洗，喷淋清洗液通过喷淋清洗槽4上的清洗槽漏网5进入到蚀刻清洗槽1中，再从清洗液排出口11排出；
27.vc均热板的超声清洗和喷淋清洗完全可以同时进行。
28.实施例2
29.本实施例与实施例1的不同之处在于：
30.在蚀刻清洗槽1的喷淋清洗槽4壁面上同时安装设置有若干个清洗超声发生器10，当vc均热板在喷淋清洗槽4中进行喷淋清洗时，同样启动清洗超声发生器10进行超声喷淋清洗，大大提高了喷淋清洗的清洗效率。
31.在本实用新型中，本实用新型将超声清洗和喷淋清洗相结合的方式实现cv均热板蚀刻后的快速有效清洗和清理，将vc均热板表面的蚀刻液进行清理干净，通过层次感的清洗过程实现vc均热板的完全清洗，有效去除蚀刻液，保证了vc均热板表面的清洁程度，避免
蚀刻液继续对vc均热板的蚀刻破坏，保证了vc均热板的实际完整度，有效实现vc均热板的清理工作，具有良好的实用性。
32.以上对本实用新型实施例所公开的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体实施例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例，在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。